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2020-10-11 16:22 |
现代应用光学(张以谟)
近年来,应用光学领域中出现了许多新技术。本书基于作者多年光学领域的研究和积累,系统阐述了应用光学的现代理论和应用,并引入这些新技术。全书内容包括波面像差理论及几何像差理论、以非球面和自由光学曲面简化光学系统设计、太阳能电站和现代高效照明中的非成像光学等;反映了应用光学中的前沿技术,如光学系统焦深扩展与衍射极限的突破、微纳光子学和表面等离子体微纳光学设备中的光学系统、自适应光学等;叙述了现代物理光学仪器的光学系统原理,包括光电干涉光学系统、光电光谱仪及分光光度光学系统、偏振光电仪器光学系统及偏振光成像技术等。本书既讲解应用光学基础理论,又涵盖国内外应用光学领域*新的技术理论和实现方法,适合作为相关专业高校师生和广大科研人员的参考书。 n4)G g~PE 1oo'\ [attachment=103750] wpY%"x#-+= {Cs~5jYz
~/[cZY@ mT@UQCG 目 录 ezlp~z"_k 第1章 现代应用光学基础理论概述 1 t=S94^g 1.1 概述 1 ".v9#| 1.1.1 本书的背景 1 x{ ~-YzWho 1.1.2 本书的内容安排 1 qYIBP?`g 1.2 光学系统设计中常用的光学材料特征参数 2 ^/R@bp#< 1.2.1 光学材料的光学参量 2 ,{itnKJC 1.2.2 热系数及温度变化效应的消除 4 dT,X8 " 1.2.3 其他玻璃数据 4 JU<<,0 1.3 新型光学材料 5 ?C.C?h6F5B 1.3.1 新型光学材料概述 5 {exF"ap 1.3.2 光学材料发展概况 6 j3`:;'L 1.4 液晶材料及液晶显示器 12 A3&8@/6, 1.4.1 液晶材料及其分类 12 #x#.@ 1.4.2 常用液晶显示器件的基本结构和工作原理 16 /.05rTpp 1.4.3 STN-LCD技术 27 gbr|0h> 1.4.4 液晶光阀技术 32 x:;8U i"&B 1.4.5 硅上液晶(LCoS)反射式显示器 36 bm%2K@ /U 1.4.6 光计算用SLM 38 VjYfnvE 1.5 电光源和光电探测器 38 (5-"5<-@R 1.5.1 电光源 38 N3vk<sr@ 1.5.2 激光器 41 *v:+AE 1.5.3 光电导探测器 48 a>sUq[" 1.5.4 光伏探测器 49 |Y/iq9l
1.5.5 位敏探测器 53 lhQ*;dMj%" 1.5.6 阵列型光电探测器 56 LLgN%!& 1.6 波像差像质评价基础知识 59 fLc<}DF 1.6.1 光学系统像差的坐标及符号规则 59 D8`,PXtV 1.6.2 无像差成像概念和完善镜头聚焦衍射模式 60 Podm 3b 参考文献 63 R9S7p)B 第2章 光学非球面的应用 67 ]|Vm!Q 2.1 概述 67 sPkT>q 2.2 非球面曲面方程 67 Yl8tjq}iC 2.2.1 旋转对称的非球面方程 67 wi*Ke2YKP 2.2.2 圆锥曲线的意义 68 `U p<; 2.2.3 其他常见非球面方程 70 g IX"W; 2.2.4 非球面的法线和曲率 71 d^]wqn pf 2.3 非球面的初级像差 71 ^fnRzX 2.3.1 波像差及其与垂轴像差的关系 71 ?ZlwRjB\ 2.3.2 非球面的初级像差 73 X~GZI*P 2.3.3 折射锥面轴上物点波像差 75 yKZ~ ^ 2.3.4 折射锥面轴外物点波像差 76 F1Egcx/$V 2.4 微振(perturbed)光学系统的初级像差计算 77 j(nPWEyJM 2.4.1 偏心(decentered)光学面 78 x"AYt:ewuc 2.4.2 光学面的倾斜 80 Vl^jTX5N 2.4.3 间隔失调(despace)面 81 8Mws?]\/q 2.5 两镜系统的理论基础 82 !6<2JNf 2.5.1 两镜系统的基本结构形式 82 o>U%3-+T^J 2.5.2 单色像差的表示式 82 Yz-b~D/=} 2.5.3 消像差条件式 84 X:8=jHkz 2.5.4 常用的两镜系统 85 ( }JX ]- 2.6 二次圆锥曲面及其衍生高次项曲面 86 Kh<v2 2.6.1 消球差的等光程折射非球面 86 y*Ex5N~JC 2.6.2 经典卡塞格林系统 87 ?H*_:?=6 2.6.3 格里高里系统 88 a^Zn
