首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题
光行天下 -> FRED,VirtualLab -> 高NA物镜聚焦的分析 [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

infotek 2020-08-27 09:30

高NA物镜聚焦的分析

摘要 [y@*vQw  
IANSpWea?  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 jj[6oNKE1  
#_35bg4h{  
Pt"H_SW~k  
6`CRT TJ7  
建模任务 .^{%hc*w4  
:Mu*E5  
p5#x7*xR6  
概观 DSz[,AaR]  
@ye!? %  
GVXdyi  
光线追迹仿真 kh0cJE\_^  
EB*sd S  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 z/{X{+Z  
D|9+:Y  
•点击Go! v~Q'm1!O4\  
•获得3D光线追迹结果。 uAPVR  
7l69SQo]?  
vt#;j;liG  
E7A!,A&>  
光线追迹仿真 !CYC7HeF  
k|)fl l  
]X>yZec  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 Eu?z!  
•单击Go! R p&J!hlA  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
xN-,gT'!  
ZkbE&7Z  
yc](  
qG6s.TcG  
场追迹仿真 h+g\tYWGP  
=hKAwk/^  
6$r\p2pi0  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 @yuiNj .T  
•单击Go!
y>a?<*Y+e  
_B^zm-}8|B  
n"EKVw7Y  
T^}UE<  
场追迹结果(摄像机探测器) T0w_d_aS  
D`LBv,n  
y+(\:;y$7  
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 n[ B~C  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 sT\:**  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 [r/zBF-.  
T`EV uRJ  
GI%&.Vd  
vQEV,d1  
场追迹结果(电磁场探测器) H -kX-7C  
5WQl?yMP  
L80(9Y^xn  
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
?"d$SK"6Z  
t7+A !7b{  
C%XO|sP  
文件信息 g":[rXvId  
g@`i7qN  
1-_r\sb  
y }odTeq  
u7!9H<{>P  
QQ:2987619807 REUxXaN>Z  
查看本帖完整版本: [-- 高NA物镜聚焦的分析 --] [-- top --]

Copyright © 2005-2025 光行天下 蜀ICP备06003254号-1 网站统计