| infotek |
2020-10-16 10:08 |
检查微型晶片的光学系统
成像系统>包括光栅 sfs2ki H
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任务/系统说明 $j"BHpN
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亮点 ;Mz7emt
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在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） 4M P8t@z
严格分析光栅衍射效率 # O!gjZ,
考虑入射光的方向分布 2 @t?@,c
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说明：光源 z,(.` %h
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说明：光束分束器 Ym
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说明：检测透镜系统 l]S% k&
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说明：微型晶片 63c\1]YB.
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说明：检测物镜 U;LX"'}
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说明：探测器 6`Diz_(
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结果：3D光线追迹（只有0级） TsY
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结果：3D光线追迹（所有级） lFa?l\jLXZ
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结果：光线追迹 -lb%X 3`
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结果：场追迹 ko6[Ej:TBo
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结果：线性偏振光的场追迹 :"`1}Q
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文档和技术信息 .J \i !
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QQ：2987619807 ,soXX_Y>
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