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光迹	2020-08-22 09:21
滤光片镀膜后出现发雾状况昨天在群里看到有同行发了一个问题，650的短波通滤光片，镀膜后发现有发雾；工艺条件：加温110℃，TIO2/SIO2搭配；可能信息有点少，有没有哪位同行之前遇到过这种问题的，望分享一下经验。

ouyuu	2020-08-23 01:45
温度，真空度，离子源能量相关。 '9S8}q 离子源能量越高越好，真空度越高越好，温度要慢慢试

tony肖	2021-06-23 20:51
和温度有很大关系

gaofei555	2022-06-20 14:57
充氧量

奔跑的小骏马	2022-06-21 18:15
有没有用离子源？发雾主要是氧化钛的工艺问题，吸收大了导致发雾。速率、充氧、离子源功率（用离子源情况下）

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