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光学断层扫描干涉法
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infotek
2020-09-23 11:19
光学断层扫描干涉法
摘要
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b*n o.eB
扫描干涉法是实现表面高度测量的技术。通过利用白色光源的低相干性,只有当光程差在相干长度内,干涉图案才会出现。因此,它使精确微观测量成为可能。使用一个氙灯搭建了一个迈克耳孙干涉仪,用于测量具有平滑变化前表面的样品。
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