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cyqdesign 2020-06-01 23:03

《薄膜光学与薄膜技术基础》

《薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 B5 H=#  
'v'=t<wgl  
[attachment=101025]
1n )&%r  
目录 LCkaSv/[RB  
第一篇 薄膜元学基本理抢 %][6TZ}  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 QsH?qI&2jp  
1.1 麦克斯韦方程 1 =E4~/F}9/T  
1.2 平面电磁波 6 vFg X]&bE  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 OysO55i  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 f`"@7-N  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 `w/b];e1)  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 (GXFPEH8  
1.4 电磁波谱、光谱 10 L(w?.)E  
习题 12 +n&9ZC H  
参考文献 12 FG6mh,C!  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 7/GL@H  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 $J)2E g  
2.1.1 S波反射与透射 14 u[?M{E/HU  
2.1.2 P波反射与透射 16 fT  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 8u4FagQ,  
2.2.1 S 波反射与透射 18 { '1e?  
2.2.2 P 波反射与透射 20 =%oQIx  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 1QJB4|5R#  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 /E<:=DD<  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 A,#a?O6m  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 ^A' Bghy  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 W+D{4:  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 h;S?  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36  a5@XD_b  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 nh? ~S`  
2.5.2 全透射 37 [3fmhc  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 ^mu PjM+D  
2.6 反射率和透射率 39 +w'He9n  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 drK &  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 :to1%6  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 ERZWK  
习题 44 /j:fc?yv  
参考文献 44 6UnWtLE  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 #xBh62yIuP  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 Zz@wbhMV  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 cOo@UU P   
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 *e}1KcJ  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 `d6,]'  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 9 Z79  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 kb2M3%6 V  
3.4.1 一阶近似 62 }hA h'*(  
3.4.2 二阶近似 63 X w_6SR9C  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 v!77dj 6I  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 :1,xse  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 G0&'B6I>  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 tX7TP(  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 y~/i{a;1y  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 qS}pv  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 d6ABgQi0  
习题 79 ^dCSk==  
参考文献 79 >C"QV `+  
第4章 膜系设计图示法 81 9G"-~C"e3  
4.1 矢量法 81 tDwj~{a~  
4.2 导纳图解法 87 k}$k6Sr"  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 to"[r  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 r,-9 ]?i  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 M +Jcg b]  
4.3 金属膜导纳圆图 97 *, RxOz2=  
4.4 膜系层间电场分布 99 j+7ok 5J#  
习题 100 =-GHs$u%f  
参考文献 101 [6Nw)r(a(  
第二篇 光学等膜分类反应用 b 7%O[  
第5章 增透膜 102 3x{2Dhi  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 '5n67Hl 1  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 Q]]5\C.  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 sXaIQhZ  
5.4 均匀介质增透膜 107 d|8iD`sZz  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 >S:>_&I`I  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 |,wp@)e6h  
5.5 非均匀介质增透膜 113 4z##4^9g  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115  4[] /  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 j7M[]/|  
习题 118 bkgJz+u  
参考文献 118 =1}Umn|ZLS  
第6章 高反射膜 120 L)LW5%.6  
6.1 反射镜组合的反射率 120 *4tJ|m6"Y6  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 Aj;F$(su  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 !7O!)WJ  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 QQwD) WG  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 uKcwVEu  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 5z>kz/uxW  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 M9/c8zZ  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 0` {6~p  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 @ !:~gQ  
6.8 金属反射镜 134 NZyGC Vh@  
6.8.1 常用金属反射镜 134 rK\)  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 ZE*m;  
6.9 影响反射特性的因素 137 xD(JkOne  
6.10 高反射镜应用实例 143 M=hH:[6 &  
6.10.1 激光高反射镜 143 Q6G-`&5  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 BF_R8H,<%  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 Z/wK UK;  
习题 146 K;u<-?En  
参考文献 146 %Hk9.1hn5  
第7章 带通滤光片 149 m"<Sb,"x!  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 b$f@.L  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 hZ0CnY8 '  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 to1{7q  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 dT%$"sj5  
7.3.2 膜系透射定理 153 3YG[~o|4  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 R N1q/H|  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 wW~y?A"{2  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 N;9m&)@JR'  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 )Qe4J0.  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 mZ^z%+Ca|  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 J2$L[d^  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 KV Vo_9S'  
7.5 超窄带带通滤光片 183 Awo H d7M  
7.6 宽带带通滤光片 185 nVF?.c  
7.7 带通滤光片的角特性 186 ;/ iBP2  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 =rA"|=  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 C&\MDOjx  
习题 193 Zd~'%(q  
参考文献 193 P.L$qe>O  
第8章 截止滤光片 196 E+LAE/v@  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 fqoI(/RWP  
8.2 吸收型截止滤光片 197 _4eSDO[h  
8.3 干涉型截止滤光片 198 d5zv8?|X+  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 G:$Ta6=  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 5K_KZL-  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 ^P4q6BW  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 dNH6%1(s]0  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 sw<mmayN  
8.3.6 截止带的展宽 210 f{ ;L"*L  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 :@BAiKa[wa  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 Af~>}-`a  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 %49P<vo`?  
