| 探针台 |
2020-05-15 13:45 |
微纳米结构分析FIB介绍
微纳米结构分析FIB介绍： s}UPe )Vu
电子光学 n&k1'KL&
NICo非浸没式超高分辨率场发射扫描镜筒，配有: Gh|q[s*k
· 高稳定性肖特基场发射电子枪，用于提供稳定的高分辨率 分析电流 R$wo{{KX
· 60 度双物镜透镜，支持倾斜较大的样品 ig 3uY#
· 自动加热式光阑，可确保清洁和无接触式更换光阑孔 H2[ S]`?
· 连续电子束电流控制和优化的光阑角度 pvkru-i]
· 电子枪安装和维护简单 自动烘烤，自动启动，无需机械合轴 ^?w 6
· 两级扫描偏转 0lY.z$V
· 双物镜透镜，结合电磁透镜和静电透镜 !c'a<{d@
· 快速电子束闸* BIS5u4
· 用户向导和镜筒预设 ,C!MHn^$
· 电子源寿命至少24个月 ,}F{V>dhn
电子束分辨率 [Nsv]Yz
zui佳工作距离下 #*XuU8q?
· 30keV 下 STEM 0.7nm |Kh#\d
· 1keV 下 1.4nm 15keV 下 1.2nm J!~?}Fq/z
· 1keV下 电子束减速模式 0.99nm* pv;}Sv$
]-
D<C ZhYJ
电子束参数 [iB`- dE,
· 电子束流范围（数显，连续可调）：1pA 400nA Qgf\gTF$r+
· 加速及着陆电压：20V-30KV(连续可调) g/J
^ YT!
· 放大倍数范围：40x-1200x PG+ICg
· zui大水平视场宽度：7mm工作距离下为3.0mm，60mm工作 距离下为7.0mm，样品台到束交叉点85mm szGp<xv_p
· 导航蒙太奇功能可额外增大视场宽度 FNtcI7
|
|