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infotek 2020-08-27 09:30

高NA物镜聚焦的分析

摘要 >Pne@w!*  
bh9rsRb}O  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 XDs )  
l^aG"")TH.  
v$c*3H.seM  
y57]q#k  
建模任务 [5K& J-W  
e=K2]Y Q{  
4np,"^c  
概观 e+jp03m\W  
"Y0:Y?Vz"  
kx,9n)  
光线追迹仿真 ;d$PQi  
9l) .L L  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 <YX)am'\y  
;AyE(|U+  
•点击Go! 4a3Xz,[(a  
•获得3D光线追迹结果。 BzBij^h  
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Q- ( [3%  
F7$x5h@  
光线追迹仿真 jO xH' 1I  
_=W ^#z  
M`IiK+IoU  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 KWtLrZ(j  
•单击Go! [U+6Tj,  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
n+Ofbiz@  
l{oAqTN  
F02S(WWo;  
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场追迹仿真 *?jU$&Qpj*  
P Z5BtDm  
XVwaX2=L  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 wn*<.s  
•单击Go!
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场追迹结果(摄像机探测器) 7oY}=281  
*p!K9$4  
xb#M{EE-.  
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 9^l[d<  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 ^]mwL)I}  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 H':dLR  
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RqTW$94RD  
Abr:UEG  
场追迹结果(电磁场探测器) ;)Rvk&J5  
QuFcc}{<]  
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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文件信息 gb 6 gIFq;  
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[s?H3yQ.  
'Y23U7 n0B  
f:5(M@iO.  
QQ:2987619807 (WT0 j  
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