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infotek 2020-08-27 09:30

高NA物镜聚焦的分析

摘要 ]jz%])SzH  
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高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 N@>,gm@UU  
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建模任务 ec4jiE  
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概观 xPY/J#X$  
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光线追迹仿真 e%'$Vx0kA  
D/w4u;E@  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 yVyh'd:Ik  
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•点击Go! D@i,dPz5Zl  
•获得3D光线追迹结果。 .Y%)&  
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光线追迹仿真 N;A #3Ter  
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_be*B+?2t  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 4'W|'4'b  
•单击Go! fn zj@_{|  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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场追迹仿真 x=yU }lsV  
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•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 #dDsI]E )  
•单击Go!
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场追迹结果(摄像机探测器) w~EXO;L2  
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 O`O{n_o^u  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 OE-$P  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 U`JzE"ps]  
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场追迹结果(电磁场探测器) L`YnrDZK  
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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文件信息 %*<k5#Yq  
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QQ:2987619807 a J[VX)"J  
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