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infotek 2020-08-27 09:30

高NA物镜聚焦的分析

摘要 t3M0La&  
{8W |W2o$!  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 ] : Wb1  
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建模任务 L;kyAX@^  
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概观 00R%  
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光线追迹仿真 Dj/Q1KY$m  
lTd+{TF.  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 &8.z$}m  
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•点击Go! !fif8kf  
•获得3D光线追迹结果。 ..]B9M.  
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光线追迹仿真 9n-RXVL+  
Q9SPb6O2  
`<bCq\+`  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 $K;_Wf  
•单击Go! N7%=K9  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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场追迹仿真 ^$3w&$K*  
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•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 tauP1&%oH{  
•单击Go!
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场追迹结果(摄像机探测器) ?d,acm  
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 \["1N-q b  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 Fvcq^uZ  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 r5<e}t-  
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E9 :|8#b  
场追迹结果(电磁场探测器) 4?* `:  
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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文件信息 ~%::r_hQ  
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QQ:2987619807 M ?: f^  
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