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infotek 2020-08-27 09:30

高NA物镜聚焦的分析

摘要 ;Y7' U rn  
I~4z%UG  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 A`7(i'i5]  
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建模任务 YBt=8`r  
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J"aw 1  
概观 VYG@_fd!x  
7zu\tCWb  
A@V$~&JCL5  
光线追迹仿真 NLy4Z:&{  
s= %3`3Fo  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 H^d?(Svh  
/.]u%;%r[  
•点击Go! E;Z(v  
•获得3D光线追迹结果。 +ktv : d  
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D ,kxB~  
u W]gBhO$O  
光线追迹仿真 ,L& yKS@  
N@d~gE&^  
|=0vgwd"S  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 Skr (C5T  
•单击Go! p9"dm{  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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场追迹仿真 jg]KE8(  
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[* <x)  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 ,p|Q/M^  
•单击Go!
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场追迹结果(摄像机探测器) |]G%b[  
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 u8c@q'_  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 v]EMJm6d|  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 (WHg B0{  
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场追迹结果(电磁场探测器) r D@*xMW  
%`i*SF(gV  
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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文件信息 P*KIk~J  
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QQ:2987619807 ,8r?C!m]  
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