首页
->
登录
->
注册
->
回复主题
->
发表主题
光行天下
->
FRED,VirtualLab
->
高NA物镜聚焦的分析
[点此返回论坛查看本帖完整版本]
[打印本页]
infotek
2020-08-27 09:30
高NA物镜聚焦的分析
摘要
izsAn"v
hSSF]
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。
3P 3x^NI
Vh$~]>t:f
EKZ40z`
Q%KH^<
建模任务
D{'x7!5r
;Xg6'yxJ
KT~J@];Fb
概观
<&\HXAOd
-U)6o"O_CV
6[,*2a8
光线追迹仿真
]IMBRZQqb
o[q Kf
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。
Ay;=1g)8+f
u6IEBYG ((
•点击Go!
9-[g/qrF
•获得3D光线追迹结果。
:A $%5;-kO
NX&mEz
jo{[*]Oa
8.HqQ:?&2t
光线追迹仿真
cG1-.,r
*X8<hYKZq
6DqV1'
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。
:]iV*zo_
•单击Go!
rD<G_%hP
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
Z2~;u[0a[
TzmoyY
li;Np5P
Lo _5r T"
场追迹仿真
Bi/=cI
+Rn]6}5m\
; S7 %
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。
+:pjQ1LsJ
•单击Go!
rU`#3}s
Q!(16
)pLde_ k
wG6>.`:
场追迹结果(摄像机探测器)
-8;U1 ^#
+168!Jw;
Sx?IpcPSm
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。
&l2oyQEF)
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。
(Em^qN
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。
$50A!h
J[2c[|[-
?ORG<11a
GhpVi<FL
场追迹结果(电磁场探测器)
/ =&HunaxI
*>,8+S33r{
;4p_lw@
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
8sjAr.iT.
I!3qb-.Q
'MH WNPG0
文件信息
iV;X``S
5D9I;L{
B'"(qzE-kM
udVEOn$
H!mNHY_fA
QQ:2987619807
SE/GT:}
查看本帖完整版本: [--
高NA物镜聚焦的分析
--] [--
top
--]
Copyright © 2005-2026
光行天下
蜀ICP备06003254号-1
网站统计