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infotek 2020-08-27 09:30

高NA物镜聚焦的分析

摘要 HPr5mWs:  
rDUNA@r  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 +?nW  
>9Ub=tZm  
~~:i+-[  
cKFzn+  
建模任务 2-]gHAw%  
UiaY0 .D  
3D;\V&([  
概观 ]rC6fNhQ  
Lgvmk  
xr)kHJ:v  
光线追迹仿真 !Edc]rg7  
ZZzf+F)T  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 C37KvLQ  
Ok2k; +l  
•点击Go! lj'c0k8  
•获得3D光线追迹结果。 O2ety2}?f  
,R ]]]7)+  
XvZg!<*OH  
IWuR=I$t  
光线追迹仿真 +Rxf~m(pV  
tlI3jrgw  
;:8_H0X'K  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 UH.M)br  
•单击Go! 8O("o7~"  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
L ?4c8!Q  
`3/,-  
n=L;(jp<j  
p,$1%/m  
场追迹仿真 a?M<r>  
u23^* -  
1LT)%_d@  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 Y-gjX$qGo  
•单击Go!
]^/:Xsk$  
(#X/sZQh  
W446;)?5  
I6{}S6  
场追迹结果(摄像机探测器) OZQhT)nS]  
_I3j 7f,V  
Euk#C;uBg  
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 bX=ht^e [  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 FFK79e/5  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 MU-ie*+  
pj?+cy v~  
gB71~A{J  
v9u/<w68!  
场追迹结果(电磁场探测器) P\*-n"  
573wK~9oMh  
#Z98D9Pv`o  
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
!94& Uk(O  
U$ _?T-x  
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文件信息 4YXtl +G  
Bwn9ZYu#r  
t`Mm  
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* j:  
QQ:2987619807 4/~8zvz&3  
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