| 探针台 |
2020-05-15 13:45 |
微纳米结构分析FIB介绍
微纳米结构分析FIB介绍： v%91k
电子光学 t9
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NICo非浸没式超高分辨率场发射扫描镜筒，配有: ST',4 Oph5
· 高稳定性肖特基场发射电子枪，用于提供稳定的高分辨率 分析电流 s3 QEi^~
· 60 度双物镜透镜，支持倾斜较大的样品 Y94MI1O5$
· 自动加热式光阑，可确保清洁和无接触式更换光阑孔 2C
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· 连续电子束电流控制和优化的光阑角度 ?b:_AO&
· 电子枪安装和维护简单 自动烘烤，自动启动，无需机械合轴 >- Bg%J9
· 两级扫描偏转 ~L?nq@DL
· 双物镜透镜，结合电磁透镜和静电透镜 S%6U~@hig
· 快速电子束闸* hx! 7w}[A
· 用户向导和镜筒预设 =nRuY '
· 电子源寿命至少24个月 u<Xog$esu
电子束分辨率 's%q
zui佳工作距离下 AFm1t2,+;
· 30keV 下 STEM 0.7nm hC<14
· 1keV 下 1.4nm 15keV 下 1.2nm q-AN[_@
· 1keV下 电子束减速模式 0.99nm* D3]BTkMMS;
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电子束参数 Y E1Hpeb
· 电子束流范围（数显，连续可调）：1pA 400nA 284zmZZ
· 加速及着陆电压：20V-30KV(连续可调) +=fKT,-*G!
· 放大倍数范围：40x-1200x !1 :@8q
· zui大水平视场宽度：7mm工作距离下为3.0mm，60mm工作 距离下为7.0mm，样品台到束交叉点85mm \"^% 90F
· 导航蒙太奇功能可额外增大视场宽度 FC>d_=V
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