| 探针台 |
2020-05-15 13:45 |
微纳米结构分析FIB介绍
微纳米结构分析FIB介绍： Z
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电子光学 xv% USm
NICo非浸没式超高分辨率场发射扫描镜筒，配有: GGL 4<P7
· 高稳定性肖特基场发射电子枪，用于提供稳定的高分辨率 分析电流 MH8%-UV
· 60 度双物镜透镜，支持倾斜较大的样品 x)wt.T?eL
· 自动加热式光阑，可确保清洁和无接触式更换光阑孔 a<"& RnG(
· 连续电子束电流控制和优化的光阑角度 _xL&sy09t
· 电子枪安装和维护简单 自动烘烤，自动启动，无需机械合轴 SF7b1jr
· 两级扫描偏转 zU tf& Ih
· 双物镜透镜，结合电磁透镜和静电透镜 @
h`Zn1;
· 快速电子束闸* vG_v89t!ex
· 用户向导和镜筒预设 jMWwu+w
· 电子源寿命至少24个月 4NR5?s
电子束分辨率 & c9Fw:f;
zui佳工作距离下 @#Uiy5N
· 30keV 下 STEM 0.7nm k8wi-z[dV
· 1keV 下 1.4nm 15keV 下 1.2nm _ N f[HP
· 1keV下 电子束减速模式 0.99nm* aq \TO?
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电子束参数 Z*aU2Kr`;
· 电子束流范围（数显，连续可调）：1pA 400nA C^=gZ
6m
· 加速及着陆电压：20V-30KV(连续可调) skx=w<YO6]
· 放大倍数范围：40x-1200x DSZhl-uGM
· zui大水平视场宽度：7mm工作距离下为3.0mm，60mm工作 距离下为7.0mm，样品台到束交叉点85mm
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· 导航蒙太奇功能可额外增大视场宽度 >37 }JUG
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