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infotek 2020-10-16 10:08

检查微型晶片的光学系统

成像系统>包括光栅 _(J7^rN  
P5;LM9W  
任务/系统说明 gY AXUM,  
wj>mk  
7@g8nv(p  
+w Oa  
亮点 j(|G) F  
eTI<WFRc_  
 (~/VP3.S  
o56_t{<  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） e";r_J3w  
 严格分析光栅衍射效率 hWK}] gF  
 考虑入射光的方向分布 bS{7*S  
wiWpzJz  
说明：光源 DpIv <m]  
6JWCB9$4  
-If-c'"G  
Wvl>iHB  
说明：光束分束器 .BGM1ph}~  
qO=_i d  
^5TSo&qZ  
~je#gVoUR  
说明：检测透镜系统 qu[ ~#  
aH)$#6${Ap  
eR r.j  
.5I!h !  
说明：微型晶片 [B9'/:  
r]eeKV,{p  
$ WAFr  
kLVf}J~?  
说明：检测物镜 PF@+~FI  
EWPP&(u3  
<Vyv)#32o3  
THirh6  
说明：探测器 ^yUel.N5"  
;bVC7D~~4w  
SU OuayE  
E"5 z T1d  
结果：3D光线追迹（只有0级） 8YC\Bw  
v_f8zk  
3jPua)=p  
J#B% #X  
结果：3D光线追迹（所有级） <=8REA?  
 ~dfc  
[-!   
/_E8'qlx  
结果：光线追迹 0!F"s>(H  
-x2/y:q`  
 Ed9ynJ~)X  
b:/;  
结果：场追迹 }fnp}L  
 lk{  
  6\ /x  
<`*}$Zh  
结果：线性偏振光的场追迹 j <>|Hi #`  
`m?%{ \  
jr{C/B}  
 B" TZ8(<  
文档和技术信息 O{a<f7 W  
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 Et ty{r}  
Qj~m;F!  
 7P O3{I  
QQ：2987619807  5<bc>A-  
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