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infotek 2020-09-23 11:19

光学断层扫描干涉法

摘要 3.?be.cq  
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扫描干涉法是实现表面高度测量的技术。通过利用白色光源的低相干性，只有当光程差在相干长度内，干涉图案才会出现。因此，它使精确微观测量成为可能。使用一个氙灯搭建了一个迈克耳孙干涉仪，用于测量具有平滑变化前表面的样品。 _3@5@1[s  
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