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infotek 2020-08-27 09:30

高NA物镜聚焦的分析

摘要 5uahfJk  
9I2&Vx=DSt  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 hkm}oYW+  
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建模任务 !lL `L \  
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概观 GnUD<P=I  
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光线追迹仿真 s8 MQ:eAP  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 J$5 G8<d>  
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•点击Go! M% Rr=  
•获得3D光线追迹结果。 @#hvQ6u  
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光线追迹仿真 UcD<vg"p  
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IHi[3xf<  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 lw}7kp4 2F  
•单击Go! *QWOW g4w  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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场追迹仿真 \,X)!%6kZ  
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•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 =Hn--DEMg  
•单击Go!
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场追迹结果(摄像机探测器) _izjvg  
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 p4k}B. f  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 .zt&HI.F  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 GH-Fqz  
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场追迹结果(电磁场探测器) 7=u Gf$/  
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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文件信息 ?<W|Ya  
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QQ:2987619807 lOeX5%$Z  
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