首页
->
登录
->
注册
->
回复主题
->
发表主题
光行天下
->
FRED,VirtualLab
->
高NA物镜聚焦的分析
[点此返回论坛查看本帖完整版本]
[打印本页]
infotek
2020-08-27 09:30
高NA物镜聚焦的分析
摘要
'y3!fN=h
n#OB%@]<V
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。
<<R*2b
r|Tcfk]%
nK%LRcAs
fDU!~/#
建模任务
W]5w \
O+Y6N
RuVGG)
概观
_8_R 1s
&@Be2!%'9K
@7j AL -
光线追迹仿真
DX K?Cv71z
ByNn
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。
T <ET )D7
Hn+~5@.
•点击Go!
76h ,]xi
•获得3D光线追迹结果。
J,y[[CdH`
l#Y,R 0
e [mm
Q:k}Jl
光线追迹仿真
'op|B@y
8i#2d1O
x Bi' X
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。
XXn67sF/
•单击Go!
R3&Iu=g
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
{go;C}
GM f `A,>
'XP7" N47O
qm8B8&-
场追迹仿真
7/@TF/V
UIN<2F_
GqaCj^2f
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。
~^fZx5
•单击Go!
My[pr_xg
JL}_72gs
+V046goX W
3>`mI8$t
场追迹结果(摄像机探测器)
9u}Hmb
!1H# 6
W^LY'ypT
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。
Tc`=f'pP)4
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。
EF}\brD1
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。
V/ uP%'cd
RF4vtQC=
.P%bkD6M
jrr*!^4|
场追迹结果(电磁场探测器)
q" sed]
]i ,{
9YQb&
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
]uJ"?k=
][h%UrV
(WO]Xq<
文件信息
j8{i#;s!"
as4;:
A,hJIe
j2.|ln"!
j0S#>t
QQ:2987619807
ju8q?Nyhs
查看本帖完整版本: [--
高NA物镜聚焦的分析
--] [--
top
--]
Copyright © 2005-2026
光行天下
蜀ICP备06003254号-1
网站统计