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cyqdesign 2020-10-11 16:22

现代应用光学(张以谟)

近年来,应用光学领域中出现了许多新技术。本书基于作者多年光学领域的研究和积累,系统阐述了应用光学的现代理论和应用,并引入这些新技术。全书内容包括波面像差理论及几何像差理论、以非球面和自由光学曲面简化光学系统设计、太阳能电站和现代高效照明中的非成像光学等;反映了应用光学中的前沿技术,如光学系统焦深扩展与衍射极限的突破、微纳光子学和表面等离子体微纳光学设备中的光学系统、自适应光学等;叙述了现代物理光学仪器的光学系统原理,包括光电干涉光学系统、光电光谱仪及分光光度光学系统、偏振光电仪器光学系统及偏振光成像技术等。本书既讲解应用光学基础理论,又涵盖国内外应用光学领域*新的技术理论和实现方法,适合作为相关专业高校师生和广大科研人员的参考书。 #- l1(m  
20Umjw.D  
[attachment=103750] 1Qc>A8SU  
4x`.nql  
|#y+iXTJ   
E{Tvjh+  
目 录 ?)8OC(B8q  
第1章 现代应用光学基础理论概述 1 sPu@t&$  
1.1 概述 1 %\ifnIQ  
1.1.1 本书的背景 1 MJ=(rp=YU9  
1.1.2 本书的内容安排 1 _a~uIGN  
1.2 光学系统设计中常用的光学材料特征参数 2 p41TSALq  
1.2.1 光学材料的光学参量 2 )A@i2I  
1.2.2 热系数及温度变化效应的消除 4 h{J=Rq  
1.2.3 其他玻璃数据 4 ,#NH]T`c1  
1.3 新型光学材料 5 0R#T3K}  
1.3.1 新型光学材料概述 5 ]TE,N$X  
1.3.2 光学材料发展概况 6 ai3wSUYJi  
1.4 液晶材料及液晶显示器 12 9r5<A!1#L  
1.4.1 液晶材料及其分类 12 #@i1jZ  
1.4.2 常用液晶显示器件的基本结构和工作原理 16 lY.{v]i }  
1.4.3 STN-LCD技术 27 CDNh9`  
1.4.4 液晶光阀技术 32 ?`,Rkg0fe  
1.4.5 硅上液晶(LCoS)反射式显示器 36 Cwb }$=p'  
1.4.6 光计算用SLM 38 55mDLiA  
1.5 电光源和光电探测器 38 T6P9Icv?@7  
1.5.1 电光源 38 \Q CH.~]  
1.5.2 激光器 41 eJ=K*t|  
1.5.3 光电导探测器 48 62}rZVJq  
1.5.4 光伏探测器 49 -W#-m'Lvu  
1.5.5 位敏探测器 53 q1|! oQ  
1.5.6 阵列型光电探测器 56 uT#MVv~.  
1.6 波像差像质评价基础知识 59 8 [z<gxP`?  
1.6.1 光学系统像差的坐标及符号规则 59 |uT &M`7\{  
1.6.2 无像差成像概念和完善镜头聚焦衍射模式 60 BEm~o#D  
参考文献 63 ;RmL'  
第2章 光学非球面的应用 67 nVO|*Bnf)  
2.1 概述 67 ~> xVhd  
2.2 非球面曲面方程 67 }'"4q  
2.2.1 旋转对称的非球面方程 67 "K!9^!4&  
2.2.2 圆锥曲线的意义 68 kVH^(Pi  
2.2.3 其他常见非球面方程 70 AP2BND9  
2.2.4 非球面的法线和曲率 71 )|Ho"VEmg  
2.3 非球面的初级像差 71 MFHc>O DA  
2.3.1 波像差及其与垂轴像差的关系 71 SWrt4G  
2.3.2 非球面的初级像差 73 :~% zX*   
2.3.3 折射锥面轴上物点波像差 75 hj8S".A_  
2.3.4 折射锥面轴外物点波像差 76 voD0 u  
2.4 微振(perturbed)光学系统的初级像差计算 77 "EE=j$8u+  
2.4.1 偏心(decentered)光学面 78 uTX0lu;  
2.4.2 光学面的倾斜 80 |?kZfr&9q  
2.4.3 间隔失调(despace)面 81 tH}$j  
2.5 两镜系统的理论基础 82 7jf%-X  
2.5.1 两镜系统的基本结构形式 82 M_ GN3  
2.5.2 单色像差的表示式 82 P ]prrKZe,  
2.5.3 消像差条件式 84 +Vf39}8  
2.5.4 常用的两镜系统 85 aCwb[7N  
2.6 二次圆锥曲面及其衍生高次项曲面 86 kY$vPHZpN  
2.6.1 消球差的等光程折射非球面 86 q%RPA e  
2.6.2 经典卡塞格林系统 87 +1R qo  
2.6.3 格里高里系统 88 {eQ')f  
2.6.4 只消球差的其他特种情况 88 qMA K"%x  
2.6.5 R-C(Ritchey-Chrétien)系统及马克苏托夫系统 89 M.[A%_|P  
2.6.6 等晕系统的特殊情况 90 ^<}>]F_  
2.6.7 库特(Cuder)系统及同心系统 91 W,g0n=2V  
2.6.8 史瓦希尔德(Schwarzschield)系统 92 W{{{c2 .  
