| 探针台 |
2020-05-15 13:45 |
微纳米结构分析FIB介绍
微纳米结构分析FIB介绍： ydpsPU?wj5
电子光学 )%*uMuF
NICo非浸没式超高分辨率场发射扫描镜筒，配有: _9<Ko.GVq
· 高稳定性肖特基场发射电子枪，用于提供稳定的高分辨率 分析电流 mFT[[Z#
· 60 度双物镜透镜，支持倾斜较大的样品 fPst<)
· 自动加热式光阑，可确保清洁和无接触式更换光阑孔 X/?3ifP6I
· 连续电子束电流控制和优化的光阑角度 A w83@U
· 电子枪安装和维护简单 自动烘烤，自动启动，无需机械合轴 Zf|f $1-
· 两级扫描偏转 gbF.Q7?$u
· 双物镜透镜，结合电磁透镜和静电透镜 ^NP " m
· 快速电子束闸* sC/T)q2
· 用户向导和镜筒预设 0%vXPlfnY
· 电子源寿命至少24个月 N j?,'?'O}
电子束分辨率 T1Xm^{
zui佳工作距离下 @L`t/OD
· 30keV 下 STEM 0.7nm 2+0'vIw}
· 1keV 下 1.4nm 15keV 下 1.2nm B;^7Yu0,
· 1keV下 电子束减速模式 0.99nm* gCd9"n-e
GMFp,Df
电子束参数 Nhs]U`s(g
· 电子束流范围（数显，连续可调）：1pA 400nA Dk:Zeo]+my
· 加速及着陆电压：20V-30KV(连续可调) Ry,jPw 5<
· 放大倍数范围：40x-1200x 2&dtOyxo>
· zui大水平视场宽度：7mm工作距离下为3.0mm，60mm工作 距离下为7.0mm，样品台到束交叉点85mm
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· 导航蒙太奇功能可额外增大视场宽度 f ^z7K
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