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cyqdesign 2020-06-01 23:03

《薄膜光学与薄膜技术基础》

《薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 wrZ7Sr!/V  
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目录 $.suu^>^w  
第一篇 薄膜元学基本理抢 lBizC5t!o  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 8MYLXW6  
1.1 麦克斯韦方程 1 UE}8Rkt  
1.2 平面电磁波 6 P5yJO97  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 {[YqGv=fF  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 BLl%D  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 c,3'wnui  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 Tx|SAa=V  
1.4 电磁波谱、光谱 10 ]%cHm4#m3  
习题 12 CF4Oh-f  
参考文献 12 yDu yMt#  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 GFASF,+  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 =8$(i[;6w  
2.1.1 S波反射与透射 14 | o;j0  
2.1.2 P波反射与透射 16 L@gQ L  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 D[>XwL  
2.2.1 S 波反射与透射 18 J_y<0zF**  
2.2.2 P 波反射与透射 20 P%<aGb4  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 *_2O*{V  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 +l[Z2mW  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 L V[66<T  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 I>YtWY|ed  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 ?34EJ !  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 p[af[!  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 >Rl0%!  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 CA~em_dC  
2.5.2 全透射 37 h;4y=UU  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 ^5FJ}MMJf  
2.6 反射率和透射率 39 kb>Vw<NtE  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 (7rz:  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 36x5q 1  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 0,"n-5Im  
习题 44 p ?Ij-uo"o  
参考文献 44 G>_42Rp  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 "FLD%3l  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 ]|((b/L3  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 @Le ^-v4  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 #um1?V  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 -Z/6;2Q  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 Y7b,td1  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 [#,X$O>  
3.4.1 一阶近似 62 Gct&}]3pm  
3.4.2 二阶近似 63 \U<F\i  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 j"D0nG,  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 NXWIE4T>*^  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 b Q9"GO<X  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 i$ fjr[$B  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 N#-kk3!Z;  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 5w,YBUp  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 9 +N._u  
习题 79 '^.=gTk  
参考文献 79 :(S/$^U  
第4章 膜系设计图示法 81 ]Nd'%M  
4.1 矢量法 81 XCqfAcNQ  
4.2 导纳图解法 87 +n8I(l=  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 !5' 8a5  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 DoCQFSL  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 8^~ZNU-~v  
4.3 金属膜导纳圆图 97 !w;A=  
4.4 膜系层间电场分布 99 1TD&&EC  
习题 100 00.iMmJ  
参考文献 101 u {E^<fW]  
第二篇 光学等膜分类反应用 t UAY]BJ*s  
第5章 增透膜 102 [ ;3EzZL  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 43orR !.Z  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 H/v37%p7  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 Y(G*Yi?;  
5.4 均匀介质增透膜 107 vCU&yXGl  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 }v(H E%~}  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 m|?" k38  
5.5 非均匀介质增透膜 113 CgTQGJ}-  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 <g|nmu)o$  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 zx]M/=7,V#  
习题 118 2AdHj&XE  
参考文献 118 zm)CfEF 8  
第6章 高反射膜 120 [(e`b  
6.1 反射镜组合的反射率 120 dC;d>j,  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 -)->Jx:{  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 (EF$^FYPK  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 o y%g{,V  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 dv4r\ R^  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 x+)hL D[ n  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 in;+d~?  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 qU x7S(a  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 BUy}Rn  
6.8 金属反射镜 134 "*>QxA%c4  
6.8.1 常用金属反射镜 134 dE9aE#o  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 \8>N<B)  
6.9 影响反射特性的因素 137 fY+ .#V  
6.10 高反射镜应用实例 143  V\7u  
6.10.1 激光高反射镜 143 Nm :|C 3_I  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 $GfxMt  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 7zk m  
习题 146 ]I*#R9  
参考文献 146 $, @ rKRY  
第7章 带通滤光片 149 c,s<q j  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 o'}Z!@h  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 $}h_EI6hS  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 V{aIhH>P  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 cJE>;a  
7.3.2 膜系透射定理 153 >,Swk3  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 E6&uZr  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 ABYW1K=  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 c.me1fGn  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 LF,c-Cv!jL  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 t-ReT_D|;  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 bA9dbe  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 j~j V`>A  
7.5 超窄带带通滤光片 183 =VI`CBQ/Um  
7.6 宽带带通滤光片 185 ^~k FC/tQ  
7.7 带通滤光片的角特性 186 f*H}eu3/j  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 [(^''*7r+T  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 }j<_JI  
习题 193 i~PZvxt  
参考文献 193 ,4I6RwB.  