2.6.9 一个消四种初级像差 的系统 93 ]xYm@%>6  
2.6.10 无焦系统 93 s--\<v  
2.7 两镜系统的具体设计过程 93 Gp PlO]  
2.7.1 R-C系统的设计 93 knPo"GQW  
2.7.2 格里高里系统与卡塞格林系统 94 4;_<CB  
2.8 施密特光学系统设计 95 Hf ]w  
2.8.1 施密特光学系统的初级像差 95 --32kuF&(  
2.8.2 施密特校正器的精确计算法 98 w|;kL{(W  
2.9 三反射镜系统设计示例 99 E2 5:e EXa  
2.9.1 设计原则 99 EE^ N01<"\  
2.9.2 设计过程分析 100 R24ZjbKL  
2.9.3 设计示例 101  =Y0>b4  
参考文献 103 >`@c9 m  
第3章 衍射光学元件 105 S]P80|!|  
3.1 概述 105 4ZRE3^y\"  
3.1.1 菲涅耳圆孔衍射――菲涅耳波带法 106 :Hn*|+'  
3.1.2 菲涅耳圆孔衍射的特点 108 }EW@/; kC  
3.1.3 菲涅耳圆屏衍射 109 mp\`9j+{  
3.2 波带片 110 d- wbZ)BR  
3.2.1 菲涅耳波带片 110 N@z+h  
3.2.2 相位型菲涅耳波带片 112 i l)LkZ@  
3.2.3 条形或方形波带片 113 JLZ[sWP='  
3.3 衍射光学器件衍射效率 113 RyxEZ7dC<y  
3.3.1 锯齿形一维相位光栅的衍射效率 113 v+3-o/G7  
3.3.2 台阶状(二元光学)相位光栅的衍射效率及其计算 114 L&i_  
3.4 通过衍射面的光线光路计算 115 bay7%[BLB  
3.5 衍射光学系统初级像差 118 P/'9k0zs)  
3.5.1 衍射光学透镜的单色初级像差特性 118 Ke_ & dgsq  
3.5.2 折衍混合成像系统中衍射结构的高折射率模型及PWC描述 121 j.5;0b_L^  
3.5.3 P∞、W∞、C与折衍混合单透镜结构的函数关系 122 Fp`MX>F  
3.6 折衍光学透镜的色散性质及色差的校正 123 Q]?Lg  
3.6.1 折衍光学透镜的等效阿贝数ν 123 $c WO`\XM  
3.6.2 用DOL实现消色差 124 #kuk3}&  
3.6.3 折衍光学透镜的部分色散及二级光谱的校正 125 0%m}tfQ5  
3.7 衍射透镜的热变形特性 127 c04"d"$ x  
3.7.1 光热膨胀系数 127 @\!9dK-W  
3.7.2 消热变形光学系统的设计 129 ?^# h|aUp.  
3.7.3 折衍混合系统消热差系统设计示例 130 0Q]p#;  
3.8 衍射面的相位分布函数 132 \[-z4Fxg|'  
3.8.1 用于平衡像差的衍射面的相位分布函数 132 E2PMcT{)_  
3.8.2 用于平衡热像差的衍射面的相位分布函数 133 Rilr)$  
3.9 多层衍射光学元件(multi-layer diffractive optical elements) 133 0B4&!J  
3.9.1 多层衍射光学元件的理论分析 134 ^w+jPT-n  
3.9.2 多层衍射光学元件的结构 134 Tath9wlv6;  
3.9.3 多层衍射光学元件材料的选择 134 q0}?F  
3.9.4 多层衍射光学元件的衍射效率 135 K}]0<\N  
3.9.5 多层衍射光学元件在成像光学系统中的应用举例 136 N'#Lb0`B  
3.10 谐衍射透镜(HDL)及其成像特点 137 ""dX4^gtU  
3.10.1 谐衍射透镜 137 K-xmLEu  
3.10.2 谐衍射透镜的特点 137 aWLeyXsAu  
3.10.3 单片谐衍射透镜成像 138 UacGq,  
3.10.4 谐衍射/折射太赫兹多波段成像系统设计示例 139 Tz=YSQy$9  
3.11 衍射光学轴锥镜(简称衍射轴锥镜) 143 /R_*u4}iD  
3.11.1 衍射轴锥镜 143  n(mS  
3.11.2 设计原理和方法 144 @;-6qZ  
参考文献 150 #&@qmps(T  
第4章 非对称光学系统像差理论 153 Se o3a6o  
4.1 波像差与Zernike多项式概述 153 Kp|#04]  
4.1.1 波前像差理论概述 153 I) $of9   
4.1.2 角向、横向和纵向像差 154 "! yKX(aTX  
4.1.3 Seidel像差的波前像差表示 155 -V'`;zE6  
4.1.4 泽尼克(Zernike)多项式 162 A/ eZ!"Y  
4.1.5 条纹(fringe)Zernike系数 164 %HRFH  
4.1.6 波前像差的综合评价指标 165 I82?sQ7  
4.1.7 色差 167 kXj%thDx  
4.1.8 典型光学元件的像差特性 167 I<w`+<o(  
4.2 非对称旋转成像光学系统中像差理论 174 s$ ONht  
4.2.1 重要概念简介 174 &M)S~Hb^  
4.2.2 倾斜非球面光学面处理 176 >!j= {hK  
4.2.3 局部坐标系统(LCS)近轴光方法计算单个光学面像差场中心 176 q4k)E  
4.2.4 OAR的参数化 179 _{EO9s2FG  
4.2.5 倾斜和偏心的光学面的定位像差场对称中心矢量(像差场偏移量的推导) 181 &h7q=-XU   
4.2.6 基于实际光线计算单个面的像差场中心 182 ~urV`J  
4.2.7 失调光学系统的波像差表示式 183 + *YGsM`E9  
4.2.8 举例:LCS近轴计算与其实际光线等价计算的比较 185 L`i#yXR  
4.3 近圆光瞳非对称光学系统三级像差的描述 187 pai>6p  
4.3.1 光学系统的像差场为各个面的贡献之和 187 '~-Lxvf'  
4.3.2 带有近圆光瞳的非旋转对称光学系统中的三级像差 187 iL-I#"qT,  
4.3.3 节点像差场 191 $jYwV0  
4.3.4 波前误差以及光线的横向像差 194 \ B~9Ue!  
