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cyqdesign 2020-06-01 23:03

《薄膜光学与薄膜技术基础》

《薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 %!i|"FNc  
4/tp-dBip  
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xi =\]  
目录 dNL<O   
第一篇 薄膜元学基本理抢 i #%17}  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 N=oWIK<;-  
1.1 麦克斯韦方程 1 _v9P0W^.7  
1.2 平面电磁波 6 <8Zm}-U  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 \Y{^Q7!>:8  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 \)Bws `  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 c)tG1|Og]  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 ![,W?  
1.4 电磁波谱、光谱 10 Zh]FL8[ nc  
习题 12 _V`Gmy[]p  
参考文献 12 ?Gq|OT 8  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 ?{O >&<~  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 LT3ViCZ-n  
2.1.1 S波反射与透射 14 6HW8mXQh<h  
2.1.2 P波反射与透射 16 /bd1Bi  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 +W6QtB6  
2.2.1 S 波反射与透射 18 C;6Nu W  
2.2.2 P 波反射与透射 20 rI E m  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 {|kEGq~aE  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 M;{btu^a  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 |9F^"7Q~C  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 9y~5@/3 2R  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 sr&hQ  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 }op0`-Xb  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 #Wz7ju;  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 Ae0jfTv  
2.5.2 全透射 37 $dp;$X3  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 n!r<\4I  
2.6 反射率和透射率 39 /Y>$w$S  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 >2[\WF*"X  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 uq>\pO&P  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 <=D\Ckmb  
习题 44 <&+\X6w[  
参考文献 44 8~=<!(M)m/  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 P)2.Gx/  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 hw@ `Q@  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 1FCHqqZ=  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 KL8G2"Z  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 (Mk9##R#  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 i7D)'4gkW  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 |(Bc0sgw}  
3.4.1 一阶近似 62 oM&}akPE  
3.4.2 二阶近似 63 5p.vo"7  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 %V+hm5Q  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64   pE<@  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 }W:Rg}v  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 Lad8C  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 LovVJ^TD0i  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 TJHab;7F  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 ZB)`*z>*  
习题 79 YTc X4cC  
参考文献 79 GI~JIXHTQ  
第4章 膜系设计图示法 81 xH\#:DLY  
4.1 矢量法 81 (V:z7  
4.2 导纳图解法 87 s\)0f_I  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 s+@+<QE  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 ScgaWJ  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 HinPO  
4.3 金属膜导纳圆图 97 'S_OOzpC  
4.4 膜系层间电场分布 99 +:a#+]g  
习题 100 M x/G^yO9  
参考文献 101 J <"=c z$  
第二篇 光学等膜分类反应用 A)2eo<ij4  
第5章 增透膜 102 "~1{|lj|)  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 @B@`V F  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 =N62 ){{  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 r~K5jL%z9  
5.4 均匀介质增透膜 107  }de {-  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 _ (U|Kpi  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 i#&iT P`  
5.5 非均匀介质增透膜 113 Xjy5Yj  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 B_gzpS]  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 ;;^OKrzWW  
习题 118 eucacXiZ  
参考文献 118 eHQS\n  
第6章 高反射膜 120 0tL#-47  
6.1 反射镜组合的反射率 120 sew0n`d1  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 w$XqxI/&  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 Jv,*rQH  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 o9<)rUy  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 ` XvuyH  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 5f~49(v]  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 >@Nn_d  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 \aEarIX#*  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 LU-,B?1  
6.8 金属反射镜 134 'ie+/O@G  
6.8.1 常用金属反射镜 134 qZV.~F+  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 1}7Q2Ad w  
6.9 影响反射特性的因素 137 W~!uSrY  
6.10 高反射镜应用实例 143 "^Ax}Jr  
6.10.1 激光高反射镜 143 n$*e(  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 ezq<)gJc  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 lpy( un  
习题 146 j3Sz+kOf,  
参考文献 146 |7pi9  
第7章 带通滤光片 149 \y7kb  
7.1 带通滤光片的特性描述 149  dcd9AW=  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 }akF=/M  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 "f Ni3 <x]  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 I+!?~]AUuq  
7.3.2 膜系透射定理 153 1ti9FQ  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 Knjg`f  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 kKFhbHUZa  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 # :)yh]MP  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 r(VGdG  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 fz[-pJ5[  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 tO@n3"O  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 fF|m~#y  
7.5 超窄带带通滤光片 183 ,. K}uW  
7.6 宽带带通滤光片 185 Z ? F*Z0y  
7.7 带通滤光片的角特性 186 ZLS\K/F>>=  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 O>M4%p  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 G@N-+  
习题 193 o6v'`p '  
参考文献 193 Y) ig:m]#  
第8章 截止滤光片 196 8HaBil  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 wn&5Ul9Elb  
8.2 吸收型截止滤光片 197 ?xT ^9  
8.3 干涉型截止滤光片 198 a3Fe42G2c|  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 7rZE7+%]  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 TwT@_~ IM  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 8rNRQOXOa  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 }vXf}2C  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 9R1S20O  
8.3.6 截止带的展宽 210 m~<<ok_  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212  &$ x1^  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 t*Xo@KA  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 8wX|hK!Gz  
习题 221 DOa%|H'P  
参考文献 221 )/Mk\``j  
第9章 带阻滤光片 223 'Cp]Q@]\  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 +FGw)>g8'm  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 s~)I1G  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 V-N`R-FSr  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 z7PmyU >  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 px~:'U  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 DQ{"6-  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 dJf#j?\[  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 H2iC? cSR  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 +W}dO#  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 SU$%nK)  
习题 241 +DR,&;  
参考文献 241 iYR`|PJi  
第10章 分光镜 243 f.{/PL  
10.1 中性分光镜 243 D3 .$Vl,.  
