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infotek 2020-08-27 09:30

高NA物镜聚焦的分析

摘要 [iyhrc:@  
CSwB+yN  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 xa !/.  
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建模任务 \[8uE,=|  
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概观 @kba^z  
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光线追迹仿真 h ^w# I  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 nn">   
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•点击Go! 83'rQDo)G  
•获得3D光线追迹结果。 |uRYejj#j  
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光线追迹仿真 =^zOM6E1ZF  
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 z}*L*Sk  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 Qi9M4Yv  
•单击Go! k4^!"~<+0  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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场追迹仿真 Oek$f,J-  
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•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 xP'"!d4^i  
•单击Go!
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SK,UW6h  
TF,([p*  
场追迹结果(摄像机探测器) e\*N Lj_(  
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 <*ME&c gh4  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 th{Ib@o  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 Cv]$w(k  
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场追迹结果(电磁场探测器) IBh?vh  
ksAu=X:  
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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文件信息 % +M,FgW  
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QQ:2987619807 ^'hh?mL  
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