4.3.5 非对称光学系统中的三级畸变 195 K8dlECy  
4.4 非旋转对称光学系统的多节点五级像差:球差 197 TA47lz q  
4.4.1 非旋转对称光学系统像差概述 197 ]Q\Ogfjp  
4.4.2 非旋转对称光学系统的五级像差 198 4>4*4!KR}  
4.4.3 五级像差的特征节点行为:球差族包括的各项 199 8s4y7%,|  
参考文献 203 Mk=;UBb$X  
第5章 光学自由曲面的应用 205 9o.WJ   
5.1 光学自由曲面概述 205 +$)C KC  
5.2 参数曲线和曲面 206 nL}bCX{  
5.2.1 曲线和曲面的参数表示 206 \C3ir&  
5.2.2 参数曲线的代数和几何形式 210 ^n@.  
5.3 Bézier曲线与曲面 212 )x.}B4z  
5.3.1 Bézier曲线的数学描述和性质 212 w;.'>ORC  
5.3.2 Bézier曲面 215 }b9#.H9  
5.4 B样条(B-spline)曲线与曲面 217 ]MkZ1~f7  
5.4.1 B样条曲线的数学描述和性质 217 u7u8cVF  
5.4.2 B样条曲线的性质 219 /EUv=89{!  
5.4.3 B样条曲面的表示 220 #e.2m5T  
5.5 双三次均匀B样条曲面 221 QZBXI3%#s  
5.5.1 B 样条曲面 221 K\&A}R  
5.5.2 双三次均匀B样条曲面的矩阵公式 223 BoB2q(  
5.6 非均匀有理B样条(NURBS)曲线与曲面 224 k]<  
5.6.1 NURBS曲线与曲面 224 d"nz/$  
5.6.2 NURBS曲线的定义 224 A>6 b 6  
5.6.3 NURBS表示 226 i0uBb%GMT  
5.6.4 非均匀有理B样条曲面 228 ^R.#n[-r2  
5.7 Coons曲面 229 XD`QU m  
5.7.1 基本概念 229 0lNVQxG  
5.7.2 双线性Coons曲面 230 U,C L*qTF  
5.7.3 双三次Coons曲面 231 c=l 3Sz?  
5.8 自由曲面棱镜光学系统 232 L!E/ )#{  
5.8.1 自由曲面棱镜概述 232 zCD?5*7  
5.8.2 矢量像差理论及初始结构确定方法 233 a z 7Vy-  
5.8.3 自由曲面棱镜设计 236 p6[a"~y  
5.8.4 用光学设计软件设计含自由曲面的光学系统 238 dt Q>4C"N  
参考文献 239 p.q :vI$J  
第6章 共形光学系统 241 Lj"~6l`)  
6.1 概述 241 WYTeu "  
6.1.1 共形光学系统的一般要求 241 8uoFV=bj\  
6.1.2 共形光学系统的主要参量 244 >9W ;u`  
6.1.3 共形光学系统中的像差校正 250 Ebp^-I9.d  
6.1.4 共形光学系统实际应用须考虑的问题 252 S .rT5A[  
6.2 椭球整流罩的几何特性及消像差条件在共形光学系统中的应用 253 TX]4Y953D  
6.2.1 椭球面几何特性分析 253 ?7@Y=7BS4  
6.2.2 椭球整流罩的几何特性 256 XM3N>OR.  
6.2.3 利用矢量像差理论分析椭球整流罩结构的像差特性 258 B^Q\l!r  
6.3 基于Wassermann-Wolf方程的共形光学系统设计 259 2Z6#3~  
6.3.1 共形光学系统解决像差动态变化的方法概述 259 euM7> $`  
6.3.2 共形光学系统的像差分析 260 Q7$ILW-S  
6.3.3 Wassermann-Wolf非球面理论 261 buGW+TrWY  
6.3.4 利用Wassermann-Wolf原理设计共形光学系统 265 FG7}MUu  
6.4 折/反射椭球形整流罩光学系统的设计 268 ?eT^gWX  
6.4.1 折/反射椭球形整流罩光学系统的设计原则 269 zp r`  
6.4.2 椭球形整流罩像差分析 269 9|dgmEd  
6.4.3 两镜校正系统初始结构设计原理 269 ~C< X~$y&  
6.4.4 用平面对称矢量像差理论分析光学系统像差特性 274 Vb06z3"r  
6.4.5 设计结果 275 cu|gM[  
6.5 共形光学系统的动态像差校正技术 276 < pI2}  
6.5.1 共形光学系统的固定校正器 276 KotJ,s]B  
6.5.2 弧形校正器 278 S#qd#Zk|Y  
6.5.3 基于轴向移动柱面―泽尼克校正元件的动态像差校正技术 280 goi.'8M|/b  
6.6 二元光学元件在椭球整流罩导引头光学系统中的应用 283 ,#&lNQ'I  
6.6.1 二元光学元件的光学特性 284 5n1;@Vr  
6.6.2 二元衍射光学元件在椭球形整流罩导引头光学系统中的应用 286 7/NXb  
6.6.3 利用衍/射光学元件进行共形整流罩像差校正的研究 288 r00waw>C\  
6.6.4 折/衍混合消热差共形光学系统的设计 291 $78fR8|r-  
6.7 利用自由曲面进行微变焦共形光学系统设计 295 F"j0;}+N  
6.7.1 自由曲面进行微变焦共形光学系统的特点 295 ;rpjXP  
6.7.2 利用自由曲面的像差校正方法 295 oju7<b9Ez  
6.8 基于实际光线追迹的共形光学系统设计概述 298 _n_lO8mK  
6.8.1 实际光线追迹设计方法可在共形光学系统整个观察视场内得到较好像质 298 &^4\Rx_I  
6.8.2 实际光线追迹方法概述 299 %\=5,9A\  
参考文献 302 Q,Vv  
第7章 非成像光学系统 308 +T=Z!2L  
7.1 引言 308 CfQOG7e@  
7.1.1 太阳能热发电技术简介 308 8Wid.o-U  
7.1.2 太阳能光伏发电 311 $x 6Rmd{  
7.1.3 照明非成像光学 312 EtJyI&7VK  
7.2 非成像光学概述 314 c|u{(E58  
