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infotek 2020-08-27 09:30

高NA物镜聚焦的分析

摘要 Vs)Pg\B?  
O$ 7R<V  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 Wi Mi0?$.  
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建模任务 Ap{p_~~iJ  
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概观 E {$Jk]c  
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光线追迹仿真 .|Pq!uLvc  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 I dsPB)k_  
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•点击Go! P".CZyI-i  
•获得3D光线追迹结果。 ab5 a>w6}  
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光线追迹仿真 N,9W18 @  
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S: IhJQ4K  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 ~ [ k0ay  
•单击Go! 0drt,k  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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场追迹仿真 :C*7 DS  
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•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 04`2MNfxG  
•单击Go!
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场追迹结果(摄像机探测器) 5G!0Yy['  
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 $#VEC0  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 >yr:L{{D}G  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 v?Z30?_&h  
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场追迹结果(电磁场探测器) P%VEJ5,]b  
b.mcP@  
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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文件信息 rC`pTN  
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QQ:2987619807 +,7nsWV  
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