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infotek 2020-08-27 09:30

高NA物镜聚焦的分析

摘要 etGquW.  
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高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 u%ih7v!r\  
P`U5kNN  
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建模任务 `EWeJ(4Z@  
B[b'OtH  
( B50~it  
概观 @,zBZNX y  
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光线追迹仿真 rr9HC]63  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 !gJAK<]iW  
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•点击Go! >@]E1Qfe  
•获得3D光线追迹结果。 {L<t6A  
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光线追迹仿真 ?\^u},HnE|  
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•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 '7_'s1  
•单击Go! `bt]v$  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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场追迹仿真 V|b?H6Q  
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•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 _KD(V2W  
•单击Go!
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场追迹结果(摄像机探测器) =E |[8 U)  
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 #yU4X\oO  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 "gK2!N|#  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。  hi.{  
P#Eqe O  
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g:f0K2)\r:  
场追迹结果(电磁场探测器) $dwv1@M2  
fnB-?8K<  
EE%OD~u&9#  
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
)FU4iN)ei  
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&s] s]V)  
文件信息 5i1>z{  
)03.6 Pvs  
ODEy2).  
!)LR41>?  
8mCr6$|%  
QQ:2987619807 Tri.>@-u  
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