| 探针台 |
2020-07-24 14:29 |
芯片失效分析实验室经验
_O}m0c 芯片行业是信息技术产业的核心,是支撑经济社会发展和保障国家安全的战略性、基础性和先导性产业。芯片失效分析实验室,配备了国外先进的等离子蚀刻机(RIE)、光学显微镜、电子显微镜(SEM)和聚焦离子束机(FIB)等设备,满足各项失效分析服务的要求。 * F%1~ 公司拥有一套完善的失效分析流程及多种分析手段,全方位保证工程质量及项目文件的准确无误。 b@CjnAZ BSMb(EnqX 失效分析流程: J>v[5FX+ 1、外观检查,识别crack,burnt mark等问题,拍照。 vSHPN|* 2、非破坏性分析:主要用xray查看内部结构,csam—查看是否存在delamination {`D]%eRO 3、进行电测。 *1EmK.-'u 4、进行破坏性分析:即机械机械decap或化学decap等 O(I^:_eH b3%x&H<j 常用分析手段: iQ" LIeD 1、X-Ray 无损侦测,可用于检测 i!2k f * IC封装中的各种缺陷如层剥离、爆裂、空洞以及打线的完整性 CaZc{ * PCB制程中可能存在的缺陷如对齐不良或桥接 ^"7-`<J * 开路、短路或不正常连接的缺陷 z"
tz-~ * 封装中的锡球完整性 tn$TyCzckW 2、SAT超声波探伤仪/扫描超声波显微镜 DyqqY$ vH( 可对IC封装内部结构进行非破坏性检测, 有效检出因水气或热能所造成的各种破坏如﹕ B]tj0FB`-* 晶元面脱层 cRs.@U\{R\ 锡球、晶元或填胶中的裂缝 ]AA|BeL?| 封装材料内部的气孔 oIO@# 各种孔洞如晶元接合面、锡球、填胶等处的孔洞 {xg=Ym) 3、SEM扫描电镜/EDX能量弥散X光仪 ?Ojv<L-f.: 可用于材料结构分析/缺陷观察,元素组成常规微区分析,精确测量元器件尺寸 B{=DnB6 4、常用漏电流路径分析手段:EMMI微光显微镜 EMMI微光显微镜用于侦测ESD,Latch up, I/O Leakage, junction defect, hot electrons , oxide current leakage等所造成的异常。 'nPI
zK<v 5、Probe Station 探针台/Probing Test探针测试,可用来直接观测IC内部信号 C5^WJx[ 6、ESD/Latch-up静电放电/闩锁效用测试 2z{B 7、FIB切点分析 ?jz\[0)s 8、封装去除 JYWoQ[ZO#> 先进的开盖设备和丰富的操作经验,能够安全快速去除各种类型的芯片封装,专业提供芯片开盖与取晶粒服务。
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