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infotek 2020-10-16 10:08

检查微型晶片的光学系统

成像系统>包括光栅 N{joXHCu  
w:ULi3  
任务/系统说明 l";'6;g  
zFhgE*5  
,=%nw]:  
6Wf^0ok  
亮点 $\\lx_)  
UuJjO^t  
 RA1yr+)  
x8N|($1  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） %w"nDu2Gcv  
 严格分析光栅衍射效率 TT}]wZ  
 考虑入射光的方向分布 \M+L3*W  
1;r69e  
说明：光源 ;#anZC;  
lF4u{B9DM  
;+_8&wbqW  
j$@tK0P  
说明：光束分束器 Dgi~rr1`'s  
wD9a#AgEd  
%%}A|,  
,E*R,'w   
说明：检测透镜系统 9`Q@'( m  
B@K[3  
k3hkk:W  
d/U."V}  
说明：微型晶片 ST',4 Oph5  
] |Zb\{  
$RO$}!  
T1 MY X  
说明：检测物镜 :,UN8L "  
?9KGnOVu  
Z!{UWegun  
QZYU0; VF  
说明：探测器 CjZ2z%||=  
l (kr'x  
u<Xog$esu  
's%q  
结果：3D光线追迹（只有0级） AFm1t2,+;  
shFc[A,r}  
`/:cfP\  
 Y7Gs7  
结果：3D光线追迹（所有级） cf;Ht^M\  
([k7hUP  
*HlDS22  
SI-X[xf  
结果：光线追迹 ?d-70pm  
"yh Pm  
 F[E? A95W  
^Kq|ID AP  
结果：场追迹 ;e{5)@h$  
v5$s#f<   
 <^><3U`  
8;zDg$ (  
结果：线性偏振光的场追迹 kX;$}7n  
8vD3=yK%^  
ok0X<MR!I  
 S+I^!gT  
文档和技术信息 =_-C%<4  
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Cvn$]bt/s  
 7 .+al)hl  
QQ：2987619807 xFb3O|TC  
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