| 米格实验室 |
2020-08-01 15:47 |
4寸、6寸低应力介质膜代工服务上线（LPCVD）
1. LPCVD简介 "'!%};
cvUut^CdK
LPCVD--Low PressureChemical Vapor Deposition低压力化学气相沉积，是化学气相沉积中的一种，LPCVD拥有很均匀的阶梯覆盖性、很好的组成成分和结构的控制、高的output（通常一次可以生长50pcs甚至更多），另外LPCVD不需要载气，因此大大降低了颗粒的污染； v"r9|m~ '
在半导体制程中，采用低压的目的是减小自掺杂（来自衬底本身的杂质），而这正是常压CVD面临的主要问题，LPCVD可以很好的解决这一问题。 _ML~c&9jv
48 CI8[T
2. LPCVD一般工艺流程 aGe(vQPi9
V`\f+Uu
装片——进舟——反应腔室抽真空——充N2吹扫并升温——再抽真空——保持压力稳定后process——关闭气体并重新抽真空——充N2至常压——取片。 t\pK`DM-[
|
|