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infotek 2020-08-27 09:30

高NA物镜聚焦的分析

摘要 q3P+9/6  
z-T{~{q  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 z=Cr7-  
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建模任务 xTz%nx  
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概观 v|';!p|  
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r'7LR  
光线追迹仿真 WT\<.Py  
f!_ ctp  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 PkuTg";  
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•点击Go! L=; -x9  
•获得3D光线追迹结果。 "sUyHt-&  
~NcQ1.  
p{$p $/A  
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光线追迹仿真 #FxPj-3(ix  
pv)`%<  
~FU@wV^   
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 \;X+X,M  
•单击Go! 5 `/< v^  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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&HZmQ>!R D  
Di.3113t  
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场追迹仿真 ~a9W3b4j  
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•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 -V.d?A4"  
•单击Go!
,F6=b/eZ  
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场追迹结果(摄像机探测器) + kK  
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-e GL)M  
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 q'[}9e`Q  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 #]WqM1u  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 y[};J vk  
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Io`P,l:  
ZD/jX_!t  
场追迹结果(电磁场探测器) Cizvw'XDV  
B5%n(,Lx  
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
0 fXLcal  
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文件信息 Uh eC  
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QQ:2987619807 B_`y|sn  
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