7.2.1 非成像会聚器特性 314 Dna0M0   
7.2.2 光学扩展不变量 314 7 2ux3D  
7.2.3 会聚度的定义 315 "JAYTatO7H  
7.3 会聚器理论中的一些几何光学概念 316 oabc=N!7r  
7.3.1 光学扩展量的几何光学概念 316  @jO3+  
7.3.2 在成像光学系统中像差对会聚度的影响 317 !7@IWz(, "  
7.3.3 光学扩展量(拉氏不变量)和相空间的广义概念 318 [wP;g'F  
7.3.4 斜不变量 320 %TxFdF{A  
7.4 非成像光学的边缘光线原理 322 rH8^Fl&jT  
7.4.1 边缘光线原理 322 d7qY(!&  
7.4.2 边缘光线原理应用――“拉线”方法 322 I\PhgFt@O  
7.5 复合抛物面会聚器(CPC) 324 y.2_5&e/  
7.5.1 光锥会聚器 324 `C`CU?D  
7.5.2 复合抛物面会聚器(CPC)概述 324 (;P)oB"`C  
7.5.3 复合抛物面会聚器的性质 326 BKfcK>%g  
7.5.4 增加复合抛物面会聚器的最大会聚角 328 |{+D65R  
7.6 同步多曲面设计方法 331 ?`Qw=8]`  
7.6.1 SMS方法设计会聚器概述 331 Z; Xg5  
7.6.2 一个非成像透镜的设计:RR会聚器 332 P %f],f  
7.6.3 XR会聚器 335 _Xd,aLoo  
7.6.4 RX会聚器 337 jI(~\`  
7.7 XX类会聚器 340 q$e2x=?  
7.7.1 XX类会聚器的原理 340 /J`8Gk59  
7.7.2 RX1会聚器 341 UvRa7[<y%%  
7.7.3 RX1会聚器的三维分析 341 {M U>5\  
7.8 非成像光学用于LED照明 343 Ji4c8*&Jpc  
7.8.1 边缘光线扩展度守恒原理和控制网格算法 344 XP *pYN  
7.8.2 LED的非成像光学系统设计实例 346 /E$"\md  
7.8.3 大范围照明光源设计(二维给定光分布设计) 347 q.FgX  
7.9 非成像光学用于LED均匀照明的自由曲面透镜 348 n|IdEgD$  
7.9.1 均匀照明的自由曲面透镜概述 348 ~PP*k QZlJ  
7.9.2 LED浸没式自由曲面透镜设计方法 349 g<{/mxv/  
7.9.3 设计示例 351 vE7L> 7  
参考文献 353 !OekN,6  
第8章 光电光学系统中紧凑型照相光学系统设计 356 buX$O{43I  
8.1 概述 356 ^;n,C+  
8.1.1 数码相机的组成 356 PcC9)x  
8.1.2 数码相机中图像传感器CCD和CMOS的比较 357 G^!20`p:  
8.1.3 数码相机的分类 359 Bx0^?>  
8.1.4 数码相机的光学性能 364 .,(bDXl?  
8.1.5 数码相机镜头的分类和特点 365 q3JoU/Sf  
8.2 数码相机镜头设计示例 367 zz 7 m\  
8.2.1 球面定焦距镜头设计示例 367 kX."|]  
8.2.2 非球面定焦距镜头设计示例 370 ZN-J!e"`  
8.3 变焦距镜头设计示例 372 . ]0B=w* Z  
8.3.1 变焦透镜组原理 373 zI8Q "b  
8.3.2 非球面变倍镜头初始数据 373 3g9xTG);eA  
8.3.3 折叠式(潜望式)变焦镜头示例 376 Ox.&tW%@  
8.4 手机照相光学系统 378 RN238]K  
8.4.1 手机照相光学系统概述 378 }MW*xtGV  
8.4.2 两片型非球面手机物镜设计示例 379 n?_!gqK  
8.4.3 三片型手机物镜设计 382 (h7 rW3  
8.5 手机镜头新技术概述 385 %YG ~ql  
8.5.1 自由曲面在手机镜头中的应用 385 \ F#mwl,>"  
8.5.2 液体镜头 385 HE(|x 1C)j  
8.6 鱼眼镜头概述 388 Yv }G"-=  
8.6.1 鱼眼镜头是“仿生学的示例” 388 RoSh|$JF  
8.6.2 鱼眼镜头基本结构的像差校正 390 v>YdPQky  
8.6.3 鱼眼镜头基本光学结构的演变 391 7'Y 3T[  
8.6.4 鱼眼镜头的发展 391 n( l!T 7  
8.6.5 鱼眼镜头的光学性能 393 CdlE"Ye  
8.6.6 光阑球差与入瞳位置的确定 396 o $oW-U  
8.6.7 光阑彗差与像差渐晕 398 LOpn PH`  
8.6.8 鱼眼镜头示例与投影方式比较 399 ]WR+>)ERb  
参考文献 402 b>=MG8  
第9章 光学系统焦深的扩展与衍射极限的突破 405 p#hs8xz  
9.1 概述 405 KhAj`vOzK  
9.1.1 扩展焦深概述 405 xK9"t;!C&  
9.1.2 超衍射极限近场显微术概述 409 KRQKL`}}  
9.1.3 远场超分辨成像 418 _Sy-&}c+ +  
9.2 光学成像系统景深的延拓 420 M 8a^yoZn  
9.2.1 景深延拓概述 420 W_9-JM(r  
9.2.2 延拓景深的方形孔径相位模板 425 !ccKbw)J#  
9.2.3 增大景深的圆对称相位模板 438 {[hH: \  
9.3 多环分区圆对称相位模板设计 442 5:/ zbt\C  
9.3.1 多环分区圆对称相位模板的概念 442 $cEl6(66iX  
9.3.2 多环分区圆对称相位模板对应系统的特性 448 fs+l  
9.3.3 圆对称相位模板成像系统的优缺点 450 Rnt&<|8G  
9.3.4 初级像差的影响以及延拓景深图像的复原 451 W76K/A<h>  
9.3.5 延拓景深相位模板系统的图像复原与其光学成像系统的光学设计 456 ^5j|   
9.3.6 延拓景深光学成像系统的光学设计 460 T`7;Rl'Q  
9.4 轴锥镜(axicon)扩展焦深 468 Ke '?  
