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infotek 2020-10-16 10:08

检查微型晶片的光学系统

成像系统>包括光栅 w`r %_o-I  
}'86hnW  
任务/系统说明 *3OlWnZ?  
vl6|i)D  
 j=G  
f3^qO9R  
亮点 j^v<rCzc (  
LNrM`3%2-  
 M,yxPHlN  
I[gPW7&S@  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） XD?]+  
 严格分析光栅衍射效率 3]@wa!`  
 考虑入射光的方向分布 VKw.g@BY  
,aq>9\ pi  
说明：光源 b|may/xWH  
Hw toa,  
t/%[U,m  
U%Hcc k'  
说明：光束分束器 ;49sou  
ydRS\l  
YHke^Ind  
lp5'-Jo  
说明：检测透镜系统 X+HPdrT  
Sn 7 h$  
44w "U%+  
@3 +   
说明：微型晶片 9eE FX7  
?B)e8i<[f  
,1-idpnX  
DHyQ:0q  
说明：检测物镜 \d:Uq5d)0  
\}<J>R@  
tNOOaj9mw  
V\Y, 4&bI  
说明：探测器 u-bgk(u  
:/Z1$xS  
Fo5UG2E&  
#,FXc~V  
结果：3D光线追迹（只有0级） 33a}M;vx  
a*_&[  
>HzTaXCR[  
nE0I[T(  
结果：3D光线追迹（所有级） paYS< 8In  
u*oP:!s  
P1]F0fR  
7fd,I%v  
结果：光线追迹 X4Uy3TV>  
Se\iM s  
 o/vD]Fs  
gdh|X[d  
结果：场追迹 0C"2?etMx  
P!)F1U]!  
 {}gL*2:EW$  
=i2]qj\  
结果：线性偏振光的场追迹 Wcl =YB%  
VG$%Vs  
P.=Dd"La  
 ?VTP|Z  
文档和技术信息 2$2@?]|?  
X 3XTB*  
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8{7'w|/;.{  
 V=PK)FJ  
QQ：2987619807 v0;dk(  
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