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infotek 2020-08-27 09:30

高NA物镜聚焦的分析

摘要 C?rb}(m  
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高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 #b1/2=PA  
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建模任务 6a6N$v"  
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概观 1! R:}r3t  
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光线追迹仿真 MENrP5AL  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 )7F$:*e  
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•点击Go! H"rIOoxf  
•获得3D光线追迹结果。 cV* 0+5  
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光线追迹仿真 c`V~?]I>  
'L6+B1Op  
=(,dI [v  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 o&HFlDZ5jO  
•单击Go! i^/D_L.  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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场追迹仿真 T(bFn?  
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•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 YwF\  
•单击Go!
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场追迹结果(摄像机探测器) v:Z.8m8D  
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 f@J-6uQ7w  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 J_ `\}55n  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 &M+fb4:_  
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场追迹结果(电磁场探测器) 24/ ^_Td  
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X6: c-  
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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文件信息 TfqQh!Y  
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)3~):+  
QQ:2987619807 J;7O`5J  
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