10.1.1 金属膜中性分光 244 '#ow 9w+^  
10.1.2 介质膜中性分光 245 '0tNo.8K  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 enB 2-)< K  
10.2 双色分光镜 249 tsys</E&  
10.3 偏振分光 254 D:DtP6  
10.3.1 偏振特性的描述 254 Pgh)+>ON  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 '1NZSiv+C?  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 4Mr)~f rc  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 YX,xC-37y  
10.4 消偏振分光 262 8v12<ktR`  
10.4.1 偏振分离的描述 263 032PR;]  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 v;$cx*?  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 $>6Kn`UX  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 0WO-+eRB/  
10.5 分光中的消色差问题 280 %;-r->  
习题 281 hG!|ts  
参考文献 282 O[|prk,  
第二篇 薄膜扶术基础 /~6)Vt  
第11章 薄膜制备技术 283 FXO{i:Zo  
11.1 真空技术简介 283 nR#'BBlI  
11.1.1 真空的基本知识 283 y-R:-K XH=  
11.1.2 真空的获得 284 i0py5Q  
11.1.3 真空的测量 286 vIpitbFC  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 "IMq +  
11.2.1 蒸镀法 289 vWq/A.  
11.2.2 溅射法 300 G}N T[  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 D]B;5f  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 88~ lP7J  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 -l i71.M  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 ^^ +vt8|  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 daN#6e4Z+;  
11.3.5 光化学气相沉积 310 .~Y% AI  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 > a"4aYj  
11.3.7 原子层沉积 312 F2WMts  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 RAY.]:}jr  
11.4.1 化学镀 313 :!WKD@]  
11.4.2 阳极氧化法 314 snti*e4"V  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 :j[a X7Sq2  
11.4.4 电镀 315 0OF]|hH  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 l>{+X )  
11.5 光刻蚀 316 -gR }^D   
11.5.1 光刻工艺 316 MB3 0.V/\  
11.5.2 光刻胶 317 ,`.`}'  
11.5.3 掩模 318 V(6GM+  
11.5.4 曝光 318 \L4+Dv<z  
11.5.5 刻蚀方法 318 03^?+[C  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 _;8+L\  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 d_w^u|(K  
习题 323 8iKupaaOX  
参考文献 324 l.AG^b  
第12章 光学薄膜检测技术 326 !PuW6  
12.1 光谱分析技术基础 326 kf>L  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 ` 8OA:4).  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 01AzM)U3"m  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 lgei<\6~n5  
12.2.1 透射率测量 333 q@8j[15  
12.2.2 反射率测量 334 &.`/ln  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 $bo 5:c  
12.3.1 吸收测量 338 +t`QHvxv  
12.3.2 散射测量 342 ^Z~'>J  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 ZW>?y$C+  
12.4 光学薄膜常数测量 347 v.pj PBU1  
12.4.1 光度法 348 (25v7 Y ]  
12.4.2 全反射衰减法 354 &9,<_1~  
12.4.3 椭圆偏振法 357 (U#9  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 WTZr{)e  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 jm$v0=W9#  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 m(c5g[6nO  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 o;<oXv  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 Bvy(vc=UDW  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 ^"hsbk&Yu  
12.6.1 薄膜微结构 368 6yRxb (  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 1> wt  
12.6.3 雕塑薄膜 372 (y;8izp9!  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 FMBzTD  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 Ls~F4ar$/  
Gkq<?q({t  
cyqdesign 2020-06-28 22:28
shancjb:有没有电子版呀可以下载? (2020-06-28 22:24)  'nFqq:2Xa  
~+GMn[h  
暂时没有,有兴趣的话,可以买一本实体书,便于学习。
苍氓一 2021-04-20 13:18
学习学习
华丽的转身 2021-09-15 09:19
受教了
春风依旧 2021-10-11 11:50
还不错,后续可能考虑买本
1250288535 2021-10-11 14:54
还不错,后续可能考虑买本
1250288535 2021-10-11 14:54
还不错
七七0 2021-11-08 11:06
学习一下,谢谢 v_gQCS  
18961721564 2022-04-26 21:46
我有一本,购买的二手
viavi1109 2022-08-09 13:24
看看看 JWa9[Dj  
轩zjw哥 2022-09-29 22:07
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小呀么小彬彬 2023-05-13 13:08
学习一下
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