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infotek 2020-08-27 09:30

高NA物镜聚焦的分析

摘要 ~SI`%^L  
1&zvf4  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 $]V,H"  
4o+SSS  
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1u?h4w C  
建模任务 ]} D^?g^  
j7(sYo@x7  
8Ld`$_E  
概观 w_c)iJ  
[I*)H7pt}  
ChvSUaCS  
光线追迹仿真 @vsgmz  
?q^o|Y/  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 ~q5aMy d<  
C`G+b{o  
•点击Go! N>R\,n|I  
•获得3D光线追迹结果。 %bu$t,  
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2TFb!?/RQ  
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光线追迹仿真 Nk.m$  
j,DF' h  
ldd8'2  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 2C6o?*RjyY  
•单击Go! q=I8W}Z i  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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Ro}7ERA  
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场追迹仿真 :B^YK].  
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•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 U yb-feG  
•单击Go!
]=gNA  
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-yP|CZM  
场追迹结果(摄像机探测器) -_*ux!  
L3/SIoqd  
Zz,j,w0 Z  
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 u%t/W0xi  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 (Q]Ww_r~  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 dd+hX$,  
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G '1K6  
T!f+H?6  
场追迹结果(电磁场探测器) 5dvP~sw  
A#o ~nC<  
}1xD*[W  
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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文件信息 ?&`PN<~2z  
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(]@yDb4  
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QQ:2987619807 \ u*R6z  
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