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cyqdesign 2020-06-01 23:03

《薄膜光学与薄膜技术基础》

《薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 3\jcq@N  
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目录 ^E3i]Oem  
第一篇 薄膜元学基本理抢 PRE\ 2lLY  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 )mVpJYt;  
1.1 麦克斯韦方程 1 4Cdl^4(LT  
1.2 平面电磁波 6 `K^j:fE7n  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 Y uo  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 ADQ#qA,/  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 Y$SwQ;wl  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 :UgCP ~Y  
1.4 电磁波谱、光谱 10 R%Y#vUmBV{  
习题 12 JM-rz#;1  
参考文献 12 M >BcYbXf  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 CkJ\v%JAW  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 ]VU a $$  
2.1.1 S波反射与透射 14 C3p/|{TP  
2.1.2 P波反射与透射 16 yj48GQP]  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 i$:\,  
2.2.1 S 波反射与透射 18 ,`ZIW  
2.2.2 P 波反射与透射 20 Kq*D_Rh2  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 rcWr0q  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 .^%!X!r  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 (IY= x{b  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 M!e$h?vB  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 (t\ F>A  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 >pV|c\  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 U%~L){<V[  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 ,,-g*[/3  
2.5.2 全透射 37 ATb[/=hP<R  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 C {GSf`D!T  
2.6 反射率和透射率 39 0Q1s JDa.  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 8"\g?/  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 [e:mRMi  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 ZKv^q%92  
习题 44 UF)4K3X  
参考文献 44 BrQXSN$i  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 P ;#}@/E  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 smM*HDK  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 ; iK9'u  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 :i4>&4j  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 f;k'dqlv  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 ~HH#aXh*  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 :$`"M#vMX  
3.4.1 一阶近似 62 k>8,/ AZd  
3.4.2 二阶近似 63 DhL]\ 4  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 _FET$$>z N  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 ;&N;6V"}  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 MU; L7^  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 `zjEs8`'  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 R0n# FL^E  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 BihXYux*  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 j(`L)/|O  
习题 79 @} 61D  
参考文献 79 MMpGI^x!-X  
第4章 膜系设计图示法 81 F|3 =Cl  
4.1 矢量法 81 q5irKT*Hs  
4.2 导纳图解法 87 1HF=,K+  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 ?~;8Y=O  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 .7ZV: m  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 =c-,uW11[  
4.3 金属膜导纳圆图 97 *)V1Sd#m  
4.4 膜系层间电场分布 99 Z>)(yi9+  
习题 100 Hvn{aLa.  
参考文献 101 zF6]2Y?k%  
第二篇 光学等膜分类反应用 >&|C E2'  
第5章 增透膜 102 JO4rU- n  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 &gn^i!%Z)  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 VPB,8zb ]  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 8u,f<XHi"a  
5.4 均匀介质增透膜 107 #)aUKFX  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 e%(,)WlTaU  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 ?]`kc  
5.5 非均匀介质增透膜 113 V Q6&7@ c  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 3aL8 gE  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 Fu*~{n  
习题 118 .kl _F7  
参考文献 118 DA5kox&cU  
第6章 高反射膜 120 rpk )i:k\  
6.1 反射镜组合的反射率 120 1N#KVvK  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 nMK,g>wp  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121  [>IAS>  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 ;TAf[[P  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 m"{D}(TA  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 73kF=*m  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 Jl-Lz03YG  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 w&eX)!  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 )Q_^f'4  
6.8 金属反射镜 134 Q3t9J"=1g  
6.8.1 常用金属反射镜 134 <+1d'VQ2  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 w`kn!k8  
6.9 影响反射特性的因素 137 y#'|=0vTvP  
6.10 高反射镜应用实例 143 "t4$%7L]  
6.10.1 激光高反射镜 143 ^Z:oCTOP  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 0] 'Bd`e  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 !2)$lM1@J  
习题 146 NuLyu=.?  
参考文献 146  6j FD|  
第7章 带通滤光片 149 Hshm;\'  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 9o|=n'o  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 !ejLqb  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 2|xNT9RW  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 O@@=ZyYwc  
7.3.2 膜系透射定理 153 '%@fW:r~  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 B|Y6;4?  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 "XWrd [Df  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 ?U~9d"2=  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 _5F8F4QY`  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 uyt]\zVT  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 Zrtyai{8l  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 <r_L-  
7.5 超窄带带通滤光片 183 g$c\(isY;  
7.6 宽带带通滤光片 185 t(-`==.R  
7.7 带通滤光片的角特性 186 0ZY.~b'eu  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 >z'kCv  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 xXpeo_y'  
习题 193 N? r{Y$x  
参考文献 193 C]ev"Am_)  
第8章 截止滤光片 196 G j6(ycaS  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 UADD 7d  
8.2 吸收型截止滤光片 197 %F'*0<  
8.3 干涉型截止滤光片 198 %?gh;? GD  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 *.X!AJ;M=O  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 Zi&qa+F  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 *~~&*&+  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 |{ E\ 2U  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 M_wqb'=  
8.3.6 截止带的展宽 210 dg9 DBn#  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 ]?n)!u  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 _^+z2m+ ~N  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 {\!_S+}{  
习题 221 }bQqln)#  
参考文献 221 XG]ltSOy  
第9章 带阻滤光片 223 AV"fOK;#A  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 Xr54/.{&@  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 DYS|"tSk  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 %A@Q%l6  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 's.%rre%  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 iNn]~L1  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 2b|$z"97jj  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 .VFa,&5;3  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 N*~G ]  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 Z^AOV:|m  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 ZeVb< g  
习题 241 MdzG2uZT  
参考文献 241 A#:5b5R  
第10章 分光镜 243 Ij+ E/V  
10.1 中性分光镜 243 @<$-*,  
10.1.1 金属膜中性分光 244 mK!73<p_  
10.1.2 介质膜中性分光 245 O>Y Xvu  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 wYxnKm~f  
10.2 双色分光镜 249 *XRAM.  
