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infotek 2020-08-27 09:30

高NA物镜聚焦的分析

摘要 |T`ZK?B+u  
_{Z!$q6,  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 ?XCFR t,ol  
lL8pIcQW  
DA=#T2)p  
6g fn5G  
建模任务 c_V^~hq  
zEM  c)  
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概观 pg<m0g@W*;  
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ws/e~ T<c  
光线追迹仿真 K Eda6zZH  
M[eq)a$  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 FS'|e?WU  
TEJn;D<1I,  
•点击Go! DsJ ikg(J  
•获得3D光线追迹结果。 g2 RrBK,  
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7C;oMh5  
光线追迹仿真 YL?2gBT  
d9=i{i3  
{UeS_O>(  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 jm ORKX+)  
•单击Go! fk*I}pDx  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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场追迹仿真 +x!Hc  
Wg5<@=x!G  
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•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 #zf,%IYF  
•单击Go!
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~:JoKm`vU  
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ApD`i+Y@  
场追迹结果(摄像机探测器) :kMF.9U:  
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V|{\8&  2  
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 IRknD3LX  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 +dG3/vV  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 { 1eW*9  
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eF"k"Ckt'  
BHu%x|d  
场追迹结果(电磁场探测器) B"Ma<"HU  
rD;R9b"J  
drQI@sPp  
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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Y'^+ KU  
J))U YJO  
文件信息 [.Rdq]w6  
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Pi hpo  
QQ:2987619807 L,O.XR  
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