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用于光刻机照明均匀化的微柱面镜阵列设计
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991518
2020-08-24 23:33
用于光刻机照明均匀化的微柱面镜阵列设计
摘要：均匀照明是投影光刻机中实现光刻线条高度均一性的重要条件。采用微透镜阵列作为照明匀光器件，能够 在实现矩形照明光斑的同时获得极高的远场分布均匀性。基于微透镜阵列现有的加工工艺，设计出二维方向分开 的柱面微透镜阵列，并通过优化设计，克服了微透镜之间的接缝在远场光场处产生的中心亮线。仿真分析表明，所 设计的微透镜阵列的远场分布不均匀性达到0.85％。
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关键词：几何光学；微柱面镜阵列；光学设计；照明均匀性
optifdtd
2020-08-25 08:03
学习了解。。。。。。
ruanpeiz
2020-08-27 14:25
好东西 学习一下
ruanpeiz
2020-08-27 14:26
感谢 感谢
jiatong
2020-08-29 16:02
感谢！
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wuyy1227
2020-08-31 20:57
学习了！
lzj421223
2020-09-02 18:12
学习了！！！谢谢
hale1987
2020-09-08 15:53
感谢！
寒夜
2020-09-09 23:20
谢谢分享。
居安思危
2020-09-10 07:39
感谢，好东西，学习一下
godhsu
2020-09-10 09:44
学习一下
白万涛
2020-09-11 10:23
好东西，学习学习
lyhgod
2020-09-11 14:10
了解一下
铩羽lv
2020-09-13 21:02
感谢分享，学习一下
姜月
2020-09-14 11:26
看一下，学习学习
T~%}(0=m
liuwei_fr
2020-09-15 19:27
很好 好好学习一下
caprishan
2020-09-16 14:46
好东西 学习一下
#rL%K3'
木子笑月
2020-12-26 17:42
学习了！！
火车污污
2020-12-28 13:19
学习了学习了
mmgg998
2021-06-06 16:29
感谢，好东西，学习一下
looksea2015
2021-06-08 16:19
好东西 学习
wangjiaqii
2021-07-19 14:57
太好了，感谢分享！！！
傅里叶的光
2021-07-21 14:15
谢谢楼主分享
strollee
2021-07-22 14:13
学习看看
wap403
2022-03-31 15:55
谢谢分享，观摩一下
sucre_bonbon
2022-06-16 10:03
不错，学习一下
远山和叶
2022-06-19 14:09
学习一下
zycxjl
2022-06-19 20:56
看看，高科技。
yinglove
2022-06-22 13:53
这个加工好做吗
王教主
2023-03-14 13:49
感谢，好东西，学习一下
liyujin1118
2023-05-15 11:31
学习学习
向光而行nano
2023-05-17 12:07
学习一下，谢谢
吃个菠萝油
2023-07-11 15:37
学习了解下
liulin666
2023-07-12 08:45
光刻机照明均匀化微柱面镜阵列设计
youchaol
2023-09-18 14:02
十分感谢，希望继续多分享！！！
aliez
2023-10-25 10:37
学习了，感谢！
dyyp
2023-11-09 09:18
感谢楼主分享
谭健
2023-11-09 10:56
学习了解
祖传老中医
2023-11-09 13:44
正要学习
ioash
2024-03-22 13:28
学习了解下
liying
2024-03-27 15:33
正好最近在研究微透镜
D BDHe-1[+
w789866755
2024-03-28 16:12
感谢 感谢
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