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infotek 2020-08-27 09:30

高NA物镜聚焦的分析

摘要 Mi'Q5m  
kfb+OE:7  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 wd*i&ooQ*L  
8 OC5L1  
M52kau  
2D-ogSIo  
建模任务 U,/NygB~  
Db({k,P'Y  
L;.6j*E*  
概观 ixN>KwH  
%Fb"&F^7  
b!hxx Z  
光线追迹仿真 G-oC A1UdN  
Ne/jvWWN  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 ,u QLXF2  
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•点击Go! %o< &O(Y  
•获得3D光线追迹结果。 xD#PM |I  
'T[=Uuj"  
%kD WUJZ  
THQ W8 V  
光线追迹仿真 SqY;2:  
sw*k(i  
j-$aa;  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 ZTd_EY0q  
•单击Go! q p|T,D%  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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H^"BK-`hs  
i2b\` 805  
Cq1t[a  
场追迹仿真 T,(IdVlJ  
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#l~ d  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 dv4)fG]W;_  
•单击Go!
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场追迹结果(摄像机探测器) 6N.mSnp  
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 ^w2n  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 nL^6{I~  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 'DsfKR^ s  
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场追迹结果(电磁场探测器) 3~I<f ^K4  
9YHSL[  
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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文件信息 *sJx0<!M}  
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d;lp^K M  
l[G ,sq"  
QQ:2987619807 nq/xD;q  
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