}R r 2.6.4 只消球差的其他特种情况 88 Ku,Efr 2.6.5 R-C(Ritchey-Chrétien)系统及马克苏托夫系统 89 !3yR?Xem} 2.6.6 等晕系统的特殊情况 90 `mCcD 2.6.7 库特(Cuder)系统及同心系统 91 +/Y)s5@< 2.6.8 史瓦希尔德(Schwarzschield)系统 92 ?A62VV51CN 2.6.9 一个消四种初级像差 的系统 93 .^JID~<?# 2.6.10 无焦系统 93 *%Gy-5hM 2.7 两镜系统的具体设计过程 93 kf "cd1 2.7.1 R-C系统的设计 93 >@H:+0h- 2.7.2 格里高里系统与卡塞格林系统 94 ;HqK^[1\ 2.8 施密特光学系统设计 95 *WX6C("M 2.8.1 施密特光学系统的初级像差 95 i>)Whr'e8 2.8.2 施密特校正器的精确计算法 98 A
FfgGO 2.9 三反射镜系统设计示例 99 ,8$;|#d 2.9.1 设计原则 99 u{6*}6@fi 2.9.2 设计过程分析 100 9SAyU%mS: 2.9.3 设计示例 101 3%<ia$ 参考文献 103 x(mY$l,il 第3章 衍射光学元件 105 XHpoaHyx 3.1 概述 105 -pqShDar| 3.1.1 菲涅耳圆孔衍射――菲涅耳波带法 106 >-)i_C2 3.1.2 菲涅耳圆孔衍射的特点 108 >b{%j8uM 3.1.3 菲涅耳圆屏衍射 109 #exE~@fy- 3.2 波带片 110 DeXnE$XH 3.2.1 菲涅耳波带片 110 mGL%<4R, 3.2.2 相位型菲涅耳波带片 112 00b
)B g 3.2.3 条形或方形波带片 113 .P ,\69g~A 3.3 衍射光学器件衍射效率 113 @*%.V. 3.3.1 锯齿形一维相位光栅的衍射效率 113
ZfvFs 3.3.2 台阶状(二元光学)相位光栅的衍射效率及其计算 114 "me Jn/ 3.4 通过衍射面的光线光路计算 115 ^=R>rUCmv 3.5 衍射光学系统初级像差 118 4s"8e]q= 3.5.1 衍射光学透镜的单色初级像差特性 118 H%faRUonz 3.5.2 折衍混合成像系统中衍射结构的高折射率模型及PWC描述 121 d(To)ly. 3.5.3 P∞、W∞、C与折衍混合单透镜结构的函数关系 122 Q`19YX 3.6 折衍光学透镜的色散性质及色差的校正 123 /5yWvra 3.6.1 折衍光学透镜的等效阿贝数ν 123 2^UFP+Yw 3.6.2 用DOL实现消色差 124 6x[gg !;85 3.6.3 折衍光学透镜的部分色散及二级光谱的校正 125 /1MO]u\ 3.7 衍射透镜的热变形特性 127 vRT1tOQ$ 3.7.1 光热膨胀系数 127 1L &_3} 3.7.2 消热变形光学系统的设计 129 Ns1u0$fg 3.7.3 折衍混合系统消热差系统设计示例 130 QKOo