习题 221 =:)p\{B  
参考文献 221 vL>cYbJ<  
第9章 带阻滤光片 223 $A GW8"  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 v|IPus|>  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 eIZ7uSl  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 cK( )_RB#  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 &J>XKO nl  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 %N jRD|  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 ,8=`Y9#  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 Ri[ v(Zf  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 criQa<N"  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 N4]Sp v  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 6j*L]S c  
习题 241 vJybhdvP  
参考文献 241 U/hf?T;  
第10章 分光镜 243 c[p>*FnP  
10.1 中性分光镜 243 x;Qs_"t];3  
10.1.1 金属膜中性分光 244 K]~! =j)v  
10.1.2 介质膜中性分光 245 Ue:LKK1Gsr  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 MR=dQc  
10.2 双色分光镜 249 |6]2XW  
10.3 偏振分光 254 ;iol 2  
10.3.1 偏振特性的描述 254 ]2:w?+T  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 ??\1eo2gB  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 Lek!5Ug  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 |hx"yy'ux  
10.4 消偏振分光 262 !p:kEIZ)y  
10.4.1 偏振分离的描述 263 OTgctw1s  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 Q9Tt3h2ga  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 8IeE7  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 tu4-##{  
10.5 分光中的消色差问题 280 Fe r&X  
习题 281 3shRrCL0mf  
参考文献 282 a ~  
第二篇 薄膜扶术基础 z%FBHj  
第11章 薄膜制备技术 283 r6JQRSakR  
11.1 真空技术简介 283 71S~*"O0f  
11.1.1 真空的基本知识 283 B=?m_4\$m  
11.1.2 真空的获得 284 e8Ul^]  
11.1.3 真空的测量 286 8fI]QW  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 O V"5:){  
11.2.1 蒸镀法 289 ec8 iZ8h8  
11.2.2 溅射法 300 g6AEMer  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 4Nb&(p  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 oouhP1py,  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 pB;U*lt  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 J!\Cs1 !f  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 !iNN6-v%  
11.3.5 光化学气相沉积 310 "c9T4=]&t  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 A$JL"~R  
11.3.7 原子层沉积 312 K~ch OX  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 (WCczXm)  
11.4.1 化学镀 313 n_ 3g  
11.4.2 阳极氧化法 314 v=pkze  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 {)CN.z:O  
11.4.4 电镀 315 8|cQW-L  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 e) \PW1b  
11.5 光刻蚀 316 &06pUp iS  
11.5.1 光刻工艺 316 IPVD^a ?  
11.5.2 光刻胶 317 ln1QY"g  
11.5.3 掩模 318 8wf[*6VwV  
11.5.4 曝光 318 -X]?ql*%`  
11.5.5 刻蚀方法 318 |//D|-2  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 Il4R R  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 za,JCI  
习题 323 ov 'g'1}  
参考文献 324 <rKfL`8p  
第12章 光学薄膜检测技术 326 (r9W[  
12.1 光谱分析技术基础 326 .UGbo.e  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 ML!>tCT  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 w/oXFs&FK  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 (nDen5Q|  
12.2.1 透射率测量 333 sZDxTP+  
12.2.2 反射率测量 334 WSsX*L  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 V [#$Sz[G  
12.3.1 吸收测量 338 _SQQS67fu"  
12.3.2 散射测量 342 _O$7*k  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 Hob n{E  
12.4 光学薄膜常数测量 347 ]aZ3_<b  
12.4.1 光度法 348 |?gO@?KDZ  
12.4.2 全反射衰减法 354 /)J]m  
12.4.3 椭圆偏振法 357 7Eo;TNbb  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 PR2;+i3  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 mHB0eB'l  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 (:|rCZC  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 -)%g MD~z1  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 t%fcp  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 (7 O?NS  
12.6.1 薄膜微结构 368 e ia>Y$  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 0% zy 6{  
12.6.3 雕塑薄膜 372 {3qlx1w  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 <-(n48  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 CQns:.`$`  
Koi-b  
cyqdesign 2020-06-28 22:28
shancjb:有没有电子版呀可以下载? (2020-06-28 22:24)  )ml#2XP!f  
}q=tg9  
暂时没有,有兴趣的话,可以买一本实体书,便于学习。
苍氓一 2021-04-20 13:18
学习学习
华丽的转身 2021-09-15 09:19
受教了
春风依旧 2021-10-11 11:50
还不错,后续可能考虑买本
1250288535 2021-10-11 14:54
还不错,后续可能考虑买本
1250288535 2021-10-11 14:54
还不错
七七0 2021-11-08 11:06
学习一下,谢谢 MogIQ  
18961721564 2022-04-26 21:46
我有一本,购买的二手
viavi1109 2022-08-09 13:24
看看看 Rnw v/)  
轩zjw哥 2022-09-29 22:07
学习学习
小呀么小彬彬 2023-05-13 13:08
学习一下
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