大概设计结果如下: On{~St'V 1.仅采用球面镜,系统存在较大像散。 DR
k]{^C~ 2.1nm分辨率勉强够。 uQGz;F x 3.点列图中黑色框的尺寸为25×50μm。 gEZwW]r- o {=qC: b [attachment=106006][attachment=106004][attachment=105999][attachment=106000][attachment=106003][attachment=106005][attachment=106001][attachment=106002] O^.%C`* cS<TmS! EKZ$Q4YE xn(+G$m