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使用傅里叶模态法分析闪耀光栅
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飞跃小河
2020-05-15 16:11
使用傅里叶模态法分析闪耀光栅
摘要
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可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。
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傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)
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建模任务
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N686~
单次FMM仿真结果
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