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infotek 2020-10-16 10:08

检查微型晶片的光学系统

成像系统>包括光栅 A4^+p0@  
AjS5  
任务/系统说明 tEUmED0FY  
e'`oisJU?q  
B?M+`;  
Z*)<E)  
亮点 x<l1s  
2Ar<(v$  
 anvj{1  
S;NXOsSu  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） 9NT;^K^ I  
 严格分析光栅衍射效率 MXy{]o_H~  
 考虑入射光的方向分布 =~h54/#[I  
Hj!)S&y,$  
说明：光源 1mX*0>  
^ WNJQg'  
y AWDk0bx  
aPC!M4#  
说明：光束分束器 =T-w.}27O  
w.8~A,5}Dh  
nqBu C  
|(%H O@i  
说明：检测透镜系统 82X.  
No7Q,p  
9<#D0hh$  
lK4+8VZ  
说明：微型晶片 zCHr  
&Yg/ 08*  
.H"hRYPC?  
a3;.{6el)H  
说明：检测物镜 G DV-wPX  
6fkr!&Dy7  
k@L~h{`Mc\  
)hug<D *h  
说明：探测器 ,<1*  
(5> ibe  
%\l,X{X  
aW"!bAdx`,  
结果：3D光线追迹（只有0级） F(<8:`N;G  
i7rq;t<  
L|X5Ru  
Z=0W@_s  
结果：3D光线追迹（所有级） R~~rqvLm  
rg,63r  
qedGBl&  
[R4x[36Zp  
结果：光线追迹 6<Z: Xw  
WM"^#=+$  
 5F"?]'*/  
lQBM0|n  
结果：场追迹 Rs`a@ Fn  
F"xO0t  
 %K"%Qm=Tl  
c~xo@[NaS  
结果：线性偏振光的场追迹 k`TJ<Dv;  
(fa?f tK  
 2JP?6N  
 Yys~p2  
文档和技术信息 `?JgHk  
Jj:6 c  
 +ZKhmb!  
vC:b?0s#(  
 9Yyg}l:  
QQ：2987619807 zU~..;C  
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