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infotek 2020-08-27 09:30

高NA物镜聚焦的分析

摘要 x|29L7i  
|V7*l1  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 Y|/ 8up  
UL9n-M =  
L \iFNT}g`  
;9'OOz|+1  
建模任务 Zgb!E]V[  
/<BI46B\  
OB}Ib]  
概观 EEL,^3KR  
(Awm9|.{+  
I*^Ta{j[  
光线追迹仿真 {Hk}Kow  
W(/h Vt  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 ]]Ufas9  
t ZB<on<.)  
•点击Go! x$(f7?s] 1  
•获得3D光线追迹结果。 E<*xx#p  
J?$,c4;W2  
EB|}fz  
[1H^3g '  
光线追迹仿真 8Cv?Z.x5  
{(?4!rh  
-H-~;EzU  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 6-ils3&  
•单击Go! PTV:IzoW  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
Ef{Vp;]  
'/%H3A#L  
YZJyk:H\  
2I{"XB  
场追迹仿真 W=4FFl[  
0Wp|1)ljA  
Srd4))2/0  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 kg\ >k2h  
•单击Go!
zp?`N;  
I1&aM}y{G  
IO:G1;[/2L  
f(7GX3?  
场追迹结果(摄像机探测器) IEvdV6{K  
X#;bh78&-  
"5$B>S(Q  
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 jZr q{Z<  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 Eu04e N  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 he hFEyx  
18:%~>.!  
lU8Hd|@-  
}\k"n{!"  
场追迹结果(电磁场探测器) cj5+N M"  
kylVH! @l  
|#N&akC  
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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文件信息 QkC(uS  
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NQ2E  
QQ:2987619807 H} g{Cr"Ex  
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