10.3 偏振分光 254 9|Z25_sS  
10.3.1 偏振特性的描述 254 Ku6bY|  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 9$-V/7@)  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 8*sZ/N.  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 y'ZRoakz)  
10.4 消偏振分光 262 W0vdU;?%  
10.4.1 偏振分离的描述 263 =yn|.%b  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 a@[y)xa$Z  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 5v51:g>c  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 +bi%4DA  
10.5 分光中的消色差问题 280 x1\ a_Kt  
习题 281 y:TLGQ0  
参考文献 282 i qCZIahf  
第二篇 薄膜扶术基础 seT?:PCA  
第11章 薄膜制备技术 283 cN/8 b0C  
11.1 真空技术简介 283 3GkVMYI  
11.1.1 真空的基本知识 283 4~<  :Pj  
11.1.2 真空的获得 284 F8(6P1}E  
11.1.3 真空的测量 286 Ol8ma`}Nq3  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 577H{;pW  
11.2.1 蒸镀法 289 [12^NEt  
11.2.2 溅射法 300 SKx&t-  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 ~HbZRDcJc  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 q$[x*!~  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 fD8A+aA  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 P4vW.|@  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 0QE2e'}}-  
11.3.5 光化学气相沉积 310 s`2Hf&%aZJ  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 S|U/m m  
11.3.7 原子层沉积 312 ;x.xj/7  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 HtWuZq; w  
11.4.1 化学镀 313 (h NSzG\  
11.4.2 阳极氧化法 314 <a@'Pcsk  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 vM5u]u!  
11.4.4 电镀 315 :Gyv%> .  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 Z!Y ^iN  
11.5 光刻蚀 316 '5V2{k$4U  
11.5.1 光刻工艺 316 2=pVX  
11.5.2 光刻胶 317 +we3BE.  
11.5.3 掩模 318 B2UQO4[w  
11.5.4 曝光 318 R8 1z|+c|_  
11.5.5 刻蚀方法 318 b[<Q_7~2  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 *M*:3 v 0  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 s_} 1J,Y  
习题 323 $i@~$m7d-  
参考文献 324 E}S)uI,gn  
第12章 光学薄膜检测技术 326 Y }*[Krw  
12.1 光谱分析技术基础 326 F?]nPb|  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 tWkD@w`Lnn  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 [ F id  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 HbWl:yU  
12.2.1 透射率测量 333 SWujj,-[  
12.2.2 反射率测量 334 #S+GI!  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 Q>y2C8rnJ/  
12.3.1 吸收测量 338 SooSOOAx[  
12.3.2 散射测量 342 Vw7NLTE}`  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 S?.2V@Ic  
12.4 光学薄膜常数测量 347 (dO, +~  
12.4.1 光度法 348 ]<D9Q>  
12.4.2 全反射衰减法 354 9)={p9FZY  
12.4.3 椭圆偏振法 357 7T \}nX1  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 IZ /Md@C  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 {3Z&C$:s  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 RH+3x7 l  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 fDo )~t*~  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 $0rSb0[  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 ,]e!OZ[$m  
12.6.1 薄膜微结构 368 |1`|E- S=  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 1X\dH<B}  
12.6.3 雕塑薄膜 372 |n-NK&Y(o  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 Q8.SD p  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 !$ikH,Bh  
Lc;4 Hg  
cyqdesign 2020-06-28 22:28
shancjb:有没有电子版呀可以下载? (2020-06-28 22:24)  @O b$w1c  
F)KUup)gc  
暂时没有,有兴趣的话,可以买一本实体书,便于学习。
苍氓一 2021-04-20 13:18
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华丽的转身 2021-09-15 09:19
受教了
春风依旧 2021-10-11 11:50
还不错,后续可能考虑买本
1250288535 2021-10-11 14:54
还不错,后续可能考虑买本
1250288535 2021-10-11 14:54
还不错
七七0 2021-11-08 11:06
学习一下,谢谢 <oG+=h  
18961721564 2022-04-26 21:46
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viavi1109 2022-08-09 13:24
看看看 t b5k|  
轩zjw哥 2022-09-29 22:07
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小呀么小彬彬 2023-05-13 13:08
学习一下
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