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小学僧	2020-07-05 22:49
蒸发镀膜都有哪些膜料要预融或者充氧镀的蒸发镀膜都有哪些膜料要预融或者充氧镀的，大神说一下！

小学僧	2020-07-05 22:50
五氧化三钛怎么镀的

yzhuang	2020-08-10 23:24
一般氧化物都充一点，包括sio2，不过会失氧多一些的ti3o5等充氧量大一些

cc327	2020-08-20 22:12
小学僧:五氧化三钛怎么镀的 (2020-07-05 22:50) kxIF#/8 9x9T<cx 需要充氧

ouyuu	2020-08-23 01:46
氧化物最好都充氧。

shunzi130	2020-10-10 11:11
充60-70sccm

ouyuu

2020-10-10 17:26

镀膜并不是以分子形式，而是以单独原子的方式蒸发的。
不同原子的质量不同，蒸发速度和运动角度也不一样。
所以在蒸发早期或者末期，还有大角度区域，可能会发生氧不足的情况。
（氧多余会变成气体蒸发掉，所以不存在氧多余的情况）
这时候适当补充氧气，可以补足缺失的氧，使得薄膜性质稳定。

tony肖	2021-06-24 19:13
氧化物建议充氧

alienware	2021-10-25 17:01
谢谢学习下 ;~ $'2f~U 谢谢

菩提树下	2024-04-14 15:10
用PVD，通氧气和氩气镀膜 lc1(t:"[

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