首页
->
登录
->
注册
->
回复主题
->
发表主题
光行天下
->
FRED,VirtualLab
->
高NA物镜聚焦的分析
[点此返回论坛查看本帖完整版本]
[打印本页]
infotek
2020-08-27 09:30
高NA物镜聚焦的分析
摘要
]jz%])SzH
+89s+4Jn
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。
N@>,gm@UU
#D$vH
|QvG;{!
o0p%j4vac
建模任务
ec4jiE
:_q
v^h \E+@
概观
xPY/J#X$
_Z|s!~wdz
o[bG(qHZ
光线追迹仿真
e%'$Vx0kA
D/w4u;E@
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。
yVyh'd:Ik
"bRg_]\q6
•点击Go!
D@i,dPz5Zl
•获得3D光线追迹结果。
.Y%)&
p0xd c3
nz|;6?LCLY
e'oM%G[
光线追迹仿真
N;A#3Ter
{g2cm'hD
_be*B+?2 t
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。
4'W| '4'b
•单击Go!
fn zj@_{|
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
)*I=>v.Jq
X3DXEeBEL
oQC* d}_E}
/vl]Oa&U
场追迹仿真
x=yU }lsV
qwu++9BM
2sjP":
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。
#dDsI]E)
•单击Go!
w0Fi~:b
<R7*00
,@=qaU
H(ht{.sjI
场追迹结果(摄像机探测器)
w~EXO;L2
"aN<3b
zYdSg<[^
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。
O`O{n_o^u
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。
OE-$P
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。
U`JzE"ps]
e0HG"z4
R0;c'W)
cI4%zeR
场追迹结果(电磁场探测器)
L`YnrDZK
kL^;^!Nt
H*3f8A&@s
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
pvTV*
5M{N-L_eC
Z9ciS";L
文件信息
%*<k5#Yq
J={$q1@lq
S(5.y%"<
__c:$7B/4U
mSAuS)YD
QQ:2987619807
a J[VX)"J
查看本帖完整版本: [--
高NA物镜聚焦的分析
--] [--
top
--]
Copyright © 2005-2025
光行天下
蜀ICP备06003254号-1
网站统计