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infotek 2020-08-27 09:30

高NA物镜聚焦的分析

摘要 scZ&}Ni  
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高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 HjZf3VwI  
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建模任务 nKe|xP  
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概观 /~P4<1  
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光线追迹仿真 L6J.^tpO  
U|v@v@IBA  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 D'Uv7Mis  
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•点击Go! `2n%Lo?_  
•获得3D光线追迹结果。 :+%Yul  
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光线追迹仿真 $|7;(2k  
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Pl&x6\zL  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 o(g}eP,g }  
•单击Go! CW?R7A/  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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场追迹仿真 bH.f4-.u>)  
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•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 dI~{0)s  
•单击Go!
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场追迹结果(摄像机探测器) !uAqY\Is  
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 ~!"z`&  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 I04c7cDp  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 6<{SbE|G{  
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场追迹结果(电磁场探测器) D()tP  
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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文件信息 7? qRz  
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QQ:2987619807 ?J28@rM  
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