首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题
光行天下 -> FRED,VirtualLab -> 高NA物镜聚焦的分析 [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

infotek 2020-08-27 09:30

高NA物镜聚焦的分析

摘要 f^nogw<z!  
:^px1  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 YKj7~yK?  
sfx:j~bsL  
eoow]me  
"&7v.-Y k(  
建模任务 .O~)zM x  
.\i9}ye  
[<bfwTFsl  
概观 8_W<BXW  
Ib]{rmaP  
Y]ZOvA5W  
光线追迹仿真 '|Cs!Zl  
%1xo|6hm-  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 N=-hXgX^  
MB:E/  
•点击Go! \u:xDS(  
•获得3D光线追迹结果。 ~,dj)x 3M  
6 70g|&v.  
mM>{^%2Q:  
:Bda]]Y=  
光线追迹仿真 ,sXa{U  
m &s0Ub  
:MpIx&  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 ~^:/t<N  
•单击Go! OyFBM>6gh  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
+d]}  
&yWl8O  
vlx wt~  
91`biVZfA  
场追迹仿真 0l{').!_  
<(;"L<?D<C  
&QLCij5:  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 HIeWgw^"  
•单击Go!
Hz!+g'R!Gs  
%<:?{<~wH9  
;?bRRW  
5fM/y3QPsZ  
场追迹结果(摄像机探测器) CQQX7Y\  
8K7zh.E  
^o65sM  
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 G23Mr9m5O  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 v~uQ_ae$>  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 " #_NA`$i  
^=}~  
hPP+lqY[  
9kWyO:a_(  
场追迹结果(电磁场探测器) 3Ud&B  
DTsc&.29^  
ey@y?X=  
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
R84 g<  
-9\O$I-3  
Ds$FO}KD{  
文件信息 B$_F)2%m;  
TdG[b1xN  
v6;XxBR6  
)d_)CuUBe  
>{$ ;O  
QQ:2987619807 coiTVDwA  
查看本帖完整版本: [-- 高NA物镜聚焦的分析 --] [-- top --]

Copyright © 2005-2026 光行天下 蜀ICP备06003254号-1 网站统计