| 飞跃小河 |
2020-05-26 16:38 |
小型光学粗糙度传感器Horos
WDD%Q8ejV& 1.Horos—光学粗糙度传感器。 KYI/ 2.测量样本。 *n
]GsOOn 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 P4'Q/Sj 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 :\c ^*K(9 "|q&ea rc 系统简介 &h)yro 4.aZ#c91_ 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 + GN(Ug'R /-'}q=M 特征及技术参数 5Ln,{vsv 'GWN~5 - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 [l??A3G - 灵敏度R_q<0.5 nm B dfwa - 测量时间: < 1 s。 _D&598 xx - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 bsli0FJSh' : *#- %0 '<)n8{3Q5w 传感器: ;ef}}K :eCwY Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。
Pmx-8w v!-pSa)3 应用: 4F:\-O z&\a:fJ& 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: 'JE`(xD - 平面或复杂(自由形状)表面。 /36:ms A - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 EME|k{W - 机械零件。 d7y[0<xM - 汽车工业。 YkSl^j[DHs t{9GVLZ #zs~," dRv QQ:1824712522 ;igIZ$&
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