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infotek 2020-08-27 09:30

高NA物镜聚焦的分析

摘要 /s`8=+\9  
-H](2}  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 &Y8S! W@4  
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建模任务 ^s3SzB@  
7,D6RP(b  
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概观 -*0U&]T  
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光线追迹仿真 }Lb[`H,}A  
2u^/yl  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 a*UxRi8  
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•点击Go! {b]V e/\  
•获得3D光线追迹结果。 d7!,  
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CW;=q[+w  
y/6%'56uF  
光线追迹仿真 ood,k{  
F */J`l  
wD`jks  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 |7E1yu  
•单击Go! 5>"X?U}He  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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De:| T8&  
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L[.RV*sL  
场追迹仿真 4A~1Z,"%v(  
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i.6+ CA  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 ]='zY3  
•单击Go!
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场追迹结果(摄像机探测器) ! 6: X]  
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 n0%]dKCB  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 3YOYlb %j  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 f" g-Hbl5  
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DE_ <LN  
场追迹结果(电磁场探测器) c*HWH$kB  
l5esx#([*R  
ntt:>j$  
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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!JWZ}u M6  
文件信息 %Y*]eLT>  
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G[M{TS3&Ds  
QQ:2987619807 ;f+bIYQz  
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