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2020-08-27 09:30 |
高NA物镜聚焦的分析
摘要 dArg'Dc4 2LiJ IO8N 高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 ~ Z=Q+'Hu0 'hf#Q9W5
gH,^XZe ^{DXin 1O` 建模任务 quTM|>=_R 4@u*#Bp`|
P bj &l0C 概观 d!D#:l3; ==RYf*d
U,gg@!1GJo 光线追迹仿真 ,gVA^]eDh ,ZHIXylZ •首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 -v/1R1$e1 c/jU+,_g •点击Go! J2f}{! b+I •获得3D光线追迹结果。 pV9$Vg?-H [d`J2^z}
@!=q.4b yTm/P!1S 光线追迹仿真 Bk_23ygO_ AU -, h8&VaJ •然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 <'>c`80@\* •单击Go! -,)&?S •结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。 7y5`YJ}! *P7 H=Yf&
>gRb.-{ux M4w,J2_8MK 场追迹仿真 0Dv r:]R A(V,qw8 +DmfqKKbd •切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 2F%2K?$`Ej •单击Go! /H/@7> mEeD[dMN
o%;R4 s, H*51GxK 场追迹结果(摄像机探测器) O`j1~o<{ Hb55RilC rE$0a-d2B •上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 !w2J*E\ •下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 uH="l.u Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 ^SM>bJ1Z_ |L[/]@|
<| 8N\FU{ Q=9Ce@[ 场追迹结果(电磁场探测器) :d}I`)& f8 E,.$> 2n+tc •所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。 Of0(.-Q w VUnO&zV{
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