首页
->
登录
->
注册
->
回复主题
->
发表主题
光行天下
->
光学薄膜设计,工艺与设备
->
蒸发镀膜都有哪些膜料要预融或者充氧镀的
[点此返回论坛查看本帖完整版本]
[打印本页]
小学僧
2020-07-05 22:49
蒸发镀膜都有哪些膜料要预融或者充氧镀的
蒸发镀膜都有哪些膜料要预融或者充氧镀的，大神说一下！
小学僧
2020-07-05 22:50
五氧化三钛怎么镀的
yzhuang
2020-08-10 23:24
一般氧化物都充一点，包括sio2，不过会失氧多一些的ti3o5等充氧量大一些
cc327
2020-08-20 22:12
小学僧
:
五氧化三钛怎么镀的
(2020-07-05 22:50)
;I}' }
zI^]esX!2_
需要充氧
ouyuu
2020-08-23 01:46
氧化物最好都充氧。
shunzi130
2020-10-10 11:11
充60-70sccm
ouyuu
2020-10-10 17:26
镀膜并不是以分子形式，而是以单独原子的方式蒸发的。
v4rW2F :X
不同原子的质量不同，蒸发速度和运动角度也不一样。
5G[x }4U
所以在蒸发早期或者末期，还有大角度区域，可能会发生氧不足的情况。
9CJ(Z+;OM
（氧多余会变成气体蒸发掉，所以不存在氧多余的情况）
w##^}nHOR
这时候适当补充氧气，可以补足缺失的氧，使得薄膜性质稳定。
tony肖
2021-06-24 19:13
氧化物建议充氧
alienware
2021-10-25 17:01
谢谢学习下
z.36;yT/
谢谢
菩提树下
2024-04-14 15:10
用PVD，通氧气和氩气镀膜
k()$:-V
查看本帖完整版本: [--
蒸发镀膜都有哪些膜料要预融或者充氧镀的
--] [--
top
--]
Copyright © 2005-2025
光行天下
蜀ICP备06003254号-1
网站统计
