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infotek 2020-08-27 09:30

高NA物镜聚焦的分析

摘要  lX/7  
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高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 Xt:j~cVA  
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建模任务 EV* |\ te  
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F.(e}EMyNh  
概观 1cMdoQ  
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光线追迹仿真 FEopNDy@y  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 k%-UW%  
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•点击Go! rTJU)4I^h  
•获得3D光线追迹结果。 $:-C9N29  
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光线追迹仿真 wa&:86~l?  
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•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 V1G5Kph  
•单击Go! 6"rS?>W/mO  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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场追迹仿真 u`-:'@4  
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•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 ^Ga_wJP8S  
•单击Go!
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场追迹结果(摄像机探测器) w#bdb;  
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 [f$pq5f='  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 {w99~?  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 1JI7P?\B  
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场追迹结果(电磁场探测器) N$Tzxs  
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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文件信息 8Y;>3z th7  
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HuD~(CI.  
QQ:2987619807 /"1[qT\F  
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