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infotek 2020-08-27 09:30

高NA物镜聚焦的分析

摘要 }!Qo wG   
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高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 6M"J3\ x  
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建模任务 eU@yw1N  
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6}C4 SZ  
概观 HQt=.#GW  
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>9+@oGe(E  
光线追迹仿真 U QXT&w  
MA(\ r  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 n@T4z.*~lA  
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•点击Go! (mt,:hX  
•获得3D光线追迹结果。 G{+sC2  
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c#u-E6  
光线追迹仿真 pL-p  
VH#]67  
O:xRUjpL  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 h(GgkTj4+  
•单击Go! ^YenS6`F  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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场追迹仿真 c{|soc[#  
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VIAj]Ul  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 <wj2:Z0  
•单击Go!
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6M+~{9(S  
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场追迹结果(摄像机探测器) ,o*b-Cv/  
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t!D=oBCro  
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 RTLu]Bry  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 =Q3Go8b4HJ  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 9XobTi3+'  
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场追迹结果(电磁场探测器) GlQ=M ) E  
(Clf]\_II  
7dV^35 KP  
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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文件信息 9L!Vj J  
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QQ:2987619807 I0Wn?Qq=@  
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