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2020-09-29 10:03 |
用于微结构晶片检测的光学系统
摘要 n/e ,jw 8"p rWAN 在半导体产业中,晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度,检测系统常使用一个高NA的物镜,工作在紫外波长范围。作为一个例子,模拟了一个完整的晶片检测系统,包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用,并演示了图像的形成。 ?}= $zN N#@v`S "'/+}xM"5 建模任务 mHa~c(x _xBhMu2f F{_,IQ]U 结果 (*,R21<% ='@k>Ka+ s#8T46? 结果 cob??|,\m kq([c r
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