探针台 |
2020-07-24 14:29 |
芯片失效分析实验室经验
VBL4cU8D 芯片行业是信息技术产业的核心,是支撑经济社会发展和保障国家安全的战略性、基础性和先导性产业。芯片失效分析实验室,配备了国外先进的等离子蚀刻机(RIE)、光学显微镜、电子显微镜(SEM)和聚焦离子束机(FIB)等设备,满足各项失效分析服务的要求。 `CVkjLiy 公司拥有一套完善的失效分析流程及多种分析手段,全方位保证工程质量及项目文件的准确无误。 J~5V7B F
`o9GLxM} 失效分析流程: U)8yd,qG[% 1、外观检查,识别crack,burnt mark等问题,拍照。 Mm@G{J\\ 2、非破坏性分析:主要用xray查看内部结构,csam—查看是否存在delamination Z|E9}Il] 3、进行电测。 VH]}{i"` 4、进行破坏性分析:即机械机械decap或化学decap等 !vf:mMo _dm0*T ? 常用分析手段: Z>`\$1CI 1、X-Ray 无损侦测,可用于检测 Bn]=T * IC封装中的各种缺陷如层剥离、爆裂、空洞以及打线的完整性 i=#`7pt%'a * PCB制程中可能存在的缺陷如对齐不良或桥接 ~".@mubt1$ * 开路、短路或不正常连接的缺陷 cRf F!EV * 封装中的锡球完整性 6
^3RfF^W 2、SAT超声波探伤仪/扫描超声波显微镜 [bHm-X] 可对IC封装内部结构进行非破坏性检测, 有效检出因水气或热能所造成的各种破坏如﹕ ^Ye(b7Gd 晶元面脱层 sg7h&<Xx 锡球、晶元或填胶中的裂缝 9\.0v{&v 封装材料内部的气孔 N-upNuv 各种孔洞如晶元接合面、锡球、填胶等处的孔洞 62HA[cr&) 3、SEM扫描电镜/EDX能量弥散X光仪 wL8ji>" 可用于材料结构分析/缺陷观察,元素组成常规微区分析,精确测量元器件尺寸 T MMKRC1< 4、常用漏电流路径分析手段:EMMI微光显微镜 EMMI微光显微镜用于侦测ESD,Latch up, I/O Leakage, junction defect, hot electrons , oxide current leakage等所造成的异常。 INr1bAe$ 5、Probe Station 探针台/Probing Test探针测试,可用来直接观测IC内部信号 \eKXsO"d 6、ESD/Latch-up静电放电/闩锁效用测试 gw"cXny 7、FIB切点分析 Hq}g1?b 8、封装去除 R/v|ZvI 先进的开盖设备和丰富的操作经验,能够安全快速去除各种类型的芯片封装,专业提供芯片开盖与取晶粒服务。
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