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infotek 2020-10-16 10:08

检查微型晶片的光学系统

成像系统>包括光栅 H&6lQ30/)  
wJ/k\  
任务/系统说明 Gdi1lYu6V  
J`Q#p%W  
1 nIb/nY  
~^w;`~L  
亮点 S%R:GZEf_  
)PVX)2P_C  
 =Bu d!  
\\Fl,'  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） i$?i1z*c}  
 严格分析光栅衍射效率 kQRNVdiz  
 考虑入射光的方向分布 /<\>j+SC  
6,ylk f3  
说明：光源 ICTl{|i ]  
"9Sxj  
W+Z] Y  
D"El6<3)h  
说明：光束分束器 bu1O<*  
iL\<G} I  
V)^nVD)e  
jt@k< #h~  
说明：检测透镜系统 sV@kQ:  
!E'jd72O  
N0,.cd]y`  
xwW[6Ah  
说明：微型晶片 HWi0m/J  
_8)9I?jH  
rg]eSP3 W  
~Yv"=  
说明：检测物镜 ~N&j6wHg#  
ff**)Xdh  
Ji\8(7 {8  
Z,.*!S=?h  
说明：探测器 rQC{"hS1  
FZ DC?  
qY]IX9'kV  
/0>Cy\eN0  
结果：3D光线追迹（只有0级） ,9^wKS!7$  
we9R4 *j  
'-p<E"#4Z  
@@9#od O  
结果：3D光线追迹（所有级） +O`0Mc$%'  
SWvy< f4<  
oIdMDp^$  
k%?wNk>  
结果：光线追迹 _fz-fG 1  
{ aqce g  
 o /AEp)8  
~Aq;g$IJZ  
结果：场追迹 |d?0ZA:z  
Dtl381F J  
 hhLEU_U  
O:"gJ4D  
结果：线性偏振光的场追迹 <?5 ,3`V  
LGGC=;{}  
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文档和技术信息 /!rH DcR  
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QQ：2987619807 _[zO?Div[  
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