首页
->
登录
->
注册
->
回复主题
->
发表主题
光行天下
->
FRED,VirtualLab
->
高NA物镜聚焦的分析
[点此返回论坛查看本帖完整版本]
[打印本页]
infotek
2020-08-27 09:30
高NA物镜聚焦的分析
摘要
etGquW.
qxd{c8
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。
u%ih7v!r\
P`U5kNN
/Tv< l
@LwhQ
建模任务
`EWeJ(4Z@
B[b'OtH
( B50~it
概观
@,zBZNX y
{n.g7S~
7B7I'{d
光线追迹仿真
rr9HC]63
Q5 ohaxjF
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。
!gJAK<]iW
<<n8 P5pXt
•点击Go!
>@]E1Qfe
•获得3D光线追迹结果。
{L<t6A
=X% D;2
`{tykYwCLc
q+)KY
光线追迹仿真
?\^u},HnE|
5]'iSrp
:Z1_;`>CT
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。
'7_'s1
•单击Go!
`bt]v $
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
Or6'5e?N
I`5MAvP
q{KRM\ooYs
_#N~$
场追迹仿真
V|b?H6Q
hA/FK
~(hmiNa;
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。
_KD(V2W
•单击Go!
S93NsrBbY
)[qY|yu
t'[vN~I'
guFR5>-L
场追迹结果(摄像机探测器)
=E |[8 U)
u&pLF%'EQ
a?+) K
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。
#yU4X\oO
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。
"gK2!N|#
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。
hi.{
P#EqeO
b[BSUdCB
g:f0K2)\r:
场追迹结果(电磁场探测器)
$dwv1@M2
fnB-?8K<
EE%OD~u&9#
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
)FU4i N)ei
*NXwllrci
&s] s]V)
文件信息
5i1 >z{
)03.6Pvs
ODEy2).
!)LR41>?
8mCr6$|%
QQ:2987619807
Tri.>@-u
查看本帖完整版本: [--
高NA物镜聚焦的分析
--] [--
top
--]
Copyright © 2005-2025
光行天下
蜀ICP备06003254号-1
网站统计