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检查微型晶片的光学系统
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infotek
2020-10-16 10:08
检查微型晶片的光学系统
成像系统>包括光栅
O-UA2?N@j
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任务/系统说明
1DAU*^-
Q) aZ0 Pt
_)= e`9%
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亮点
,ps?@lD
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o*7NyiJ@z
'9.@r\g
在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA))
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严格分析光栅衍射效率
._]Pz6
考虑入射光的方向分布
\Q}Y"oq
'JdK0w#
说明:光源
QbHX.:C
ZaY|v-
R8lja%+0$
tF/Ni*\^rV
说明:光束分束器
|H^v8^%>zm
<aaT,J8%[
v+g:0 C5 (
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说明:检测透镜系统
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RaSuzy^`*]
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说明:微型晶片
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I`IW^eZM
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L |#0CRiN
说明:检测物镜
*u|1Z%XO
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5({_2meJ:
OYWHiXE6]
说明:探测器
85dC6wI4K
v36Z*I6)5
D[]0/+,
vdUKIP =|_
结果:3D光线追迹(只有0级)
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G~&8/ s
a"O;DYh
&J9 + 5L8
结果:3D光线追迹(所有级)
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5Zhl@v,L%
结果:光线追迹
?ZC!E0]
<{ v %2
sb_/FE5e
WB'1_a
结果:场追迹
qo\9,<
\@h$|nb
:F[s
,S(Z\[x0
结果:线性偏振光的场追迹
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Pz D30VA
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文档和技术信息
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* Z)j"i
QQ:2987619807
Hiwij,1
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