首页
->
登录
->
注册
->
回复主题
->
发表主题
光行天下
->
FRED,VirtualLab
->
高NA物镜聚焦的分析
[点此返回论坛查看本帖完整版本]
[打印本页]
infotek
2020-08-27 09:30
高NA物镜聚焦的分析
摘要
,9zjFI
-g*4(w
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。
q_A!'sm@)
EyJJ0
(MxQ+D\
aBNc(?ri
建模任务
$_"'&zQ'
^/I 7|u]
v3~? ;f,l
概观
rWa2pO
MyJ%`@+1
DgId_\Ze
光线追迹仿真
1ySk;;3
.WA-&b_
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。
I9_RlAd
zPn+V7F
•点击Go!
gmw|H?]
•获得3D光线追迹结果。
h-q3U%R4}@
v_+{'F
2_HNhW
N +Yxz;Mg
光线追迹仿真
,8U&?8l
vdivq^%=a
A5c%SCq;
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。
)~)J?l3{
•单击Go!
_.tVSVp
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
iVhJ t#_b
xHvZV<#
]!?;@$wx
4;e5H_}Oo
场追迹仿真
3]}D`Qs6
@vC4[:"pD}
`i3NG1 v0
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。
3%#3iZ=_
•单击Go!
?~BC#B\>o
n{n52][J]
s4X>.ToMC
cOmw?kA*G
场追迹结果(摄像机探测器)
'f!8DGix
cLpYW7vZ[
>)fi^
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。
4[m`#
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。
n4;.W#\
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。
EH+"~-v)ae
! `
w1EXh
JFcLv=U
场追迹结果(电磁场探测器)
u%&`}g
eBZXI)pPh
`06;
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
Si2k"<5U
v|XTr,#
orzZ{87
文件信息
9&-dTayIz
sXLq*b?
dU&a{$ku[
6KXtcXQ
e(]!GA
QQ:2987619807
dN$0OS`s[
查看本帖完整版本: [--
高NA物镜聚焦的分析
--] [--
top
--]
Copyright © 2005-2025
光行天下
蜀ICP备06003254号-1
网站统计