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2020-08-27 09:30 |
高NA物镜聚焦的分析
摘要 ,0$)yZ3*3, )bO BQbj 高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 _K2?YY(#> 2R-A@UE2
A!W0S !,$i6gm 建模任务 6Q|k7*,B 3ucP(Ex@tg
Ru!He,k7 概观 @# P0M--X 6x{<e4<n
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光线追迹仿真 pI`?(5iK6| fCAiLkT,C[ •首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 $ls[|N:y0l -OZ 5vH0 •点击Go! _S0+;9fhY •获得3D光线追迹结果。 wVs.Vcwr
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QA!_} N4n xk~IN%\ 光线追迹仿真 Eq%@"-mo %bXx!x8( n7aU<`U •然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 E&$_`m; •单击Go! C=Fzu&N} •结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。 #1'\.v AT
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;|%dY{L- A?5E2T1L%. 场追迹仿真 &>WWzikB* }n,Zl>T9 $>M<j •切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 89}Y5#W •单击Go! 1&=0Wg0ig cNpe_LvW
oj,lz? <<A`aU^fX 场追迹结果(摄像机探测器) 2],_^XBvB <3PL@orO X8eJ4% •上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 Z[!d*O%R_ •下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 _#e&t"@GS Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 ajl
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Rx36?/ $$Vt7"F 场追迹结果(电磁场探测器) rI$`9d [mxTa\ [//R ~i? •所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。 5y2?
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