#7 3.8 衍射面的相位分布函数 132 hsfVKlw- 3.8.1 用于平衡像差的衍射面的相位分布函数 132 `?Y/:4 3.8.2 用于平衡热像差的衍射面的相位分布函数 133 9 .%{M#j 3.9 多层衍射光学元件(multi-layer diffractive optical elements) 133 c>DAR 3.9.1 多层衍射光学元件的理论分析 134 AV&W&$ 3.9.2 多层衍射光学元件的结构 134 t[an,3 3.9.3 多层衍射光学元件材料的选择 134 WgxlQXi-B 3.9.4 多层衍射光学元件的衍射效率 135 bR;H@Fdg? 3.9.5 多层衍射光学元件在成像光学系统中的应用举例 136 26\1tOj Np 3.10 谐衍射透镜(HDL)及其成像特点 137 B~~rLo:a 3.10.1 谐衍射透镜 137 %
;6e@U} 3.10.2 谐衍射透镜的特点 137 =cRJtn 3.10.3 单片谐衍射透镜成像 138 =AR'Pad 3.10.4 谐衍射/折射太赫兹多波段成像系统设计示例 139 :5CwRg 3.11 衍射光学轴锥镜(简称衍射轴锥镜) 143 9B*SWWAj 3.11.1 衍射轴锥镜 143 q"]-CGAa 3.11.2 设计原理和方法 144 elP`5BuN 参考文献 150 OkFq>;{a 第4章 非对称光学系统像差理论 153 roRZE[ya 4.1 波像差与Zernike多项式概述 153 wF38c]r`\< 4.1.1 波前像差理论概述 153 q)!{oi{x( 4.1.2 角向、横向和纵向像差 154 ^QFjBQ-Hai 4.1.3 Seidel像差的波前像差表示 155 9"<)DS 4.1.4 泽尼克(Zernike)多项式 162 k`TEA?RfQ 4.1.5 条纹(fringe)Zernike系数 164 pK$^@~DE 4.1.6 波前像差的综合评价指标 165 0BVMLRB 4.1.7 色差 167 b/S4b 4.1.8 典型光学元件的像差特性 167 Rmd;ug9 4.2 非对称旋转成像光学系统中像差理论 174 S!g&&RDx 4.2.1 重要概念简介 174 5(DCq(\P* 4.2.2 倾斜非球面光学面处理 176 nGyY`wt&Rg 4.2.3 局部坐标系统(LCS)近轴光方法计算单个光学面像差场中心 176 Ui1K66{ 4.2.4 OAR的参数化 179 m0\(a_0V 4.2.5 倾斜和偏心的光学面的定位像差场对称中心矢量(像差场偏移量的推导) 181 5(U.< 4.2.6 基于实际光线计算单个面的像差场中心 182 !})+WSs'"s 4.2.7 失调光学系统的波像差表示式 183 ]HCt%5 4.2.8 举例:LCS近轴计算与其实际光线等价计算的比较 185 Gm.v-T$ 4.3 近圆光瞳非对称光学系统三级像差的描述 187 |t.WPp5, 4.3.1 光学系统的像差场为各个面的贡献之和 187 &|9?B!,` 4.3.2 带有近圆光瞳的非旋转对称光学系统中的三级像差 187 {OQ sGyR? 4.3.3 节点像差场 191 ];Z_S`JR 4.3.4 波前误差以及光线的横向像差 194 R\X=Vg 4.3.5 非对称光学系统中的三级畸变 195 ,
:kCt=4% 4.4 非旋转对称光学系统的多节点五级像差:球差 197 QR^pu.k@ 4.4.1 非旋转对称光学系统像差概述 197 du47la 3 4.4.2 非旋转对称光学系统的五级像差 198 v_G4:tY 4.4.3 五级像差的特征节点行为:球差族包括的各项 199 j[Et+V? 参考文献 203 VSP[G ,J. 第5章 光学自由曲面的应用 205 qLPI^g, 5.1 光学自由曲面概述 205 Vxk0oIk` 5.2 参数曲线和曲面 206 H[6d@m- Z 5.2.1 曲线和曲面的参数表示 206 + ^~n09 5.2.2 参数曲线的代数和几何形式 210 lz # inC| 5.3 Bézier曲线与曲面 212 [vIO 5.3.1 Bézier曲线的数学描述和性质 212 -98bX]8 5.3.2 Bézier曲面 215 B"{CWH O 5.4 B样条(B-spline)曲线与曲面 217 2f~s$I&l# 5.4.1 B样条曲线的数学描述和性质 217 (r7~ccy4 5.4.2 B样条曲线的性质 219 8(S'g+p 5.4.3 B样条曲面的表示 220 T`vj6F 5.5 双三次均匀B样条曲面 221 \W$>EH 5.5.1 B 样条曲面 221 n){\KIU/O 5.5.2 双三次均匀B样条曲面的矩阵公式 223 ~%GUc
