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infotek 2020-08-27 09:30

高NA物镜聚焦的分析

摘要 hfTY.  
P+sW[:  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 J;e2&gB  
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建模任务 sP~<*U.7  
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概观 *^4"5X@  
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V!=,0zy~Z  
光线追迹仿真 6 "sSoj  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 ioCsV  
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•点击Go! CRE3icXbQ  
•获得3D光线追迹结果。 +'a^f5  
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光线追迹仿真 8<.Oq4ku  
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n84|{l581  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 <'*LRd$1  
•单击Go! 7$=In K  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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场追迹仿真 n>YKa)|W`  
`^&OF u ee  
o*H<KaX  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 t{96p77)=  
•单击Go!
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场追迹结果(摄像机探测器) ~>|ziHx  
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 e"<OELA  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 |{ip T SH  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 o+'6`g'8  
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场追迹结果(电磁场探测器) 4r}51 N\  
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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文件信息 upmx $H>  
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R|(a@sL  
QQ:2987619807 /n&&Um\  
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