如何分析部分干涉成像系统（光刻机成像系统）

如何分析部分干涉成像系统（光刻机系统）

在光刻应用中，所使用的光源不是完全相干的，如何在晶片上分析部分相干成像系统中的掩模?
在这里给大家分享一个案例，希望可以帮到大家。


这里是一步一步的如何在ZEMAX 中操作：https://sot.com.sg/coherent-imaging/

这里是案例的ZEMAX 文件：备注：我用的ZEMAX 是20年版本，如果您版本过低，可能无法正常打开，请谅解！

如果不能打开文件，请告知我，我转发给你。

回帖是对我分享的一个鼓励，谢谢回帖！

天蓝色3230	2020-06-29 22:16
感谢分享！

vurtne_000	2020-06-30 21:58
感谢分享！

17310581236	2020-07-03 16:53
感谢分享 l9ifUhe

huangyang	2020-07-08 14:46
呦西呦西

woshiyiyun	2020-07-20 21:09
好东西谢谢

xxma94	2020-07-27 01:01
谢谢分享学习学习 tZNad

木子示羊	2020-07-27 09:17
感谢分享

bluelalal	2020-07-28 14:42
哇偶，正好需要 u'~b<@wHB

sxwpdpd	2020-08-03 16:33
学习一下，学做尚光人。 Z'EO

sxwpdpd	2020-08-03 16:36
优秀资料，加分！

刚卓	2020-08-06 22:27
感谢分享！

刚卓	2020-08-06 22:27
正好需要

楚静竹	2020-08-07 11:56
猎奇一下

bairuizheng	2020-08-07 13:15
学习一下

光学小新手	2020-10-30 16:45
感谢分享，学习了解 ^0ZKHR(}e

focust	2020-12-26 10:17
下下来学习一下

anansiyu	2020-12-27 00:27
学习一下呢

wap403	2021-10-20 19:48
很难得的资料，一定要看看

不及芙蓉	2021-12-19 14:21
感谢楼主

tongtai668	2022-05-20 21:20
想和楼主学习

光学辉	2022-07-31 13:31
感谢分享

asdfr	2022-07-31 17:22
感谢分享

oxfocean	2022-10-19 09:21
想了解一下

06benn	2022-11-16 10:17
谢谢楼主

闫祥龙	2023-02-09 17:08
学习学习

currichard	2023-03-31 10:11
光刻新人学习学习

liyujin1118	2023-05-15 11:32
感谢分享

啊呦呦咿呀	2024-01-16 15:55
学习并看看

zizulj	2024-01-17 17:18
啥东西

ronehwa	2024-08-21 09:22
let us learn photolithography design.

z6hong	2026-07-03 17:32
学习学习

lilychou	2026-07-04 10:17
https://sot.com.sg/coherent-imaging/ 大佬这个链接打不开，在光刻系统里为什么会有相干部分呢？我们如何评价这部分呢？

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