9.4.1 轴锥镜 468 oGx OJyD  
9.4.2 小焦斑长焦深激光焦点的衍射轴锥镜的设计 476 `G&W%CHB  
9.5 近场光学与近场光学显微镜 478 eyf\j,xP&  
9.5.1 近场光学概念 478 L22GOa0  
9.5.2 近场扫描光学显微镜(NSOM) 482 0'*whhH  
9.6 扫描探针显微镜 488 Y,?s-AB  
9.6.1 与隧道效应有关的显微镜 489 MKLntX  
9.6.2 原子力显微镜(AFM) 491 /2pf*\u  
9.6.3 扫描力显微镜(SFM) 495 |E-/b6G  
9.6.4 检测材料不同组分的SFM技术 498 +gqtW8 6  
9.6.5 光子扫描隧道显微镜(PSTM) 499 CwZ+P n0  
9.7 原子力显微镜 504 /KjRB_5~q}  
9.7.1 原子力显微镜的基本组成 504 $7eO33Bm  
9.7.2 近场力 505  hX?L/yf  
9.7.3 微悬臂力学 507 [~9rp]<  
9.7.4 AFM探测器信号 508 RB.&,1  
9.7.5 原子力显微镜的测量模式 509 l|z 'Lwwm5  
9.7.6 原子力显微镜检测成像技术 512 x4fl=  
9.7.7 AFM的优点和正在改进之处 513 SO%x=W  
9.7.8 电力显微镜(EFM) 513 \GS]jhEtn  
9.8 远场超高分辨率显微术 516 QEK,mc3  
9.8.1 远场超高分辨率显微术概述 516 n.jF:  
9.8.2 4Pi显微镜 517 A]" $O&l  
9.8.3 3D随机光学重建显微镜(STORM) 519 rTYDa3  
9.8.4 平面光显微镜(SPIM)基本原理 520 r2H \B,_  
9.8.5 福斯特共振能量转移显微镜(FRETM) 521 BTjfzfO"  
9.8.6 全内反射荧光显微镜(TIRFM) 522 \9;u.&$mNB  
9.9 衍射光学组件用于扫描双光子显微镜的景深扩展 524 :W(3<D7\  
9.9.1 远场超分辨显微镜扩展焦深概述 524 vKN"o* q  
9.9.2 扩展焦深显微光学系统设计 525 RFd.L@-]  
9.9.3 扫描双光子显微成像系统的扩展景深实验 528 . [DCL  
参考文献 532 O 4@sN=o  
第10章 自适应光学技术应用概述 542 Z_Jprp{3h  
10.1 引言 542 .r[b!o^VR  
10.1.1 自适应光学技术的发展 542 e\x=4i  
10.1.2 自适应光学系统 544 T.O^40y  
10.1.3 自适应光学应用技术 545 @r4ZN6Wn  
10.1.4 自适应光学在相控阵系统中的应用 547 1| "s_m>g  
10.1.5 高能激光相控阵系统简介 549 ks|[`FH  
10.2 自适应光学系统原理 553 wEL$QOu$  
10.2.1 自适应光学概念 553 WqP>cl2Lm  
10.2.2 共光路/共模块自适应光学原理及衍生光路 557 9XWHr/-_@  
10.3 自适应光学系统的基本组成原理和应用 569 m<)0 XE6w  
10.3.1 波前传感器 569 g.OBh_j-v  
10.3.2 波前校正器 578 #R$d6N[H  
10.3.3 波前控制器及控制算法 584 +g,:!5pg  
10.3.4 激光导星原理及系统 589 ;@p2s'(  
10.4 天文望远镜及其自适应光学系统 601 sPY *2B  
10.4.1 2.16 m望远镜及其自适应光学系统 601 ~ l"70\&  
10.4.2 37单元自适应光学系统 608 j~,7JJ (y  
10.4.3 1.2 m望远镜61单元自适应光学系统 612 V&`\ s5Q  
10.5 锁相光纤准直器的自适应阵列实验系统 620 N"M K 0k  
10.5.1 概述 620 cAq>|^f0a  
10.5.2 光纤准直器的自适应阵列中的反馈控制 626 nB"r<?n<  
10.6 阵列光束优化式自适应光学的原理与算法 631 z3+y|nx!  
10.6.1 光学相控阵技术基本概念 631 #PUvrA2Zl  
10.6.2 优化算法自适应光学 633 p'UYH t  
10.6.3 阵列光束优化式自适应光学的原理与发展 634 !Cxo4Twg  
10.6.4 阵列光束优化式自适应光学算法 635 hZ2!UW4'  
10.7 自适应光学技术在自由空间光通信中的应用 642 YBn"9w\#  
10.7.1 自由空间光通信概述 642 PmOm>  
10.7.2 自由空间光通信系统概述 643 ' 7G'R  
10.7.3 一些自由空间光通信的示例 649 d%_v eVIe  
10.7.4 自适应光学结合脉冲位置调制(PPM)改善光通信性能 653 2|]$hjs  
10.7.5 无波前传感自适应光学(AO)系统 656 Poy ]5:.  
