| 探针台 |
2020-05-15 13:45 |
微纳米结构分析FIB介绍
微纳米结构分析FIB介绍： =VSUE
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电子光学 U N6nh T
NICo非浸没式超高分辨率场发射扫描镜筒，配有: mnYzn[d3U
· 高稳定性肖特基场发射电子枪，用于提供稳定的高分辨率 分析电流 jJkc vC8d
· 60 度双物镜透镜，支持倾斜较大的样品 G7#<Jo<8
· 自动加热式光阑，可确保清洁和无接触式更换光阑孔 (Ixmg=C6y
· 连续电子束电流控制和优化的光阑角度 uw&p)
· 电子枪安装和维护简单 自动烘烤，自动启动，无需机械合轴 *kGk.a =
· 两级扫描偏转 !5zj+N
· 双物镜透镜，结合电磁透镜和静电透镜 &K"qnng/y
· 快速电子束闸* x]"N :t
· 用户向导和镜筒预设 l5Q-M{w0x
· 电子源寿命至少24个月 7@!ne&8Z?
电子束分辨率 3r2e_?m
zui佳工作距离下 5F 5 )Bh
· 30keV 下 STEM 0.7nm !y;xt?
· 1keV 下 1.4nm 15keV 下 1.2nm 4:s!mHcz
· 1keV下 电子束减速模式 0.99nm* y(6*)~Dh
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电子束参数 u3vw [k
· 电子束流范围（数显，连续可调）：1pA 400nA =.q8*7UY
· 加速及着陆电压：20V-30KV(连续可调) Tml>>O
· 放大倍数范围：40x-1200x /s `8=+\ 9
· zui大水平视场宽度：7mm工作距离下为3.0mm，60mm工作 距离下为7.0mm，样品台到束交叉点85mm Z&Z= 24q_
· 导航蒙太奇功能可额外增大视场宽度 X./7b{P ax
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