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infotek 2020-08-27 09:30

高NA物镜聚焦的分析

摘要 M 2U@gC|{  
ui:>eYv  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 V%Z[,C u+  
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建模任务 :+X2>Lu$FA  
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概观 ~P.-3  
2+hfbFu,1  
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光线追迹仿真 ag*Hs<gi  
/m|&nl8"qe  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 H;"N|pBy  
<]SS gQ9/"  
•点击Go! vo^9qSX f  
•获得3D光线追迹结果。 y*TNJJ|  
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光线追迹仿真 |<o>$;mZ  
E* DVQ3~  
s Gm(Aax*0  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 (2a "W`  
•单击Go! ^_"q`71Dk  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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场追迹仿真 oKqFZ,m[  
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D_;n4<|.  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 QR-R5XNT[  
•单击Go!
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5@r Zm4U  
场追迹结果(摄像机探测器) ~k< 31 ez  
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i1H80m s  
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 IgnY* 2FT  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 M:q ;z(  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 Q)i`.mHfFI  
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x@R A1&c  
jm!C^5!  
场追迹结果(电磁场探测器) ezy5Jqk5%  
X;a{JjN  
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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文件信息 ? F), 4Q  
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QQ:2987619807 m6ws #%|[  
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