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infotek 2020-08-27 09:30

高NA物镜聚焦的分析

摘要 2M>Y3Q2Yv  
.7-Yu1{2  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 g)+45w*+5  
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建模任务 iP1u u  
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概观 8$!/Zg  
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光线追迹仿真  }SHF  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 Z7&Bn  
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•点击Go! sa8Sy&X"  
•获得3D光线追迹结果。 8Ua ;< h%  
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K;2tY+I  
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光线追迹仿真 5-|fp(Ww_W  
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•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 |y@TI  
•单击Go! S2)rkX$  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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场追迹仿真 '\dau>  
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•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 =)C}u6  
•单击Go!
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场追迹结果(摄像机探测器) 8"+Re [  
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 9I/o;Js  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 }' `2C$  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 = wNul"  
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场追迹结果(电磁场探测器) m*h d%1D  
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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文件信息 0Ph,E   
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QQ:2987619807 j2 "j Cv  
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