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infotek 2020-08-27 09:30

高NA物镜聚焦的分析

摘要 ,0$)yZ3*3,  
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高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 _K2?YY(#>  
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建模任务 6Q|k7*,B  
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Ru!He,k7  
概观 @# P0M--X  
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光线追迹仿真 pI`?(5iK6|  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 $ls[|N:y0l  
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•点击Go! _S0+;9fhY  
•获得3D光线追迹结果。 wVs.Vcwr  
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光线追迹仿真 Eq% @"-m o  
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•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 E&$_`m;  
•单击Go! C=Fzu&N}  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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场追迹仿真 &>WWzikB*  
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•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 89}Y5#W  
•单击Go!
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场追迹结果(摄像机探测器) 2],_^XBvB  
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 Z[!d*O%R_  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 _#e&t"@GS  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 ajl 2I/D  
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场追迹结果(电磁场探测器) rI$`9d  
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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文件信息 _zxLwU1(x  
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^ OJyN,A  
lor8@Qz  
QQ:2987619807 *MN HT`Y^o  
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