10.8 自由空间激光通信终端系统原理 659 >m='#x0>Y  
10.8.1 终端系统结构和工作原理 659 L6`(YX.:  
10.8.2 激光收发子系统 660 yoa"21E$  
10.8.3 捕获跟踪瞄准(ATP)子系统 662 3a PCi>i!_  
10.8.4 光学平台子系统 662 :e>y= s>  
10.8.5 卫星终端系统概述 666 WNSf$D{p  
10.8.6 基于自适应光学技术的星载终端光学系统方案示例 673 e3w4@V`  
10.9 自适应光学技术的其他典型应用举例 675 m[ *)sm  
10.9.1 自适应光学技术在惯性约束聚变技术中的应用概述 675 "j BrPCB 8  
10.9.2 自适应光学用于月球激光测距 679 %T@3-V_  
10.9.3 自适应光学系统在战术激光武器中的应用简介 682 ixF '-  
10.9.4 自适应光学在医学眼科成像中的应用 689 /Am,5X.   
参考文献 696 hZ NS$  
第11章 微纳投影光刻技术导论 711 vQB;a?)o  
11.1 引言 711 `tA~"J$32l  
11.2 光刻离轴照明技术 717 OAPR wOQ^=  
11.3 投影光刻掩模误差补偿 721 QA?e2kd  
11.4 投影光刻相移掩模 728 #4S">u  
11.5 电子投影光刻(EPL) 735 n'R9SnW  
11.6 离子束曝光技术 750 ipU,.@~#  
11.7 纳米压印光刻(NIL)技术 754 k(1]!c4J0  
参考文献 761 7U68|\fI!  
第12章 投影光刻物镜 769 0'y9HE'e  
12.1 概述 769 2w)[1s[  
12.1.1 光刻技术简介 769 `^HAWo;J  
12.1.2 提高光刻机性能的关键技术 769 c{4C4'GD  
12.1.3 ArF光刻机研发进展 771 S*;8z}5<\  
12.1.4 下一代光刻技术的研究进展 772 SXX6EIJr|  
12.2 投影光刻物镜的光学参量 772 1SIhW:C  
12.2.1 投影光刻物镜的光学特征 772 XnC`JO+7M  
12.2.2 工作波长与光学材料 774 \49LgN@\  
12.3 投影光刻物镜结构形式 784 BeP]M1\?>  
12.3.1 折射式投影物镜结构形式 784 ph\KTLU  
12.3.2 折射式光刻投影物镜 785 :SFcnYv0  
12.3.3 深紫外(DUV)投影光刻物镜设计要求 786 $1<V'b[E  
12.3.4 深紫外(DUV)非球面的投影光刻物镜 786 J6pQ){;6  
12.3.5 光阑移动对投影光刻物镜尺寸的影响 787 5bU[uT,`6  
12.4 光刻物镜的像质评价 788 9x;CJhX  
12.4.1 波像差与分辨率 788 fNb2>1  
12.4.2 基于Zernike多项式的波像差分解 791 L=Cm0q 3 v  
12.4.3 条纹Zernike多项式的不足与扩展 794 H9'Y` -r  
12.5 运动学安装机理与物镜像质精修 795 vg@kPuOiO  
12.5.1 运动学安装机理 795 ~=HrD?-99p  
12.5.2 物镜像质精修 796 M$&aNt;  
12.5.3 投影光刻物镜的像质补偿 796 A[20ic  
12.6 进一步扩展NA 801 j8/rd  
12.6.1 用Rayleigh公式中的因子扩展NA 801 UeNa  
12.6.2 非球面的引入 802 JU^ {!u  
12.6.3 反射光学元件的引入 802  c(Liwuj  
12.6.4 两次曝光或两次图形曝光技术 803 y9W6e "  
