首页
->
登录
->
注册
->
回复主题
->
发表主题
光行天下
->
FRED,VirtualLab
->
高NA物镜聚焦的分析
[点此返回论坛查看本帖完整版本]
[打印本页]
infotek
2020-08-27 09:30
高NA物镜聚焦的分析
摘要
T/ ECW
G~y:ZEnN[
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。
lZRO"[<
3ux7^au
k~AtnI
4v>SXch
建模任务
! 7V>gWhR
47(_5PFb#
xGyl7$J
概观
#W8F_/!n|
B`)sc ~u
e1XKlgl
光线追迹仿真
<xSh13<
GXm#\)
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。
/[lEZ['^
A-L1vu;
•点击Go!
&Ih }"
•获得3D光线追迹结果。
@8{8|P
6h5g!GQD
muXP5MO
\mLEwNhRY
光线追迹仿真
nGWy4rY2S
vfn[&WN]
pf'DbY!
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。
##''d||u
•单击Go!
{Zv%DV4_$
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
9Vq
rAtCG1Vr
kjPf%*3
@{RhO|UR
场追迹仿真
tvf.K+
>Z*b0j
]e-QNI
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。
>n/0od9
•单击Go!
0kCo0{+n
(PH7nW7
8F<|.V;
3pML+Y|ij
场追迹结果(摄像机探测器)
pjS##pgVq
e;~(7/1
Y*pXbztP
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。
lIEZ=CEmY
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。
+JG05h%'
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。
g&$5!ifgi
q&[G^9
2k=|p@V n~
1H.;r(c
场追迹结果(电磁场探测器)
,F->*=
hj"JmF$m
7;@YR
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
!Z>,dN
J V}7c$_
NG3:=
文件信息
q]f7D\ M
?r(vXq\
jtfC3E,U
c{to9Lk.#
Q'cWqr
QQ:2987619807
*`qI<]!
查看本帖完整版本: [--
高NA物镜聚焦的分析
--] [--
top
--]
Copyright © 2005-2026
光行天下
蜀ICP备06003254号-1
网站统计