F-Theta 扫描透镜的性能评价

摘要

F-Theta镜头通常设计用于在激光扫描系统中以提高系统性能。利用这种透镜，目标平面上的聚焦光斑位移量与系统的焦距和扫描角度成比例。使其成为基于galvo-scanner激光材料处理系统的标准镜头。利用VirtualLab中的扫描光源，我们通过测量实际光斑位置和期望值之间的偏差以及不同角度的光斑尺寸来分析F-Theta镜头的性能。