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飞跃小河 2020-05-26 16:38

小型光学粗糙度传感器Horos

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1.Horos—光学粗糙度传感器。
& m ";D  
2.测量样本。 EEnTq  
3.钻石旋转加工表面的测量结果。 5;uX"z G  
4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 2%, ' }Bus  
0.,&B5)  
系统简介 ^a0 -5  
- G2M;]Cn  
随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 d3q/mg5a  
BsG[#4KM:  
特征及技术参数 R^w >aZ oJ  
,)\5O0 D6  
- 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 /Gu2@m[r  
- 灵敏度R_q<0.5 nm X2mm'J DwK  
- 测量时间: < 1 s。 H@bmLq  
- 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 7|?@\ZE  
GA@Q:n8UuR  
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传感器 '%/u103{e  
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Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 2ZFK jj  
x)Om[jZE  
应用 oXOO 10  
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可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测:
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- 平面或复杂(自由形状)表面。 s)ajy^6'M  
- 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 C=f(NpyD6  
- 机械零件。 MnsWB[  
- 汽车工业。 YedipYG9;  
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QQ:1824712522 WX$^[^=HC  
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