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infotek 2020-08-27 09:30

高NA物镜聚焦的分析

摘要 .oR3Q/|k]  
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高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 TsHF tj9S  
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建模任务 ,J(lJ,c  
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概观 :c7CiP  
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光线追迹仿真 ]1sNmi$T  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 iF9_b  
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•点击Go! %l7fR}  
•获得3D光线追迹结果。 l}}UFEA^  
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光线追迹仿真 qC@Ar)T  
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•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 A#DR9Eq  
•单击Go! U<Jt50O  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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场追迹仿真 jN/ j\x'  
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•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 qn"K9k  
•单击Go!
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场追迹结果(摄像机探测器) c2<,|D|  
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 ?)i1b\4Go  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 -BhTkoN)  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 qLjT.7 .x  
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场追迹结果(电磁场探测器) NK/4OAt%  
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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文件信息 g1|w?pI1  
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QQ:2987619807 PW)aLycPK  
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