~ 5.6 非均匀有理B样条(NURBS)曲线与曲面 224 ?DpMR/ 5.6.1 NURBS曲线与曲面 224 L-=^GNh 5.6.2 NURBS曲线的定义 224 cvc.-7IO 5.6.3 NURBS表示 226 c{&sf
y 5.6.4 非均匀有理B样条曲面 228 iF`E>%# 5.7 Coons曲面 229 LWIU7dw 5.7.1 基本概念 229 EcP"GO5 5.7.2 双线性Coons曲面 230 tb_}w@:kU 5.7.3 双三次Coons曲面 231 0ED(e1K#B 5.8 自由曲面棱镜光学系统 232 C0kwI*) 5.8.1 自由曲面棱镜概述 232 Be}Cj(C 5.8.2 矢量像差理论及初始结构确定方法 233 O0~[]3Y[= 5.8.3 自由曲面棱镜设计 236 i@d!g"tot 5.8.4 用光学设计软件设计含自由曲面的光学系统 238 KXR 参考文献 239 ;,9|;)U?u 第6章 共形光学系统 241 BeplS 6.1 概述 241 `cVG_=2 6.1.1 共形光学系统的一般要求 241 v|n.AGn 6.1.2 共形光学系统的主要参量 244 GL
(YC-{ 6.1.3 共形光学系统中的像差校正 250 i;Gl-b\_h 6.1.4 共形光学系统实际应用须考虑的问题 252 D4
e)v% 6.2 椭球整流罩的几何特性及消像差条件在共形光学系统中的应用 253 BDcl1f T 6.2.1 椭球面几何特性分析 253 (+T|B E3*# 6.2.2 椭球整流罩的几何特性 256 bD49$N?> 6.2.3 利用矢量像差理论分析椭球整流罩结构的像差特性 258 Y}F+4 6.3 基于Wassermann-Wolf方程的共形光学系统设计 259 (\SxG\` 6.3.1 共形光学系统解决像差动态变化的方法概述 259 f$/Daq <M 6.3.2 共形光学系统的像差分析 260 ,wnF]K2D0 6.3.3 Wassermann-Wolf非球面理论 261 Ee4oTU5Mb 6.3.4 利用Wassermann-Wolf原理设计共形光学系统 265 _D
z4}:9 6.4 折/反射椭球形整流罩光学系统的设计 268 QvqX3FU 6.4.1 折/反射椭球形整流罩光学系统的设计原则 269 03{e[#6 6.4.2 椭球形整流罩像差分析 269 !o>/gI` 6.4.3 两镜校正系统初始结构设计原理 269 tohYwXN 6.4.4 用平面对称矢量像差理论分析光学系统像差特性 274 Hh;7 hY\ 6.4.5 设计结果 275 'p{>zQ\5 6.5 共形光学系统的动态像差校正技术 276 ~Edm VEu 6.5.1 共形光学系统的固定校正器 276
N)&3(A@ 6.5.2 弧形校正器 278 }X}fX#[ 6.5.3 基于轴向移动柱面―泽尼克校正元件的动态像差校正技术 280 a}%>i~v< 6.6 二元光学元件在椭球整流罩导引头光学系统中的应用 283 uv._N6mj 6.6.1 二元光学元件的光学特性 284 @'~v~3
$S 6.6.2 二元衍射光学元件在椭球形整流罩导引头光学系统中的应用 286 c 8E& 6.6.3 利用衍/射光学元件进行共形整流罩像差校正的研究 288 (}c}=V 6.6.4 折/衍混合消热差共形光学系统的设计 291 &~uzu{ 6.7 利用自由曲面进行微变焦共形光学系统设计 295 z`{Ld9W 6.7.1 自由曲面进行微变焦共形光学系统的特点 295 ~
