首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题
光行天下 -> FRED,VirtualLab -> 高NA物镜聚焦的分析 [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

infotek 2020-08-27 09:30

高NA物镜聚焦的分析

摘要 +6+!M_0wA  
<t)D`nY\  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 UsBtk  
!(-S?*64l  
pZO`18z  
;PF!=8dW  
建模任务 pG(%yIiAi  
,]qTJ`J  
9|9Hk1  
概观 x,>r}I>^Q  
Y> f 6  
Y76UhtYH  
光线追迹仿真 92)e/t iP  
~Bs=[TNd[  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 C lekB  
Fi_JF;  
•点击Go! j1U,X  
•获得3D光线追迹结果。 1.y|bB+kB  
!e0~|8  
'Z=8no`<  
=TG[isC/F9  
光线追迹仿真 hRKA,u/G  
^i!6q9<{e  
j65qIw_Z  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 A6# 5 z  
•单击Go! ^P !} "  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
L! DK2,  
vS_Ji<W~E  
ae`6hW2  
+ZK12D}  
场追迹仿真 )T26 cT$  
G>yTv`-  
oUG!=.1}K5  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 SWrP0Qjc  
•单击Go!
`bx}!;{lx  
z c7P2@  
NwPC9!*  
` $N()P  
场追迹结果(摄像机探测器) ,U^V]jC  
!<2%N3l  
:]g>8sWL  
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 Tz{f 5c&  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 V$';B=M  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 @K:TGo,%I  
@+P7BE}  
ueD_<KjE=  
s2rwFj8 |  
场追迹结果(电磁场探测器) y2:~_MD  
fce~a\y0  
J;AwC>N  
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
>azTAX6L3  
f7_EqS=(  
6)_svtg  
文件信息 ./# F,^F2  
K~DQUmU@  
RAps`)OR?  
VA^yv1We  
N=[# "4I  
QQ:2987619807 ndCHWhi  
查看本帖完整版本: [-- 高NA物镜聚焦的分析 --] [-- top --]

Copyright © 2005-2025 光行天下 蜀ICP备06003254号-1 网站统计