首页
->
登录
->
注册
->
回复主题
->
发表主题
光行天下
->
FRED,VirtualLab
->
高NA物镜聚焦的分析
[点此返回论坛查看本帖完整版本]
[打印本页]
infotek
2020-08-27 09:30
高NA物镜聚焦的分析
摘要
ICi- iX
Qi%A/~
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。
TaC)N
xR.Ql>
[{ pc1U-
4u&doSXR
建模任务
P7o6B,9
m^7pbJ\|
!EFd-fk
概观
ft7wMi
-zkB`~u_
Czp:y8YX -
光线追迹仿真
5~kf:U%~
g#AA.@/Z
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。
?tcbiXRG+
n RGH58
•点击Go!
|'.SOm9)*
•获得3D光线追迹结果。
s)V^_@Z9
S8y4 p0mV
R[V%59#{Z
4-m%[D |W
光线追迹仿真
"*0 szz'
+$-a:zx`l
^K"`k43{
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。
Np<Aak
•单击Go!
k@2gw]y"
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
IE6/ E
\ Q6Ip@?
WO{N@f^
GA|q[<U
场追迹仿真
1.!(#I3
M3Z yf
6Z"%vrH
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。
E'ZWSpP
•单击Go!
,9rT|:N
YPM>FDxDB
O []+v
HCu1vjU(]
场追迹结果(摄像机探测器)
3EFk] X
1>2397
<.<Nw6
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。
V>nY?
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。
3w@)/ujn
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。
NE! Xt <A
'e&4#VLH^
[bcqaT
f`c z@
场追迹结果(电磁场探测器)
|\ay^@N
d/^^8XUK
=19]a
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
,&k5Qq
jfWIPN
$xl*P#
文件信息
'!0CwZ 7
&M2x`
bcZuV5F&
''6"Xi|5
0I k@d'7
QQ:2987619807
j ]P|iL
查看本帖完整版本: [--
高NA物镜聚焦的分析
--] [--
top
--]
Copyright © 2005-2026
光行天下
蜀ICP备06003254号-1
网站统计