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infotek 2020-08-27 09:30

高NA物镜聚焦的分析

摘要 e /L([  
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高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 7nZ3u _~  
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建模任务 M0%nGpVj>  
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概观 hd)WdGJp  
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光线追迹仿真 IaO*{1re  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 p:3w8#)MZ  
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•点击Go! SME]C') 7  
•获得3D光线追迹结果。 lLI%J>b@  
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光线追迹仿真 t|*UlTLm  
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•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 2m9qg-W  
•单击Go! +P.JiH`\=  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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场追迹仿真 ^!x qOp!  
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•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 .`oKd@I*"  
•单击Go!
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场追迹结果(摄像机探测器) kH=qJ3Z  
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 WN o+%  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 JvS ~.g1  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 Pd~z%VoO  
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u(JuU/U  
场追迹结果(电磁场探测器) |C>\k u*  
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<80M$a g  
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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文件信息 )4H0Bz2G  
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2 S2;LB  
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QQ:2987619807 ]Nue1xV_  
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