使用傅里叶模态法分析闪耀光栅

摘要

可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。

傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）

建模任务 {nyQ]Nu"
R@h@@lSf

单次FMM仿真结果 >a5M:s)
(thDv rT@2

参数扫描（1D） SvlS4C
c=S-g 9J

参数扫描（2D）

文件信息 4JF8S#8B
'IaI7on

拓展阅读

-Grating Order Analyzer
-Optimization of Lightguide Coupling Grating for Single Incidence Direction

QQ：1824712522

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