dmyS?Or 6.7.2 利用自由曲面的像差校正方法 295 ~hz]x^: 6.8 基于实际光线追迹的共形光学系统设计概述 298 Tpkm\_ 6.8.1 实际光线追迹设计方法可在共形光学系统整个观察视场内得到较好像质 298 Qv[@ioc 6.8.2 实际光线追迹方法概述 299 [
tmJ6^s 参考文献 302 zq(AN< 第7章 非成像光学系统 308 YHg4WW$ 7.1 引言 308 72luTR Q 7.1.1 太阳能热发电技术简介 308 hb[K.`g 7.1.2 太阳能光伏发电 311 XCQ=`3f 7.1.3 照明非成像光学 312 P62g7>B5^ 7.2 非成像光学概述 314 >CNH= 7.2.1 非成像会聚器特性 314 6fQQKM@a| 7.2.2 光学扩展不变量 314 )*$'e<?` 7.2.3 会聚度的定义 315 JAc-5e4 7.3 会聚器理论中的一些几何光学概念 316 ~eE2!/%9 7.3.1 光学扩展量的几何光学概念 316 ; v>2z!M 7.3.2 在成像光学系统中像差对会聚度的影响 317 6|["!AUI 7.3.3 光学扩展量(拉氏不变量)和相空间的广义概念 318 ;/
WtO2 7.3.4 斜不变量 320 [
98)7 7.4 非成像光学的边缘光线原理 322 :/d#U:I 7.4.1 边缘光线原理 322 6YYZ S2 7.4.2 边缘光线原理应用――“拉线”方法 322
g$9Yfu 7.5 复合抛物面会聚器(CPC) 324 @
L?7`VoE 7.5.1 光锥会聚器 324 ~#7=gI&p@ 7.5.2 复合抛物面会聚器(CPC)概述 324 ,Cde5A{K 7.5.3 复合抛物面会聚器的性质 326 W
4~a`D7 7.5.4 增加复合抛物面会聚器的最大会聚角 328 B0nkHm.Sj 7.6 同步多曲面设计方法 331 AfFFu\ 7.6.1 SMS方法设计会聚器概述 331 D+#QQH 7.6.2 一个非成像透镜的设计:RR会聚器 332 FL"7u2rh, 7.6.3 XR会聚器 335 {N/(lB8 7.6.4 RX会聚器 337 U
$e-e/ 7.7 XX类会聚器 340 jt=mK,% 7.7.1 XX类会聚器的原理 340 `A3"*,|z 7.7.2 RX1会聚器 341 -h8A< 7.7.3 RX1会聚器的三维分析 341 XwE(&ZCf'b 7.8 非成像光学用于LED照明 343 Pr<.ld\ 7.8.1 边缘光线扩展度守恒原理和控制网格算法 344 45q-x_ 7.8.2 LED的非成像光学系统设计实例 346 @aWvN;v 7.8.3 大范围照明光源设计(二维给定光分布设计) 347 7_ZfV? . 7.9 非成像光学用于LED均匀照明的自由曲面透镜 348 \:%e 6M 7.9.1 均匀照明的自由曲面透镜概述 348 ,o*x\jrGw 7.9.2 LED浸没式自由曲面透镜设计方法 349 ~bg?V0 7.9.3 设计示例 351 DXsp 2 参考文献 353 j[
kg9z 第8章 光电光学系统中紧凑型照相光学系统设计 356 UuzT*Y> 8.1 概述 356 MG<F.u 8.1.1 数码相机的组成 356 `o)rAD^e 8.1.2 数码相机中图像传感器CCD和CMOS的比较 357 '%l<33* 8.1.3 数码相机的分类 359 DO8@/W(
` 8.1.4 数码相机的光学性能 364 $0+AR) 8.1.5 数码相机镜头的分类和特点 365 (O"Wa 8.2 数码相机镜头设计示例 367 )zf&`T 8.2.1 球面定焦距镜头设计示例 367 &r;-=ASYzV 8.2.2 非球面定焦距镜头设计示例 370 )Gh"(]-< 8.3 变焦距镜头设计示例 372 LlrUJ-uC7 8.3.1 变焦透镜组原理 373 :Fm;0R@/k 8.3.2 非球面变倍镜头初始数据 373 M._9/
