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检查微型晶片的光学系统
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infotek
2020-10-16 10:08
检查微型晶片的光学系统
成像系统>包括光栅
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xHlO~:Lc
任务/系统说明
+ ;B K|([#
[XD3}'Aa
7C~g?1
L#MMNc+
亮点
X1&c?T1 %[
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在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA))
a=*JyZ.2
严格分析光栅衍射效率
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考虑入射光的方向分布
[:l=>yJ{(
T{lK$j
说明:光源
3/CKy##r%]
xepp."O
Yo,n#<37
.QDeS|l
说明:光束分束器
G@,XUP
i5czm?x
lR5k1J1n
IGI$,C
说明:检测透镜系统
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说明:微型晶片
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说明:检测物镜
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说明:探测器
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"IRF^1 p
结果:3D光线追迹(只有0级)
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结果:3D光线追迹(所有级)
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结果:光线追迹
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结果:场追迹
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结果:线性偏振光的场追迹
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文档和技术信息
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QQ:2987619807
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