第8章 截止滤光片 196 Hn2Q1lF-ip  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 %;XuA*e  
8.2 吸收型截止滤光片 197 I3=Sc^zz&V  
8.3 干涉型截止滤光片 198 gRd1(S  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 XXdMppoR  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 hdDI%3vk3  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 I)4|?tb ?  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 mp$II?hZ*  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 \Hx#p`B%  
8.3.6 截止带的展宽 210 u6&Ixi/s'  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 HOI`F3#XI  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 *} 4;1OVT  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 = |zyi|  
习题 221 .\\#~r`t3  
参考文献 221 "+"dALX{3K  
第9章 带阻滤光片 223 ^\t">NJ^  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 GnHf9 JrR  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 ll^O+>1dO  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 hzVr3;3Zn  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 JZ0+VB-3U  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 IaqN@IlWb  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 :<G+)hIK  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 e/~<\  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 ~9 nrS9)  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 -P uVI5L<  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 2MrR|hLx  
习题 241 fO|u(e  
参考文献 241 ]o[HH_`s@  
第10章 分光镜 243 9K_HcLO%y  
10.1 中性分光镜 243 Xst}tz62F  
10.1.1 金属膜中性分光 244 zT40,rk  
10.1.2 介质膜中性分光 245 ,tc]E45  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 ol>=tk 8}  
10.2 双色分光镜 249 l@9:V hU(  
10.3 偏振分光 254 ~oyPmIcb  
10.3.1 偏振特性的描述 254 c=mFYsSv  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 C /VXyl@o  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 vx,6::%]  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 blS4AQ?b^  
10.4 消偏振分光 262 a.ME{:a%  
10.4.1 偏振分离的描述 263 _$x *CP0(  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 qt)mUq;>  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 4ov~y1Da)  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 T3 /LUm  
10.5 分光中的消色差问题 280 K1yM'6 Zw  
习题 281 F= lj$?4{  
参考文献 282 XX+rf  
第二篇 薄膜扶术基础 uATRZMai  
第11章 薄膜制备技术 283 6H9]]Unju  
11.1 真空技术简介 283 .h } D%Qa  
11.1.1 真空的基本知识 283 U;Wmx  
11.1.2 真空的获得 284 z#!Cg*K(  
11.1.3 真空的测量 286 ?Io2lFvI@Y  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 3@A k6Uh  
11.2.1 蒸镀法 289 VdrF=V&] O  
11.2.2 溅射法 300 $t?e=#G  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 &0blHDMj{#  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 ;#Nci%<J\  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 j|w+=A1  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 |1x,_uyQ%  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 79fg%cSb  
11.3.5 光化学气相沉积 310 z[Qv}pv  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 m/h0J03'T  
11.3.7 原子层沉积 312 9tgkAU`  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 L*38T\  
11.4.1 化学镀 313 3s Nq3I  
11.4.2 阳极氧化法 314 Tj#XsD?J  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 [O'p&j@  
11.4.4 电镀 315 I!bZ-16X  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 h Nwb.[  
11.5 光刻蚀 316 &ICO{#v5  
11.5.1 光刻工艺 316 Rx<F^J  
11.5.2 光刻胶 317 C$; ~=  
11.5.3 掩模 318 ]y$C6iUY*  
11.5.4 曝光 318 Plv+mb  
11.5.5 刻蚀方法 318 )<&QcO_  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 u?i1n=Ne  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 4]R3*F  
习题 323 :-8u*5QK]`  
参考文献 324 'r0gqtB  
第12章 光学薄膜检测技术 326 _X/`4 G  
12.1 光谱分析技术基础 326 c`Cn9bX  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 >a K&T"  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 '{~ ej:  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 XQPJ(.G  
12.2.1 透射率测量 333 w5Z3e^g  
12.2.2 反射率测量 334 + u+fEg/A  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 c9'b `#'  
12.3.1 吸收测量 338 ShP V!$0  
12.3.2 散射测量 342 UYUd IIoL  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 }Q_i#e(S  
12.4 光学薄膜常数测量 347 cPSpPx  
12.4.1 光度法 348 G_@H:4$3  
12.4.2 全反射衰减法 354 u8QX2|  
12.4.3 椭圆偏振法 357 }"v "^5  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 `x3c},'@k  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 U# gmk0>t{  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 aMWNZv  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 O!jCQ{ T  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 ,q1RJiR  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 <T>f@Dn,  
12.6.1 薄膜微结构 368 >E#4mm  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 Yy]He nw;  
12.6.3 雕塑薄膜 372 4k 8 @u  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 K[H$qJmPX  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 c2QC`h(Wb  
SV >EB;<  
cyqdesign 2020-06-28 22:28
shancjb:有没有电子版呀可以下载? (2020-06-28 22:24)  0z .&  
$%/Zm*H  
暂时没有,有兴趣的话,可以买一本实体书,便于学习。
苍氓一 2021-04-20 13:18
学习学习
华丽的转身 2021-09-15 09:19
受教了
春风依旧 2021-10-11 11:50
还不错,后续可能考虑买本
1250288535 2021-10-11 14:54
还不错,后续可能考虑买本
1250288535 2021-10-11 14:54
还不错
七七0 2021-11-08 11:06
学习一下,谢谢 s`TfNwDvU  
18961721564 2022-04-26 21:46
我有一本,购买的二手
viavi1109 2022-08-09 13:24
看看看 ZC05^  
轩zjw哥 2022-09-29 22:07
学习学习
小呀么小彬彬 2023-05-13 13:08
学习一下
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