*C U 8.3.3 折叠式(潜望式)变焦镜头示例 376 _2R;@[f2 8.4 手机照相光学系统 378 4&Y{kNF 8.4.1 手机照相光学系统概述 378 xi
%u)p 8.4.2 两片型非球面手机物镜设计示例 379 iLIH |P% 8.4.3 三片型手机物镜设计 382 5k)/SAU0 8.5 手机镜头新技术概述 385 d
*!) wt 8.5.1 自由曲面在手机镜头中的应用 385 Mxc0=I'a 8.5.2 液体镜头 385 &O/;YGEAB 8.6 鱼眼镜头概述 388 Cd?aC 8.6.1 鱼眼镜头是“仿生学的示例” 388 G0Eqo$W)S 8.6.2 鱼眼镜头基本结构的像差校正 390 ?h2!Z{[0b 8.6.3 鱼眼镜头基本光学结构的演变 391 7y""#-}V[r 8.6.4 鱼眼镜头的发展 391 V\5ZRLawP 8.6.5 鱼眼镜头的光学性能 393 jgQn^ 8.6.6 光阑球差与入瞳位置的确定 396 ;G|5kvE> 8.6.7 光阑彗差与像差渐晕 398 \7n ;c 8.6.8 鱼眼镜头示例与投影方式比较 399 ('hr;s= 参考文献 402 IlJ!jq 第9章 光学系统焦深的扩展与衍射极限的突破 405 {ZP0%MD 9.1 概述 405 _lcx?IV 9.1.1 扩展焦深概述 405 8eCC
=Az: 9.1.2 超衍射极限近场显微术概述 409 ]|KOc& y:I 9.1.3 远场超分辨成像 418 w~{NNK;"j 9.2 光学成像系统景深的延拓 420 F%Oy4*4 9.2.1 景深延拓概述 420 i|?EgGFG 9.2.2 延拓景深的方形孔径相位模板 425 _r@
FWUZ 9.2.3 增大景深的圆对称相位模板 438 He @d~9M 9.3 多环分区圆对称相位模板设计 442 `@!4#3H 9.3.1 多环分区圆对称相位模板的概念 442 `!V=~"ve 9.3.2 多环分区圆对称相位模板对应系统的特性 448 2uujA*
^ 9.3.3 圆对称相位模板成像系统的优缺点 450 #e|G!'wdj 9.3.4 初级像差的影响以及延拓景深图像的复原 451 Gi]R8?M 9.3.5 延拓景深相位模板系统的图像复原与其光学成像系统的光学设计 456 o/??w:' 9.3.6 延拓景深光学成像系统的光学设计 460 Ac{"$P` 9.4 轴锥镜(axicon)扩展焦深 468 4HG;v|Cp 9.4.1 轴锥镜 468 R~TzZ(Ah] 9.4.2 小焦斑长焦深激光焦点的衍射轴锥镜的设计 476 `=TV4h4 9.5 近场光学与近场光学显微镜 478 .K%1{`.| 9.5.1 近场光学概念 478 *i3\`;^= 9.5.2 近场扫描光学显微镜(NSOM) 482 L+VqTt 9.6 扫描探针显微镜 488 zmaf@T 9.6.1 与隧道效应有关的显微镜 489 WD.td 9.6.2 原子力显微镜(AFM) 491 "V|&s/9 9.6.3 扫描力显微镜(SFM) 495 onqfmQ,3E 9.6.4 检测材料不同组分的SFM技术 498 h]WPWa)M 9.6.5 光子扫描隧道显微镜(PSTM) 499 }h{8i_R 9.7 原子力显微镜 504 >8%<ML 9.7.1 原子力显微镜的基本组成 504 TC[(mf:8 9.7.2 近场力 505 LGuK@^ 9.7.3 微悬臂力学 507 $o}Ao@WkO 9.7.4 AFM探测器信号 508 UaA1HZ1 9.7.5 原子力显微镜的测量模式 509 p6P .I8g 9.7.6 原子力显微镜检测成像技术 512 B'[FnJ8~ 9.7.7 AFM的优点和正在改进之处 513 V&e9?5@ 9.7.8 电力显微镜(EFM) 513 Q1hHK'3w 9.8 远场超高分辨率显微术 516 qrdA4S 9.8.1 远场超高分辨率显微术概述 516 vNo(`~]c 9.8.2 4Pi显微镜 517 GS_+KR\ 9.8.3 3D随机光学重建显微镜(STORM) 519 [{@0/5i 9.8.4 平面光显微镜(SPIM)基本原理 520 jgpSFb<9F 9.8.5 福斯特共振能量转移显微镜(FRETM) 521 <cig^B{nX 9.8.6 全内反射荧光显微镜(TIRFM) 522 -]hk2Q0 9.9 衍射光学组件用于扫描双光子显微镜的景深扩展 524 Hst]}g' . 9.9.1 远场超分辨显微镜扩展焦深概述 524 f%ThS42 9.9.2 扩展焦深显微光学系统设计 525 Y8l
