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infotek 2020-08-27 09:30

高NA物镜聚焦的分析

摘要 'y3!fN =h  
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高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 <<R*2b  
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建模任务 W]5w \  
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概观 _8_R 1s  
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光线追迹仿真 DX K?Cv71z  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 T <ET )D7  
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•点击Go! 76h ,]xi  
•获得3D光线追迹结果。 J,y[[CdH`  
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光线追迹仿真 'op|B@y  
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•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 XXn67sF/  
•单击Go! R3&Iu=g  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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场追迹仿真 7/@TF/V  
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•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 ~^fZx5  
•单击Go!
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场追迹结果(摄像机探测器) 9u}Hmb  
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 Tc`=f'pP)4  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 EF}\brD1  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 V/ uP%'cd  
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场追迹结果(电磁场探测器) q"sed]  
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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文件信息 j8{i#;s!"  
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QQ:2987619807 ju8q?Nyhs  
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