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infotek 2020-08-27 09:30

高NA物镜聚焦的分析

摘要 ICi- iX  
Qi%A/~  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 TaC)N  
x R.Ql>  
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建模任务 P7o6B,9  
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概观 f t7wMi  
- zkB`~u_  
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光线追迹仿真 5~kf:U%~  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 ?tcbiXRG+  
nRGH58  
•点击Go! |'.SOm9)*  
•获得3D光线追迹结果。 s)V^_@Z 9  
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R[V%59#{Z  
4-m%[D |W  
光线追迹仿真 "*0 szz'  
+ $-a:zx`l  
^K"`k43{  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 Np<Aak  
•单击Go! k@2gw]y"  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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WO{N@f^  
GA|q[<U  
场追迹仿真 1.!(#I3  
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6Z"%vrH  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 E'ZWSpP  
•单击Go!
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场追迹结果(摄像机探测器) 3EFk] X  
1>2397  
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 V>nY?  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 3w@)/ujn  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 NE! Xt<A  
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场追迹结果(电磁场探测器) |\ ay^@N  
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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文件信息 '!0CwZ 7  
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QQ:2987619807 j]P|iL  
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