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infotek 2020-08-27 09:30

高NA物镜聚焦的分析

摘要 2#n$x*CY  
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高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 ~P]HG;$?n  
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建模任务 Z0F>"Z _qn  
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概观 '.h/Y/oz  
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光线追迹仿真 ^+- L;XkeY  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 }<\65 B$1  
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•点击Go! W kDn  
•获得3D光线追迹结果。 $Va]vC8?  
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光线追迹仿真 %8} ksl07  
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•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 ,I2re G  
•单击Go! z[lRb]:i[  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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场追迹仿真 YAC zznN  
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•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 wh7a|  
•单击Go!
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场追迹结果(摄像机探测器) [>J~M!yu:r  
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 _[OEE<(  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 Wse*gO  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 4|Gs(^nU  
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场追迹结果(电磁场探测器) ETWmeMN  
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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文件信息 (+Kof  
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QQ:2987619807 %qjyk=z+Z  
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