利用迈克尔逊干涉仪和傅里叶变换光谱法测量相干性

摘要

在干涉仪中，条纹的对比度可能取决于光源的相干特性。例如，在具有一定带宽的光源的迈克尔逊干涉仪中，干涉条纹对比度随光程差的不同而变化。通过测量可动镜不同位置的干涉图对比度，可以得到光源的相干长度。典型的傅里叶变换光谱通常基于这种类型的光路。

建模任务

横向干涉条纹——50 nm带宽

横向干涉条纹——100 nm带宽

逐点测量

VirtualLab概览

VirtualLab Fusion的工作流程
• 设置入射高斯场
- 基本光源模型
• 设置元件的位置和方向
- LPD II：位置和方向
• 设置元件的非序列通道
- 用于非序列追迹的通道设置

VirtualLab技术

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