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infotek 2020-08-27 09:30

高NA物镜聚焦的分析

摘要 oh#> 5cA8  
[ B0K  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 CiL94Nkd9  
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建模任务 -qebQv  
fj 4^VXD  
{BO|u{C  
概观 1Qh`6Ya f  
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光线追迹仿真 sg'NBAo"  
(Btv ClZ  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 RP(/x+V  
@ERu>nSP  
•点击Go! IbWPlbH  
•获得3D光线追迹结果。 L8V3BH7B  
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光线追迹仿真 -{9Gagy2&  
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[BBpQN.^q6  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 dALK0U  
•单击Go! 9.0WKcwg  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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H/+{e,SW"  
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场追迹仿真 eO{@@?/y  
4^O w^7N?  
8mgQu]>  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 '@:[axu  
•单击Go!
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WL\^F#:  
场追迹结果(摄像机探测器) fW~*6ln  
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 O3!d(dY=_  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 u3Do~RyL[  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 8Inx/>eOI  
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场追迹结果(电磁场探测器) \n@V-b  
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8X~h?^Vz  
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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文件信息 \Hs|$   
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QQ:2987619807 v[D&L_  
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