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infotek 2020-10-16 10:08

检查微型晶片的光学系统

成像系统>包括光栅 ]f5c\\)  
,0,Oe=d  
任务/系统说明 cTy'JT7  
Fq4lXlSB  
_1\poAy  
k|5k8CRX  
亮点 S!<"Swf:  
PMY~^S4O  
IE}Sdeqi)  
@x*.5:[  
 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) p$XnOh  
 严格分析光栅衍射效率 I[%M!_+  
 考虑入射光的方向分布 $-e=tWkgv  
s*eyTm  
说明:光源 w?i)/q  
E;$$+rA  
] .`_, IO  
r\B"?oqC  
说明:光束分束器 /0-\ek ye  
yE<,Z%J[n  
ys/vI/e\  
c{ 7<H  
说明:检测透镜系统 vU7&'ca  
>I|<^$/  
sc9]sIb  
$8=(I2&TW  
说明:微型晶片 fmBkB8  
y=wdR|b  
!@A|L#*  
_E&U?>g+  
说明:检测物镜 'Z y{mq\  
u!M& ;QL  
:ET x*c  
G$|G w  
说明:探测器 T:Bzz)2/  
50COL66:7  
/8:gVXZi  
~6] )*y  
结果:3D光线追迹(只有0级) 'r6cVBb}  
[+_\z',u  
3mybG%39  
vu44!c@  
结果:3D光线追迹(所有级) KLON;  
QP'qG@j[:  
x4@MO|C  
O0-> sR  
结果:光线追迹 &:-GI)[o  
Sio1Q0  
n&(3o6i'  
g~eJ YS,  
结果:场追迹 6V+V zDo  
Ct-rD79l  
YcPKM@xo  
)8 oEs  
结果:线性偏振光的场追迹 <##|311o  
cn@03&dAl  
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文档和技术信息 5aa}FdUq  
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QQ:2987619807 B>ms`|q=l  
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