飞跃小河 |
2020-05-26 16:38 |
小型光学粗糙度传感器Horos
wVtwx0|1 1.Horos—光学粗糙度传感器。 G=bCNn< 2.测量样本。 m.0*NW 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 [mueZQyI?0 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 F,CTZ~ e]$s
t? 系统简介 >=w)x,0yX fI|$K)K 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 .x&%HA K)iF>y|{*q 特征及技术参数 _,*r_D61S &BSn? - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 hXya*#n# - 灵敏度R_q<0.5 nm *qpSXmOz - 测量时间: < 1 s。 RPbZ(. - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 AQ^u _)iCa3z IdN41 传感器: wb ;xRP"w i"=\d Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 B`sAk
% 'Z]w^< 应用: pQQH)`J|t
/g.U&oI]D 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: Zj
Z^_X3 - 平面或复杂(自由形状)表面。 `EQL" =) - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 K@%].: - 机械零件。 V28M lP - 汽车工业。 bW:!5"_{H ^=*;X;7 !p/goqT~dY QQ:1824712522 Zb#u0Tq
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