8B> 9.9.3 扫描双光子显微成像系统的扩展景深实验 528 4gKu8G 参考文献 532 qK=uSLo\+ 第10章 自适应光学技术应用概述 542 ou V%*<Ki 10.1 引言 542 kxvzAKz~ 10.1.1 自适应光学技术的发展 542 +q<G%PwbV 10.1.2 自适应光学系统 544 %mF:nU4 10.1.3 自适应光学应用技术 545 k{Ad(S4J& 10.1.4 自适应光学在相控阵系统中的应用 547 SHcFnxEAIH 10.1.5 高能激光相控阵系统简介 549 X>-|px$vy 10.2 自适应光学系统原理 553 Sao4MkSz[] 10.2.1 自适应光学概念 553 <A~a|A-QFR 10.2.2 共光路/共模块自适应光学原理及衍生光路 557 ~(v7:? 10.3 自适应光学系统的基本组成原理和应用 569 .R";2f3 10.3.1 波前传感器 569 gPT<%F 10.3.2 波前校正器 578 _EEOBaZ 10.3.3 波前控制器及控制算法 584 3fBV
SFVS 10.3.4 激光导星原理及系统 589 -w'_Q"o2 10.4 天文望远镜及其自适应光学系统 601 pHNo1-k\ 10.4.1 2.16 m望远镜及其自适应光学系统 601 mZG)#gW[ 10.4.2 37单元自适应光学系统 608 ]wxjd
l 10.4.3 1.2 m望远镜61单元自适应光学系统 612 arWP]%E0W 10.5 锁相光纤准直器的自适应阵列实验系统 620 WWBm*?U 10.5.1 概述 620 GBg~NkC7. 10.5.2 光纤准直器的自适应阵列中的反馈控制 626 Vf*Z }' 10.6 阵列光束优化式自适应光学的原理与算法 631 u2 a#qU5* 10.6.1 光学相控阵技术基本概念 631 `>1XL 2 10.6.2 优化算法自适应光学 633 Bz+zEXBC 10.6.3 阵列光束优化式自适应光学的原理与发展 634 'zo]
f 10.6.4 阵列光束优化式自适应光学算法 635 _-+xzdGvX 10.7 自适应光学技术在自由空间光通信中的应用 642 nY)H-u^ 10.7.1 自由空间光通信概述 642 NNgpDL* 10.7.2 自由空间光通信系统概述 643 ?zP/i(1y 10.7.3 一些自由空间光通信的示例 649 .D8|_B 10.7.4 自适应光学结合脉冲位置调制(PPM)改善光通信性能 653 OL%KAEnD 10.7.5 无波前传感自适应光学(AO)系统 656 P$7i>(?( 10.8 自由空间激光通信终端系统原理 659 ybY[2g2QJ 10.8.1 终端系统结构和工作原理 659 y&&%%3 10.8.2 激光收发子系统 660 Y?'Krw ` 10.8.3 捕获跟踪瞄准(ATP)子系统 662 _uf,7R- 10.8.4 光学平台子系统 662 a
+$'ULK+r 10.8.5 卫星终端系统概述 666 '$q=r x 10.8.6 基于自适应光学技术的星载终端光学系统方案示例 673 UE\Z]t! 10.9 自适应光学技术的其他典型应用举例 675 w\}@+w3b~ 10.9.1 自适应光学技术在惯性约束聚变技术中的应用概述 675 m%s&$ 10.9.2 自适应光学用于月球激光测距 679 v?
