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infotek 2020-08-27 09:30

高NA物镜聚焦的分析

摘要 #tV1?q  
" aG6u^%  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 <wS J K  
P*&[9 )d6  
?\Z pVL<>  
Qf~>5(,h  
建模任务 nqy*>X`  
 R0Vt_7  
6&$.E! z  
概观 4t[7lL`Z  
`]5qIKopL  
*p(_="J,  
光线追迹仿真 I/(U0`%  
JK! (\Ae.  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 )k(K/m  
9Vt ^q%DC  
•点击Go! G=cRdiy`C  
•获得3D光线追迹结果。 x {NBhq(4  
PLz{EQ[cV  
ZO%^r%~s  
nq!=9r  
光线追迹仿真 bL7Gkbs&|  
HgY@M  
4!/QB6  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 p:xyy*I  
•单击Go! 1?.CXq K  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
":/c|!  
+Csb8  
ClKWf\(ii6  
T ~xVHk1  
场追迹仿真 $V87=_}  
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Zv %>m  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 B!+c74  
•单击Go!
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0cmd +`  
A"7YkOfwH  
场追迹结果(摄像机探测器) p6j-8ggL  
A-r;5?S  
Ar>B_*dr  
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 9?\cm}^?  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 *)Pm   
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 Vo"G@W)lZ  
+t,b/K(?]  
j55_wx@cA  
xdO3koE:  
场追迹结果(电磁场探测器) }5fd:Bm;  
iFUiw&  
o+|>D&CW%  
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
[k 7HLn)  
w,IJ44f ^%  
;> 7~@ K  
文件信息 ft/k-64  
N_g=,E=U%  
GSRf/::I}4  
 GAfc9  
7Q!ksp  
QQ:2987619807 jga; q  
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