| infotek |
2020-09-29 10:03 |
用于微结构晶片检测的光学系统
摘要 |4wVWJ7 TX8,+s+ 在半导体产业中,晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度,检测系统常使用一个高NA的物镜,工作在紫外波长范围。作为一个例子,模拟了一个完整的晶片检测系统,包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用,并演示了图像的形成。 eK3J9;X ywCE2N<-V? 1LcQ*d 建模任务 2<Ub[R uKtrG,/ p .F}ZP0THnZ 结果 ~@L$}Eu j1<@*W&b ,?i#NN5p 结果 ^=Up UB zneK)C8&q3
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