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infotek 2020-10-16 10:08

检查微型晶片的光学系统

成像系统>包括光栅 pOK=o$1V8  
DvhF CA}z  
任务/系统说明 {#+K+!SvDX  
:[l}Bb,  
->qRGUW  
yPfx!9B  
亮点 i$pUUK  
r7VBz_Q  
 nGGw(6c%>  
!ldE9 .  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） n%h00 9 -5  
 严格分析光栅衍射效率 C2LG@iCIE  
 考虑入射光的方向分布 ~7aD#`amU  
#HL$`&m  
说明：光源 &=t~_ Dc  
mmwc'-jU:  
eAO@B  
R[F`b  
说明：光束分束器 R;AcAJ;  
C=;}7g  
g&RhPrtl  
Nj4r[5K  
说明：检测透镜系统 L]=mQo  
>l}v _k*~B  
HziQ%QR  
no\G >#  
说明：微型晶片 y-@`3hYM@  
Af]BR_-  
F+c8 O  
/  !h<+  
说明：检测物镜 L?N: 4/0;!  
bPV}T`  
s4 , `  
=WF@S1  
说明：探测器 lx$Z/f  
aIT0t0.  
GwgY{-|`  
v7j/_;JE;  
结果：3D光线追迹（只有0级） 0XE6H w  
X$%[%q8qg  
XwIHIG}  
\xOYa  
结果：3D光线追迹（所有级） m k~F@  
O&CY9 2)Lk  
WO69Wo\C  
R8.@5g_  
结果：光线追迹 }K.)yv n  
T*k{^=6"!  
 Yh,,(V6  
=f=>buD  
结果：场追迹 <YG 42,N  
M;g"rpM  
 d|tNn@jN  
 ^~B#r#  
结果：线性偏振光的场追迹 &mJm'Ks  
\V j7%ph  
aB&a#^5CI  
 zcV~)go6  
文档和技术信息 =?M{B1;H  
6[Mu3.T  
 @gx]3t*]I  
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  ^AwDZX  
QQ：2987619807 it j&L <e  
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