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infotek 2020-10-16 10:08

检查微型晶片的光学系统

成像系统>包括光栅 T ?{F7  
xHlO~:Lc  
任务/系统说明 + ;B K|([#  
[XD3}'Aa  
7C~g?1  
L#MMNc+  
亮点 X1&c?T1 %[  
IG4`f~k^  
jjg[v""3|  
KWn.  
 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) a=*JyZ.2  
 严格分析光栅衍射效率 1sXVuto  
 考虑入射光的方向分布 [:l=>yJ{(  
T{lK$j  
说明:光源 3/CKy##r%]  
xepp."O  
Yo,n#<37  
.Q DeS|l  
说明:光束分束器 G@,XUP  
i5czm?x  
lR5k1J1n  
IGI$,C  
说明:检测透镜系统 *YP;HL  
@E?o~jO(e  
:a)`iJnb  
+<sv/gEt  
说明:微型晶片 %"AB\lL.  
9@ :QBe3]  
gO_d!x*  
ZY8:7Q@P>  
说明:检测物镜 n fMU4(:  
w*gG1BV  
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_{?-=<V'_  
说明:探测器 R-1C#R[  
n?8xRaEf  
Z<[:v2  
"IRF^1 p  
结果:3D光线追迹(只有0级) '~AR|8q?  
g ?{o2gG  
??,/85lM  
e9rgJJ  
结果:3D光线追迹(所有级) Dn+hI_"# _  
Ko %e#q-  
ZO]P9b  
Pr#uV3\  
结果:光线追迹 uS5ADh  
B;J8^esypD  
4ms"mIt  
:} DTK  
结果:场追迹 sQLjb8!7  
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结果:线性偏振光的场追迹 gh.+}8="  
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文档和技术信息 }hS$F  
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QQ:2987619807 |F&02 f!]@  
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