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infotek 2020-08-27 09:30

高NA物镜聚焦的分析

摘要 G*Qk9bk9  
l=kgRh  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 Ma_! 1Y  
RN!oflb  
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建模任务 !a?o9<V  
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~Ge-7^Fo7  
概观 lQ)ZsFs=  
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光线追迹仿真 S[*e K Z  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 e8P |eK  
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•点击Go! Z\TH=UA  
•获得3D光线追迹结果。 |9 }G  
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光线追迹仿真 u:fiil$  
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S1zV.]  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 UB?a-jGZ K  
•单击Go! v@< "b U  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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场追迹仿真 7nfQ=?XNK  
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•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 4B!]%Mw;c  
•单击Go!
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场追迹结果(摄像机探测器) dIMs{!  
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 p4|:u[:&  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 'szkn0  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 e)>Z&e,3  
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F5{~2~Cw(  
场追迹结果(电磁场探测器) <86upS6  
- C8 h$P  
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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文件信息 aW$7:<A{  
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QQ:2987619807 6e/2X<O  
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