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infotek 2020-08-27 09:30

高NA物镜聚焦的分析

摘要 2tWUBt\,g  
u'32nf?  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 -\NB*|9m|  
x,7a xx6  
PA5g]Tz  
n]j(tP  
建模任务 Ok:@F/ v  
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zG @!(  
概观 (|6q N  
(nE$};c<b2  
uO^{+=;A =  
光线追迹仿真 x_@ev-  
zP9 HYS  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 OOk53~2id  
eQ9x l  
•点击Go! W6_3f-4g  
•获得3D光线追迹结果。 Hb]7>[L  
/FYa{.Vlr  
{M%"z,GL7J  
J,~)9Kh$  
光线追迹仿真 r{<u\>6X>P  
h h8UKEM-  
p}Gk|Kjlq,  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 -d[x 09  
•单击Go! ol YSr .Q`  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
+s S*EvF  
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=x^I 5Pn  
场追迹仿真 lo(Ht=d  
=Q|}7g8o  
dT|z)-Z`  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 +2?0]6EQ  
•单击Go!
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场追迹结果(摄像机探测器) =~arj  
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 ,v6Jr3  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 b%_QL3 m6  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 H?~u%b@   
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B!N807  
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场追迹结果(电磁场探测器) (dT!u8Oe  
^Qr P.l#pZ  
c]"B)I1L  
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
Zk/NO^1b  
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M84LbgGM%  
文件信息 ^twv0>vEo  
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:E^B~ OuL  
QQ:2987619807 y$&a(S]  
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