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检查微型晶片的光学系统
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infotek
2020-10-16 10:08
检查微型晶片的光学系统
成像系统>包括光栅
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任务/系统说明
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GV2}K <s
PCU6E9~t2
e@q[Dv'mu
亮点
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3oIoQj+D
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在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA))
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严格分析光栅衍射效率
o2.! G
考虑入射光的方向分布
t=pG6U
V}JW@
说明:光源
I|PiZ1]2Y
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y.~5n[W
MJD4#G
说明:光束分束器
C qxP@
BHU[Rz7x
']dTW#i
XRz.R/
说明:检测透镜系统
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说明:微型晶片
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说明:检测物镜
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YGNX+6Lz
说明:探测器
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w S;(u[W
结果:3D光线追迹(只有0级)
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Cf+O7Y`^
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结果:3D光线追迹(所有级)
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Q;Oc# u
结果:光线追迹
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结果:场追迹
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结果:线性偏振光的场追迹
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文档和技术信息
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QQ:2987619807
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