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检查微型晶片的光学系统
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infotek
2020-10-16 10:08
检查微型晶片的光学系统
成像系统>包括光栅
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GB$`b'x@S
任务/系统说明
8B GZ
s;vt2>;q+e
QD@O!}; T
jSp&\Wj b
亮点
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dL0Q8d\^T
FSM M
在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA))
`H! (hMMV
严格分析光栅衍射效率
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考虑入射光的方向分布
!,`'VQw$
A$@;Q5/2
说明:光源
bN_e~ z
Jx+6Kq(
3'uXU<W!
MZt#T+b
说明:光束分束器
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V;: k-
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说明:检测透镜系统
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说明:微型晶片
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说明:检测物镜
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x"z\d,O%W
J,W$\V]p
说明:探测器
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gCghWg{S
D/E5&6
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结果:3D光线追迹(只有0级)
N*A*\B%{x'
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结果:3D光线追迹(所有级)
Qf_N,Bq{a
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结果:光线追迹
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o+|>D&CW%
结果:场追迹
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w,IJ44f ^%
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ft/k-64
结果:线性偏振光的场追迹
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文档和技术信息
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QQ:2987619807
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