F-Theta扫描透镜的性能评估

摘要

在激光扫描系统中，F-Theta镜头通常被设计用于提供高性能。使用此类透镜，在目标平面上的聚焦点位移与焦距和扫描角度的产生成正比。这使得它们成为基于Galvo扫描器的激光材料处理系统的标准镜头。在VirtualLab Fusion中扫描源的帮助下，通过测量实际光斑位置与期望值之间的偏差和不同角度下光斑的大小，分析了给定F-Theta透镜的性能。

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性能评估——光斑直径测量 Mko,((>I1
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性能评估——光斑位置偏差 @V@<j)3P
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VirtualLab Fusion的工作流程

 从Zemax OpticStudio®导入透镜系统
- 从Zemax导入光学系统 [用例]

 分析实际透镜系统的成像性能
- 分析高NA物镜聚焦 [用例]

 利用参数运行检查不同参数的影响
- 参数运行文档的使用 [用例]

VirtualLab Fusion技术

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