12.7 浸没式光刻技术 803 ]pUf[^4  
12.7.1 浸没式光刻的原理 803 (!kd9uV  
12.7.2 浸没液体 804 S[!sJ-rG  
12.7.3 浸没式大数值孔径投影光刻物镜 805 Hkq""'Mx+w  
12.7.4 偏振光照明 806 5!WQ  
12.7.5 投影光刻物镜的将来趋势 808 p H&Tb4  
12.8 极紫外(EUV)光刻系统 810 |+Gv)Rvp  
12.8.1 极紫外(EUV)光源 810 .48Csc-  
12.8.2 EUVL(extreme ultraviolet lithography)投影光刻系统的主要技术要求 813 cp@(y$  
12.8.3 两镜EUV投影光刻物镜 815 ^Mw>'*5^  
12.8.4 ETS 4镜原型机 819 ^R\et.W`s  
12.9 EUVL6镜投影光学系统设计 820 6zuWG0t  
12.9.1 非球面6镜投影光学系统结构 820 JkT , i_  
12.9.2 分组设计法――渐进式优化设计6片(22 nm技术节点) EC[2rROn\  
反射式非球面投影光刻物镜 821 {#>>dILPr  
12.9.3 EUVL照明系统设计要求 825 >KF1]/y<  
12.10 鞍点构建方法用于光刻物镜设计 827 Gao8!OaQ  
12.10.1 构建鞍点的价值函数的基本性质 827 H/!_D f  
12.10.2 鞍点构建 828 {}F?eI  
12.10.3 DUV光刻物镜的枢纽 830 aD yHIh8  
12.10.4 深紫外(DUV)光刻物镜设计举例 832 yEYlQ=[#  
12.10.5 用鞍点构建方法设计EUV投影光刻系统 835 O'tVZ!C#J  
12.10.6 极紫外(EUV)光刻物镜举例 836 K/oC+Z;K  
12.10.7 鞍点构建设计方法中加入非球面设计概述 837 IIC1T{D}v  
参考文献 840 RU} M&&  
第13章 表面等离子体纳米光子学应用 850 .&Uu w  
13.1 表面等离子体概述 850 cYBv}ylw}R  
13.1.1 表面等离子体相关概念 850 29:1crzx~  
13.1.2 表面等离子体激发方式 852 S3cjw9V  
13.2 SPP产生条件和色散关系 854 eq^<5 f  
13.2.1 电荷密度波(CWD)与激发SPP的条件 854 o`B,Pt5vu  
13.2.2 介电质/金属结构中典型的SPP色散曲线 856 V&7jd7 2{  
13.3 SPP的特征长度 858 K$>C*?R  
13.3.1 概述 858 eK_Q>;k5A  
13.3.2 SPP的波长λSPP 859 ! Jh/M^  
13.3.3 SPP的传播距离δSPP 860 (r8Rb*OP  
13.3.4 实验 862 Af8&PhyrU  
13.3.5 SPP场的穿透深度δd和δm 863 Mm7l!  
13.4 SPP的透射增强 864 #vk-zx*v7=  
13.4.1 透射增强 864 s>}ScJZK  
13.4.2 围绕单孔的同心环槽状结构 865 ex_Zw+n  
13.4.3 平行于单狭缝的对称线性槽阵列 866 wps`2`z  
13.5 突破衍射极限的超高分辨率成像和银超透镜的超衍射极限成像 867 Jw%0t'0Zi  
13.5.1 超透镜的构成 867 ^,@!L-<~(b  
13.5.2 银超透镜 868 T /iKz  
13.5.3 银超透镜成像实验 869 2&*r1NXBE  
13.6 SPP纳米光刻技术 870 v7rEU S-  
13.6.1 表面等离子体共振干涉纳米光刻技术 870 W/*2I3a  
13.6.2 基于背面曝光的无掩模表面等离子体激元干涉光刻 871 D{h sa  
13.6.3 在纳米球―金属表面系统中激发间隙模式用于亚30 nm表面等离子体激元光刻 873 25xpq^Zw  
13.6.4 用介电质―金属多层结构等离子体干涉光刻 875 2[WH8l+  
13.7 高分辨率并行写入无掩模等离子体光刻 879 SKTf=rY  
13.7.1 无掩模等离子体光刻概述 879 b21c} rI3  
13.7.2 传播等离子体(PSP)和局域等离子体(LSP) 879 sGx"j a +  
13.7.3 纳米等离子体光刻渐进式多阶聚焦方案 880 lR5< G  
参考文献 885 ;XFo:?  
第14章 干涉技术与光电系统 892 C'bW3la  
14.1 概述 892 :1Jg;G  
14.1.1 经典干涉理论 892 /P<K)a4GM  
14.1.2 光的相干性 893 Wj2s+L7,  
14.1.3 常用的激光器及其相干性 894 #X&`gDW  
14.2 传统干涉仪的光学结构 897 Ap}^6_YXd  
14.2.1 迈克尔逊(Michelson)干涉仪 897 ka_]s:>+  
14.2.2 斐索(Fizeau)干涉仪 898 )6?(K"T  
14.2.3 泰曼-格林(Twyman-Green)干涉仪 899 9b`J2_ ]k  
14.2.4 雅敏(Jamin)干涉仪 900 `% sKF  
14.2.5 马赫-曾德(Mach-Zehnder)干涉仪 901 A%H"a+  
14.3 激光干涉仪的光学结构 901 |Sg FHuA  
14.3.1 激光偏振干涉仪 902 sjBP#_lW  
14.3.2 激光外差干涉仪 904 aAY=0rCI-  
14.3.3 半导体激光干涉仪光学系统 906 1EvAV,v"  
14.3.4 激光光栅干涉仪光学系统 907 F?b5!<5  
14.3.5 激光多波长干涉仪 912 r)$(>/[$  
14.3.6 红外激光干涉仪 916 O+vuv,gNi  
14.3.7 双频激光干涉仪 919 y8T%g(  
14.4 波面与波形干涉系统光学结构 921 <0,c{e  
14.4.1 棱镜透镜干涉仪光学系统 922 <^j,jX  
14.4.2 波前剪切干涉仪 923 '~?\NeO=  
14.4.3 三光束干涉仪与多光束干涉仪 926 d! 0p^!3  
14.4.4 数字波面干涉系统 928 jkd'2  
14.4.5 锥度的干涉测量光学结构 930 n[Jpy[4g  
14.5 表面微观形貌的干涉测量系统 931 5&5 x[S8  
14.5.1 相移干涉仪光学结构 931 3nVdws  
14.5.2 锁相干涉仪光学结构 931 \iFh-?(  
14.5.3 干涉显微系统光学结构 933 ~9.0:Fm<  
14.5.4 双焦干涉显微镜光学结构 936 2/.E uf   
14.6 亚纳米检测干涉光学系统 937 NUVFG;  
14.6.1 零差检测干涉系统 937 Y`@:L'j  
14.6.2 外差检测干涉系统 939 h+o-h4X  
14.6.3 自混频检测系统 940 _~m@ SI  
14.6.4 自适应检测系统 942 `9;:mR $  
14.7 X射线干涉仪系统光学结构 943 <ptZY.8N  
14.7.1 X射线干涉仪的特点 943 #T0uPK ;  
14.7.2 X射线干涉仪的原理 944 7~@q#]U[  
14.7.3 X射线干涉仪的应用 944 U8_<?Hd  
14.8 瞬态光电干涉系统 945 3DH} YAUU  
14.8.1 瞬态干涉光源 945 h^E"eC  
14.8.2 序列脉冲激光的高速记录 946 (UW V#AR  
14.9 数字全息干涉仪光学结构 948 $q`650&S*  
14.10 光纤干涉光学系统 952 M*|,05>  
14.10.1 光纤干涉基本原理 952 '0z-duu  
14.10.2 光纤干涉光学系统结构 952 xij`Mr  
14.10.3 Sagnac干涉仪:光纤陀螺仪和激光陀螺仪 957 <-xI!o"}  
14.10.4 微分干涉仪光学结构 959 Y%AVC9(  
14.10.5 全保偏光纤迈克尔逊干涉仪光学结构 961 dTN[E6#R  
14.10.6 三光束光纤干涉仪光学结构 962 @BbqYX  
14.10.7 全光纤白光干涉仪光学结构 963 sTx23RJ9  
14.10.8 相位解调技术 965 2H7b2%  
参考文献 969 JQCQpn/  
第15章 光电光谱仪与分光光学系统设计 972 &jJj6 +P\  
15.1 光谱与光谱分析概述 972 _]~`t+W'DJ  
15.1.1 光谱的形成和特点 972 0[(TrIpXl  
15.1.2 光谱仪器 975 ?7 Kl)p3  
15.1.3 光谱分析 977 Fk01j;k.H  
15.2 光电光谱仪器的色散系统 978 B}n tD  
15.2.1 棱镜系统 978 WCc7 MK  
15.2.2 平面衍射光栅 983 g"pjWj)?  
