探针台 |
2020-07-24 14:29 |
芯片失效分析实验室经验
IB|]fzy 芯片行业是信息技术产业的核心,是支撑经济社会发展和保障国家安全的战略性、基础性和先导性产业。芯片失效分析实验室,配备了国外先进的等离子蚀刻机(RIE)、光学显微镜、电子显微镜(SEM)和聚焦离子束机(FIB)等设备,满足各项失效分析服务的要求。 /dDzZ%/@ 公司拥有一套完善的失效分析流程及多种分析手段,全方位保证工程质量及项目文件的准确无误。 y@wF_WX2 Iwpbf Z 失效分析流程: )h^NR3N 1、外观检查,识别crack,burnt mark等问题,拍照。 G*\h\@ 2、非破坏性分析:主要用xray查看内部结构,csam—查看是否存在delamination P=H+ # 3、进行电测。 CDp8)=WJFF 4、进行破坏性分析:即机械机械decap或化学decap等 ,PWj_}|L[ &!35/:~uD 常用分析手段: !6w{(Rc(C 1、X-Ray 无损侦测,可用于检测 N*DhjEU)[ * IC封装中的各种缺陷如层剥离、爆裂、空洞以及打线的完整性 '9J|=z9. * PCB制程中可能存在的缺陷如对齐不良或桥接 ^^(<c,NX#M * 开路、短路或不正常连接的缺陷 5eX59:vtl * 封装中的锡球完整性 `dJDucD 2、SAT超声波探伤仪/扫描超声波显微镜 gUB{Bh($Y 可对IC封装内部结构进行非破坏性检测, 有效检出因水气或热能所造成的各种破坏如﹕ }iIbcA 晶元面脱层 ]#< 锡球、晶元或填胶中的裂缝 S:Tm23pe 封装材料内部的气孔 T`$KeuL 各种孔洞如晶元接合面、锡球、填胶等处的孔洞 #Nte^E4 3、SEM扫描电镜/EDX能量弥散X光仪 2r];V'r 可用于材料结构分析/缺陷观察,元素组成常规微区分析,精确测量元器件尺寸 G5Q!L;3HZ 4、常用漏电流路径分析手段:EMMI微光显微镜 EMMI微光显微镜用于侦测ESD,Latch up, I/O Leakage, junction defect, hot electrons , oxide current leakage等所造成的异常。 8o)L,{yl 5、Probe Station 探针台/Probing Test探针测试,可用来直接观测IC内部信号 .9LL+d 6、ESD/Latch-up静电放电/闩锁效用测试 +zWrLf_Rc 7、FIB切点分析 6kvV 8、封装去除 EaS~` 先进的开盖设备和丰富的操作经验,能够安全快速去除各种类型的芯片封装,专业提供芯片开盖与取晶粒服务。
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