不同轮廓亚波长光栅的成像

1. 摘要

亚光波长光栅在用傍轴光照射时仅产生一个衍射级，因此在这种情况下不会形成图像。为了克服此问题，可以使用非傍轴照明。在本例中，高NA聚光透镜被用来为不同轮廓的光栅提供高聚焦照明，衍射场被另一个高NA物镜收集。 VirtualLab可以模拟这种成像过程，包括用傅立叶模态法精确模拟亚波长光栅。