15.2.3 凹面衍射光栅 989 Gt >*y.]  
15.2.4 阶梯光栅 992 >K<n~;ON|  
15.3 光电光谱仪器的光学系统设计 993 UVND1XV^f  
15.3.1 常用的光谱仪器光学系统 993 x+niY;Z E  
15.3.2 光谱仪器光学系统的初级像差 994 WvV!F?uqZ  
15.3.3 光谱仪器光学系统的像差校正 997 8_yhV{  
15.3.4 反射式准直和成像系统的像差 998 H{ Fww4pn  
15.3.5 常用平面光栅装置类型 1001 ma__LWKM,  
15.3.6 凹面光栅光谱装置光学系统 1007 v#yeiE4  
15.4 典型光电光谱仪器光学系统设计 1008 tGq0f"}'J  
15.4.1 摄谱仪和光电直读光谱仪光学系统设计 1008 OAGI|`E$/-  
15.4.2 单色仪和分光光度计光学系统设计 1015 -?T:> *]p  
15.4.3 干涉光谱仪光学系统设计 1027 }@R*U0*E  
15.5 激光光谱仪光学系统设计 1030 9fLxp$`(T  
15.5.1 激光光谱仪 1030 Rn(6Fk?   
15.5.2 傅里叶变换光谱仪光学系统设计 1032 $^[^ ]Q  
15.5.3 光谱成像仪光学系统设计 1039 m-%.LDqM  
参考文献 1042 1|U8DK  
第16章 光波的偏振态及其应用 1043 F#<$yUf%  
16.1 光波的偏振态 1043 PH6!T/2[  
16.1.1 椭圆偏振电磁场 1044 rd#O ]   
16.1.2 线偏振和圆偏振电磁场 1045 hq.XO=0"k  
16.1.3 偏振光的描述 1046 gaBVD*>  
16.1.4 偏振光的分解 1051 gK8E|f-z  
16.1.5 琼斯矩阵与穆勒矩阵(Mueller matrix) 1052 xA?(n!{P  
16.2 偏振光学元件 1056 /EW1&  
16.2.1 偏振片 1056 -SF *DZ  
16.2.2 偏振棱镜 1062 @Kl'0>U  
16.2.3 退偏器 1067 st91r V$y?  
16.3 偏振棱镜设计与应用示例 1070 rV *`0hA1  
16.3.1 偏振耦合测试系统中偏振棱镜的设计 1070 > St]MS  
16.3.2 高透射比偏光棱镜 1073 #`kLU:  
16.3.3 高功率YVO4晶体偏振棱镜 1075 MlbQLtw  
16.4 相位延迟器 1077 Zt3Y<3o  
16.4.1 相位延迟器概述 1077 c-?2>%;(V  
16.4.2 双折射型消色差相位延迟器 1078 qKL :#ny  
16.4.3 全反射型消色差相位延迟器原理 1080 1$A7BP  
16.5 偏振光学用于水下成像 1085 |3ob1/)p0  
16.5.1 斯托克斯(Stokes)矢量法 1085 NG)Xk[q4  
16.5.2 水下偏振图像采集光学系统的设计 1088 OhNEt>  
16.5.3 斯托克斯图像的测量方案 1091 hXF#KVqx  
16.6 椭圆偏振薄膜测厚技术 1095 qj$6/V|D  
16.6.1 薄膜测量方法概述 1095 GxFmw:  
16.6.2 椭偏测量技术的特点和原理 1096 A9:dHOmT^U  
16.6.3 椭偏测量系统类型 1097 )p?p39>h  
16.6.4 干涉式椭偏测量技术 1100 dq.'[  
16.6.5 外差干涉椭圆偏振测量原理及光学系统 1102 vC j, aSW  
16.6.6 外差椭偏测量仪 1106 N,oN3mFF  
16.7 基于斯托克斯矢量的偏振成像仪器 1109 -D?-ctFYj^  
16.7.1 斯托克斯矢量偏振成像仪器概述 1109 /8$*{ay  
16.7.2 多角度偏振辐射计 1114 uaiCyh1:  
16.8 共模抑制干涉及其应用 1118 j B.ZF7q  
16.8.1 共模抑制干涉技术概述 1118 D(z}c,  
16.8.2 偏振光在零差激光干涉仪中的应用 1122 =.<S3?  
16.8.3 利用偏振干涉原理测量表面粗糙度的方法 1126 VH>?%aL  
16.8.4 光功率计分辨率对测量结果的影响 1130 Ei$@)qS/  
16.8.5 在线测量表面粗糙度的共光路激光外差干涉仪 1132 S(&]?!  
参考文献 1134 @U)k~z2Hk  
C VyYV &U,  
*F_ dP  
FF}A_ZFY  
(实体书推荐,有兴趣的可以看看)
truelight 2021-08-24 08:58
好难啊看着
a1534617801 2021-12-07 15:51
这个有视频教程吗
xiao19860803 2022-07-10 19:46
下下来慢慢看
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