Ufx 10.9.3 自适应光学系统在战术激光武器中的应用简介 682 &02I-lD4+ 10.9.4 自适应光学在医学眼科成像中的应用 689 qP k`e}D 参考文献 696 ^0tO2$ 第11章 微纳投影光刻技术导论 711 6"djX47j 11.1 引言 711 V<A$eb>6 11.2 光刻离轴照明技术 717 rgw@ 11.3 投影光刻掩模误差补偿 721 1Qk]?R/DN 11.4 投影光刻相移掩模 728 '>:c:Tewy 11.5 电子投影光刻(EPL) 735 b2r]>*Vc 11.6 离子束曝光技术 750 UKpc3Jo:~ 11.7 纳米压印光刻(NIL)技术 754 Jk=_8Xvr` 参考文献 761 h1
npaD! 第12章 投影光刻物镜 769 4 \Ig<C9 12.1 概述 769 t6C2DHh7$ 12.1.1 光刻技术简介 769 uvMcB9 12.1.2 提高光刻机性能的关键技术 769 kMx^L;:n 12.1.3 ArF光刻机研发进展 771
o|V`/sW{ 12.1.4 下一代光刻技术的研究进展 772 :9~LYJ
? 12.2 投影光刻物镜的光学参量 772 DJJd_ 12.2.1 投影光刻物镜的光学特征 772 1@:BUE;jZ 12.2.2 工作波长与光学材料 774 ss0`9:z 12.3 投影光刻物镜结构形式 784 V'^E'[Dd{ 12.3.1 折射式投影物镜结构形式 784 Liv.i;-qE 12.3.2 折射式光刻投影物镜 785 E=#
O|[= 12.3.3 深紫外(DUV)投影光刻物镜设计要求 786 w!|jL
$5L 12.3.4 深紫外(DUV)非球面的投影光刻物镜 786 ia#8 ^z 12.3.5 光阑移动对投影光刻物镜尺寸的影响 787 BqtUL_jm 12.4 光刻物镜的像质评价 788 >[0t@Tu,D 12.4.1 波像差与分辨率 788 vdaG?+_o 12.4.2 基于Zernike多项式的波像差分解 791 OB4nE}NO 12.4.3 条纹Zernike多项式的不足与扩展 794 %'w?fqk 12.5 运动学安装机理与物镜像质精修 795 H8!)zZ 12.5.1 运动学安装机理 795 [pxC3{|d$ 12.5.2 物镜像质精修 796 wx*03(|j; 12.5.3 投影光刻物镜的像质补偿 796 Zg&o][T 12.6 进一步扩展NA 801 SVn $!t 12.6.1 用Rayleigh公式中的因子扩展NA 801 hX)PdRk# 12.6.2 非球面的引入 802 b*)F7{/Z 12.6.3 反射光学元件的引入 802 :|a$[g5
12.6.4 两次曝光或两次图形曝光技术 803 2DNB?,uP,' 12.7 浸没式光刻技术 803 M(U<H;Csk 12.7.1 浸没式光刻的原理 803 LsxRK5 12.7.2 浸没液体 804 !~Ptnr`; 12.7.3 浸没式大数值孔径投影光刻物镜 805 z'&tmje[? 12.7.4 偏振光照明 806 0dW*].Gi: 12.7.5 投影光刻物镜的将来趋势 808 8J)Kn4jq 12.8 极紫外(EUV)光刻系统 810 {|B
2$1': 12.8.1 极紫外(EUV)光源 810 pEp$J;
12.8.2 EUVL(extreme ultraviolet lithography)投影光刻系统的主要技术要求 813 "F:V$,mJ 12.8.3 两镜EUV投影光刻物镜 815 d6e$'w@(\T 12.8.4 ETS 4镜原型机 819 (B0QBDj! 12.9 EUVL6镜投影光学系统设计 820 -&E | |