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infotek 2020-08-27 09:30

高NA物镜聚焦的分析

摘要 G>H',iOI  
p@x1B &Z  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 {8a s _  
Y/aNrIK7  
'.&z y#  
8`j;v>2  
建模任务 1XvB,DhJ  
n^m6m%J)  
is,r:  
概观 DU.nXwl]  
3[E)/~-  
)s';m$  
光线追迹仿真 q<` g  
cr_Q,*  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 g,seqh%  
MX.=k>  
•点击Go! /92m5p  
•获得3D光线追迹结果。 Z*Qra4GBl]  
L8zY?v(bG  
.5PcprE/  
hiN6]jL|O  
光线追迹仿真 1vF^<{%v  
E?/Bf@a28=  
(8*& 42W  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 ,:!dqonn  
•单击Go! X(;,-7Jw  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
2Hp#~cE+.  
u\-f\Z7  
kN)m"}gX  
=Qcz:ng  
场追迹仿真 Jm+hDZrW  
T"2D<7frbo  
>/DyR+?>4  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 liUrw7,  
•单击Go!
~X/1%  
. d;XLS~  
u!X$M?D4  
|W/_S^C  
场追迹结果(摄像机探测器) HZ1e~IIw  
P*# H]Pv  
o!3-=<^  
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 C>qKKLZ  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 Jz!8Xg%a  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 _:,:U[@Vz  
[kyF|3k~  
hoc$aqP6pp  
0.~Pzg  
场追迹结果(电磁场探测器) C#< :x!  
'y [eH  
8- ?.Q"D7%  
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
"(hhb>V1Wl  
8/;q~:v  
.]qj];m  
文件信息 Q`qHzb~%  
@}K'Ic  
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K.Tfu"6  
;R E|9GR  
QQ:2987619807 4dXuy>Km  
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