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cyqdesign 2020-06-01 23:03

《薄膜光学与薄膜技术基础》

《薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 WU.eeiX  
+>c%I&h}`  
[attachment=101025]
7qWa>fX  
目录 -7J~^m2x  
第一篇 薄膜元学基本理抢 Eq=JmO'gHs  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 U^K8^an$  
1.1 麦克斯韦方程 1 d`j<Bbf-  
1.2 平面电磁波 6 <$#^)]Ts  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 ORXH<;^0y  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 ~(`MP<  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 RmO kb~  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 oJ#;XR  
1.4 电磁波谱、光谱 10 rg]z  
习题 12 8)83j6VF  
参考文献 12 ec*Ni|`Z'  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 R+/kx#^  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 [<Mls@?  
2.1.1 S波反射与透射 14 9o]!D,u8=5  
2.1.2 P波反射与透射 16 }wJH@'0+  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 1:u~T@;" `  
2.2.1 S 波反射与透射 18 gh `_{l  
2.2.2 P 波反射与透射 20 E% Ko[G  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 zU4*FXt  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 (&_^1  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 [g=4'4EZc  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 Wrt5eYy  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 N&(MM.\`^  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 `nc=@" 1  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 /L2.7`5  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 5CH8;sMK  
2.5.2 全透射 37 0a,B&o1  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 ws U@hqS  
2.6 反射率和透射率 39 5 (q4o`  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 bJ eF1LjS  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 ,WAJ& '^  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 (tiE%nF+  
习题 44 X8~?uroq  
参考文献 44 zOy_qozk  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 "od 2i\  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 r*FAUb`bG  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 j|[>f  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 "wxyY^"  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 _!?a9  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 T]\'D&P~D  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 xF 3Z>  
3.4.1 一阶近似 62 dMI G2log  
3.4.2 二阶近似 63 Odw9]`,T  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 1>umf~%Wa  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 L;6{0b58 $  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 $9W,1wg  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 )d{fDwrx1  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 mKUm*m#<R  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 X"jtPYCpV{  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 @R`Ao9n9V  
习题 79 /U0,%  
参考文献 79 =t.T9'{  
第4章 膜系设计图示法 81 {.Brh"yC  
4.1 矢量法 81 wb39s^n  
4.2 导纳图解法 87 xE*. ,:,&  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 tNYuuC%N  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 Bt(nm> Ng  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 uu/2C \n}  
4.3 金属膜导纳圆图 97 AH:0h X6+  
4.4 膜系层间电场分布 99 :xY9eq=  
习题 100 ghTue*A  
参考文献 101 K :>O X  
第二篇 光学等膜分类反应用 '{)Jhl47   
第5章 增透膜 102 +.-mqtM  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 ezS@`_pR;  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 9vCCE[9  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 , hp8b$  
5.4 均匀介质增透膜 107 u7},+E)+B  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 S.?DR3XLc  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 #1WCSLvtV  
5.5 非均匀介质增透膜 113 B'bOK`p  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 [* |+ it+!  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 "kjSg7m*:  
习题 118 p@oz[017/J  
参考文献 118 :4r*Jju<V  
第6章 高反射膜 120 )G*xI`(@  
6.1 反射镜组合的反射率 120 q w @g7  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 |w5,%#AeO$  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 Q!r` G  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 HI, `O  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 wR"17z7[]  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 /-+hMYe  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 Q^X}7Z|T  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 T9Fe!yVA  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 1jpft3*x  
6.8 金属反射镜 134 b,>>E^wd!  
6.8.1 常用金属反射镜 134 DHZ`y[&}|N  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 ZVrZkd `  
6.9 影响反射特性的因素 137 bGxHzzU}  
6.10 高反射镜应用实例 143 D2RvFlAXu  
6.10.1 激光高反射镜 143 `A-  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 ]Qe"S>,?`  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 jsP+,brO  
习题 146 w: mm@8N  
参考文献 146 *U`R<mV\  
第7章 带通滤光片 149 !lBK!'0  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 bCiyz+VyJn  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 .Ad9(s  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 xqQK-?k  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 )"7z'ar  
7.3.2 膜系透射定理 153 gMp' S  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 k *>"@  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 D  ,[yx='  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 9_ZGb"(Lj  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 D0>Pc9  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 B>@l(e)b  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172  GInw7  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 5Vai0Qfcu:  
7.5 超窄带带通滤光片 183 _(I)C`8m  
