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光迹 2020-07-28 17:54

如何调节脉冲偏压降低或者消除产品冶具起弧

在镀绝缘膜层时,产品冶具起弧,烧伤膜层。设备配置了脉冲偏压(工艺条件:-40V,频率50KHZ,脉宽5微秒,反向偏压10V),希望有了解的 同行指点一下,谢谢。[attachment=102278] 8]cv&d1f  
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光迹 2020-07-28 17:56
工艺条件里面是反向偏压10V,打错字了
a013109425 2020-09-04 08:41
66666666666666
duancm9 2020-09-04 09:28
学到了
wflney 2020-09-04 21:33
学习学习
ouyuu 2020-09-08 01:14
什么机台,什么配置?蒸镀机还是溅射机?电子枪还是阻蒸或者是离子镀???
光迹 2021-03-01 00:08
ouyuu:什么机台,什么配置?蒸镀机还是溅射机?电子枪还是阻蒸或者是离子镀??? (2020-09-08 01:14)  UijuJ(Tle  
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磁控溅射,搭配直流脉冲偏压电源和HIPIMS高脉冲电源
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