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infotek 2020-08-27 09:30

高NA物镜聚焦的分析

摘要 izsAn"v  
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高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 3P3x^NI  
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建模任务 D{'x7!5r  
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KT~J@];Fb  
概观 <&\HXAOd  
-U)6o"O_CV  
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光线追迹仿真 ]IMBRZQqb  
o[q Kf  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 Ay;=1g)8+f  
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•点击Go! 9-[g/qrF  
•获得3D光线追迹结果。 :A $%5;-kO  
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8.HqQ:?&2t  
光线追迹仿真 cG1-.,r  
*X8<hYKZq  
6 DqV1'  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 :]iV*zo_  
•单击Go! rD<G_%hP  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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Lo _5r T"  
场追迹仿真 Bi/=cI  
+Rn]6}5m\  
; S7 %  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 +:pjQ1LsJ  
•单击Go!
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场追迹结果(摄像机探测器) -8;U1^#  
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Sx?IpcPSm  
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 &l2oyQEF)  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 (Em^qN  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 $50A!h  
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GhpVi<FL  
场追迹结果(电磁场探测器) /=&HunaxI  
*>,8+S33r{  
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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文件信息 iV;X``S  
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B'"(qzE-kM  
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QQ:2987619807 SE/GT:}  
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