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infotek 2020-08-27 09:30

高NA物镜聚焦的分析

摘要 bt$+l[U^J  
F-^#EkEGe  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 :&]THUw  
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建模任务 ]t69a4&,#9  
nFVQOr;  
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概观 bd n{Y  
IZ2c<B5&  
QE:%uT  
光线追迹仿真 `.0QY<;  
'qosw:P  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 n3-2;xuNKE  
+OUYQMmM  
•点击Go! 67uUeCW  
•获得3D光线追迹结果。 }y-b<J ?H  
jLULf+ 8&  
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光线追迹仿真 +["t@Q4IQ  
N Fc@Kz<H  
:v_H;UU  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 6J|Ee1Ez  
•单击Go! MDfE(cn2q  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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]-o0HY2  
场追迹仿真 YN\!I  
0]dL;~0y.  
DA[s k7  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 =] R_6#  
•单击Go!
H3=U|wr|  
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A7~~{9  
场追迹结果(摄像机探测器) E(i<3U"4h[  
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 LB<,(dyh  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 ^cYm.EHI  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 :)GtPTD  
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场追迹结果(电磁场探测器) qb+vptg@I  
zt1Pu /e  
DrD68$,QN  
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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文件信息 iJg3`1@j  
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9JHu{r"M  
P)?)H]J"  
QQ:2987619807 Nl_Sgyx,\  
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