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infotek 2020-08-27 09:30

高NA物镜聚焦的分析

摘要 8='21@wrN  
QYfAf3te  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 ?lDcaI>+n  
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建模任务 * \o$-6<  
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概观 } ndvV~*1  
GGc_9?h  
MIlCUk  
光线追迹仿真 M=[q+A  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 @y0bU*v7  
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•点击Go! M&djw`B  
•获得3D光线追迹结果。 4ZJT[zi  
9MB\z"b?A  
~26s7S}  
37 O#aJ,K  
光线追迹仿真 mE^tzyh  
J4[x,(iq(  
 m-'(27  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 AO}i@YJth  
•单击Go! J`+`Kq1T  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
[pW1=tI  
0?F@iB~1F  
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场追迹仿真 !/4 V^H  
YR|(;B  
u1;e*ty  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 o7Cnyy#:  
•单击Go!
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场追迹结果(摄像机探测器) BK(pJNBh  
DO1 JPeIi  
qX p,d  
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 y '_V/w s  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 Q.9Ph ~  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 +e0dV_T_>  
5:l*Ib:s7  
EtR@sJ<  
%Rd~|$@>x  
场追迹结果(电磁场探测器) -B*<Q[_  
6VH90KAT  
a(}VA|l  
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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文件信息 ' 1P=^  
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QQ:2987619807 [+;FV!M6  
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