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infotek 2020-08-27 09:30

高NA物镜聚焦的分析

摘要 !2Ompcr1  
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高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 =c \(]xX  
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建模任务 (z8ZCyq7r[  
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概观 rD21:1s  
d#+Ne f5  
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光线追迹仿真 7:F0?l*  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 cvy 5|;-u  
Y[)mHs2  
•点击Go! PeIi@0vA  
•获得3D光线追迹结果。 ;bG?R0a  
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光线追迹仿真 !GvT{  
0`.&U^dG  
(M|DNDM'd  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 j~Fd8]@  
•单击Go! p#w8$Qjp  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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场追迹仿真 &Y@),S9  
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•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 E> pr})^w  
•单击Go!
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场追迹结果(摄像机探测器) -[vw 8  
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 837:;<T  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 cXt&k  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 QZ(O2!Mg  
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场追迹结果(电磁场探测器) |FT.x9e-  
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<,p$eQ)T%  
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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文件信息 s \3]0n9  
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QQ:2987619807 >Giw\|:f(  
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