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infotek 2020-10-16 10:08

检查微型晶片的光学系统

成像系统>包括光栅 U6.hH%\}@  
sR^b_/ElxT  
任务/系统说明 9&{z?*  
vl~HV8MAv  
#pyFIUr=w  
!>f:wk2  
亮点 EQQ@nW{;  
#/5eQTBD  
 b~2LD3"3  
<fE ^S  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） hcM9Sx"!  
 严格分析光栅衍射效率 WcY$=\7  
 考虑入射光的方向分布 !ST7@D  
raZkH8  
说明：光源 -hq^';,  
uw/N`u  
(b.4&P"0  
N,UUM|?9_  
说明：光束分束器 eaDR-g"  
gjx-tp 1.  
hhz#I A6,  
Bw~jqDZ}|  
说明：检测透镜系统 L={\U3 __k  
Cm]\5}Py  
oF a,IA  
K{,'%|  
说明：微型晶片 W.%p{wB |  
?op;#/Q(  
 f^KN8N  
*>2e4j]  
说明：检测物镜 )!U@:x\K  
i6$HwRZm#  
*3]2vq  
~0[(-4MA  
说明：探测器 zeq")A  
"G,,:H9v  
E;9J7Q 4  
~2 nt33"  
结果：3D光线追迹（只有0级） O hRf&5u$  
q<Qjc  
e"*1l>g  
>?_}NZ,y  
结果：3D光线追迹（所有级） 9_4(}|"N|  
 ?!<Q8=  
V7`vLs-  
CI\yP@DQ4  
结果：光线追迹 )Gk?x$pY@  
\B:k|Pw6~  
 )wXE\$  
ng~LCffpY  
结果：场追迹 R4T@ ]l&W  
H:OpS-b  
 nLmF5.&  
E 0l&d  
结果：线性偏振光的场追迹 {$5g29  
c##tP*(  
ZJ~0o2xZ'  
 J}+N\V~  
文档和技术信息 +0j{$MPZ  
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 d[5v A/8O  
QQ：2987619807 _sZ&=-FR  
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