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infotek 2020-10-16 10:08

检查微型晶片的光学系统

成像系统>包括光栅 DheQcM  
+z[+kir  
任务/系统说明 g^}C/~b[  
AhkDLm+  
 =W&m{F96  
_e/Bg~  
亮点 &=f?:UZ%  
W~PMR/^i  
z%1e>`\E  
mMvAA;  
 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) qyAnq%B}  
 严格分析光栅衍射效率 JVGTmS[3  
 考虑入射光的方向分布 ?6]B6  
FUf.3@}  
说明:光源 ^i r)z@P?V  
M.xZU\'ty  
r\cY R}v  
{\vVzy,t7  
说明:光束分束器 3IJ0 P.x!o  
vvG"rU  
8#\|Y~P  
NMQG[py!f  
说明:检测透镜系统 'oK o F  
XUKlgl!+.  
AusjN-IL  
*?*~<R  
说明:微型晶片 R(*t 1R\  
[Y~~C J  
(@qPyM6~}  
icX4n  
说明:检测物镜 \#xq$ygg  
`GkCOx,  
7r50y>  
0w: 3/WO  
说明:探测器 `N&*+!O%  
/G|v.#2/g  
f,F1k9-1!  
:8]8[  
结果:3D光线追迹(只有0级) IuT)?S7O*k  
@?3^ Ks_  
i]N<xcF9N*  
o2=):2x r{  
结果:3D光线追迹(所有级) <R+?>kz6  
wJ pb$;  
C #iZAR  
qH5nw}]  
结果:光线追迹 z HvE_ -  
$,J0) ~  
4I$Y"|_e  
`^,E4Qy  
结果:场追迹 ^N[ Cip}8  
k*n~&y:O  
:o ~'\:/  
4sntSlz)~k  
结果:线性偏振光的场追迹 p^*a>d:d]  
e@ D}/1~=  
tW4X+d"  
tq~4W% p/  
文档和技术信息 z@,(^~C_  
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-(F} =o'  
QQ:2987619807 k(pJVez  
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