7.6 宽带带通滤光片 185 ls~9qkAyLx  
7.7 带通滤光片的角特性 186 3eB)X2~   
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 eHR]qy 0_X  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 p|@#IoA/e  
习题 193 9SJSUv:@  
参考文献 193 }_('3C,Ba  
第8章 截止滤光片 196 {qOqtkj  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 C~C`K%7  
8.2 吸收型截止滤光片 197 +O.qYX  
8.3 干涉型截止滤光片 198 |kTq &^$  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 RE4WD9n  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 (H\ `/%Bp  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 q([{WZ:6Oq  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 JpxQS~VX  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 cDK)zD  
8.3.6 截止带的展宽 210 #Tt*NU  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 D4uAwmc  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 wvxsn!Ao&=  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 ;--D?Gs]Qr  
习题 221 y~su1wUp  
参考文献 221 ap2g^lQXq  
第9章 带阻滤光片 223 "h|kf% W  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 ?[P>2oz  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 L\t_zf_0  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 |o'r?"  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 xLfv:Rp  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 z;ku*IV  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 sZ;Gb^{Z  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 X{<taD2~  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 hljKBx ~  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 !~vx|_$#  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 %wI)uJ2  
习题 241 o\; hF3   
参考文献 241 29m$S7[  
第10章 分光镜 243 Eggu-i(rD  
10.1 中性分光镜 243 f1;@a>X  
10.1.1 金属膜中性分光 244 9X +dp  
10.1.2 介质膜中性分光 245 B*w]yL(  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 oZ^,*  
10.2 双色分光镜 249 X$6QQnyR  
10.3 偏振分光 254 (E,Ibz2G:e  
10.3.1 偏振特性的描述 254 s`0IyQXVU  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 M"bG(a(6:  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 q ]VB}nO  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 nh"dPE7^  
10.4 消偏振分光 262 hQlyqTP|2  
10.4.1 偏振分离的描述 263 E!BzE_|i  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 uG +ZR: _  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 &Yc'X+'4  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 _zi| GD  
10.5 分光中的消色差问题 280 GN:|b2 "  
习题 281 6(uZn=  
参考文献 282 M ?AX:0  
第二篇 薄膜扶术基础 /oLY\>pD  
第11章 薄膜制备技术 283 4>a(!h t  
11.1 真空技术简介 283 }`%ks  
11.1.1 真空的基本知识 283 O&yAFiCd  
11.1.2 真空的获得 284 &I(\:|`o  
11.1.3 真空的测量 286 /wl]kGF  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 x5V))~Ou  
11.2.1 蒸镀法 289 |lg jI!iK  
11.2.2 溅射法 300 z Tz_"N I  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 9q 2 vT^  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 o4J@M{xb_  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 xI~A Z:m  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 nMfR< %r  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 { 0&l*@c&  
11.3.5 光化学气相沉积 310 ,<)D3K<  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 j"aY\cLr t  
11.3.7 原子层沉积 312 0fn*;f8{XJ  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 q-ko)]  
11.4.1 化学镀 313 'Cz*p,  
11.4.2 阳极氧化法 314 >cg)Nq D  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 }f14# y;  
11.4.4 电镀 315 dUt4] ar  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 DwZRx@  
11.5 光刻蚀 316 12m-$/5n+  
11.5.1 光刻工艺 316 VZ =:`)  
11.5.2 光刻胶 317 &5${k'  
11.5.3 掩模 318 }qhYHC  
11.5.4 曝光 318 hITYBPqRO  
11.5.5 刻蚀方法 318 E2YVl%.  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 x[Hx.G}5+  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 FfrC/"N  
习题 323 ,+4T7 UR  
参考文献 324 JbS[(+o  
第12章 光学薄膜检测技术 326 aq8./^  
12.1 光谱分析技术基础 326 QKB+mjMH#x  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 *hJWuMfY,  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 UcOP 0_/  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 ~cfXEjE6  
12.2.1 透射率测量 333 l>`66~+s,`  
12.2.2 反射率测量 334 $u'"C|>8  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 FQ1B%u|  
12.3.1 吸收测量 338 sgGA0af  
12.3.2 散射测量 342 v}a {nU'  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 R@s7s%y=  
12.4 光学薄膜常数测量 347 VHMQY*lk  
12.4.1 光度法 348 >1;jBx>Qy%  
12.4.2 全反射衰减法 354 b1jDbiH&  
12.4.3 椭圆偏振法 357 SQn.`0HT  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 ~<9e }J  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 {*TB }Xsr,  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 |N"K83_pr  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 m"'LT0nur  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 B["+7\c<~  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 R=D}([pi  
12.6.1 薄膜微结构 368 .5o~^  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 W;2J~V!c  
12.6.3 雕塑薄膜 372 EPH" 5$8  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 l9="ccM  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 KsE$^`  
v;9(FLtL  
cyqdesign 2020-06-28 22:28
shancjb:有没有电子版呀可以下载? (2020-06-28 22:24)  eS@j? Y0y  
QY&c=bWAX"  
暂时没有,有兴趣的话,可以买一本实体书,便于学习。
苍氓一 2021-04-20 13:18
学习学习
华丽的转身 2021-09-15 09:19
受教了
春风依旧 2021-10-11 11:50
还不错,后续可能考虑买本
1250288535 2021-10-11 14:54
还不错,后续可能考虑买本
1250288535 2021-10-11 14:54
还不错
七七0 2021-11-08 11:06
学习一下,谢谢 YCltS!k  
18961721564 2022-04-26 21:46
我有一本,购买的二手
viavi1109 2022-08-09 13:24
看看看 W0sLMHq  
轩zjw哥 2022-09-29 22:07
学习学习
小呀么小彬彬 2023-05-13 13:08
学习一下
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