应用于投影光刻离轴照明的自由曲面设计

摘要：离轴照明是现代投影光刻中的一种重要的分辨率增强技术。针对不同的照明模式要求，提出了一种利用自由曲面来实现离轴照明的方法。根据入射面和目标面之间的坐标拓扑和能量守恒关系，利用数值求解法得出自相应的折射式自由曲面并对结果进行模拟，分别设计了环形、二极和四极照明，照明效率均达到90%以上，照明均匀性均优于93%。结果表明，可以满足193nm投影光刻照明系统的设计要求。

关键词：光学设计；自由曲面；投影光刻；分辨率增强；照明；光束整形

ttb2016	2020-08-05 23:08
感谢分享！

anti	2020-08-09 09:26
谢谢楼主分享，最近在设计光固化光路，很值得学习

sgq123	2020-09-22 10:13
谢谢楼主分享，，很值得学习

chenfeng1205	2020-11-09 11:46
学习学习

果冻ssr	2020-11-10 11:11
自由曲面资料太少了 K3'`!Ka*

火车污污	2020-12-28 13:20
谢谢分享

daxingyang	2021-01-26 10:40
光行天下的干货是越来越多了

阿伟不熬夜	2021-10-21 16:06
数值求解方法和种子曲线扩展方法，两者有什么区别呢

煮酒品春秋	2023-01-13 09:39
谢谢楼主分享

1039390270	2023-02-25 14:15
谢谢楼主分享

chengzheng	2023-04-20 16:42
感谢分享！

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