| 探针台 |
2020-05-15 13:45 |
微纳米结构分析FIB介绍
微纳米结构分析FIB介绍： :?J$ +bm}
电子光学 Sy_M!`B
NICo非浸没式超高分辨率场发射扫描镜筒，配有: T"jl;,gr]J
· 高稳定性肖特基场发射电子枪，用于提供稳定的高分辨率 分析电流 YS*t7
· 60 度双物镜透镜，支持倾斜较大的样品 6FE[snw
· 自动加热式光阑，可确保清洁和无接触式更换光阑孔 BG"6 jQh
· 连续电子束电流控制和优化的光阑角度 __M}50^
· 电子枪安装和维护简单 自动烘烤，自动启动，无需机械合轴 Z6p>R;9n
· 两级扫描偏转 !FO)||'[
· 双物镜透镜，结合电磁透镜和静电透镜 _ !C H
· 快速电子束闸* o>YR Kb
· 用户向导和镜筒预设 ;#due
· 电子源寿命至少24个月 1X5\VY>S`h
电子束分辨率 *K;~V
zui佳工作距离下 @ ."R9s
· 30keV 下 STEM 0.7nm R+\5hI@ >i
· 1keV 下 1.4nm 15keV 下 1.2nm A{QS+fa/
· 1keV下 电子束减速模式 0.99nm* .1@5*xQ5O
\3l;PY
电子束参数 -3f vO~
· 电子束流范围（数显，连续可调）：1pA 400nA +vP1DXtj (
· 加速及着陆电压：20V-30KV(连续可调) PJLA^e C7>
· 放大倍数范围：40x-1200x 1gC=xMAT
· zui大水平视场宽度：7mm工作距离下为3.0mm，60mm工作 距离下为7.0mm，样品台到束交叉点85mm 7"NUof?i
· 导航蒙太奇功能可额外增大视场宽度 2+enRR~
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