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infotek 2020-08-27 09:30

高NA物镜聚焦的分析

摘要 e XV@.  
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高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 ]k%PG-9  
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建模任务 vF={9G  
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1=)r@X/6d  
概观 = !2NU  
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Te-Amu  
光线追迹仿真 %,V YiW0  
K~6e5D7.  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 v/QUjXBr  
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•点击Go! +]wuJSxc  
•获得3D光线追迹结果。 X_TiqV  
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光线追迹仿真 <iLM{@lZvJ  
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[ !%R#+o=F  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 p3x?[ Ww  
•单击Go! 4Y ROB912  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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场追迹仿真 ERMa# L  
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P,xwSvO#M  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 0D&>Gyc*0  
•单击Go!
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场追迹结果(摄像机探测器) ocRdbmS  
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 >t+ qe/  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 ?A*Kg;IU  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 oOU1{[  
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场追迹结果(电磁场探测器) Ub$n |xn  
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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文件信息 k[|~NLB8  
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QQ:2987619807 lx0 ~>K]  
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