| 探针台 |
2020-05-15 13:45 |
微纳米结构分析FIB介绍
微纳米结构分析FIB介绍： Yn p#3 r
电子光学 wti
NICo非浸没式超高分辨率场发射扫描镜筒，配有: vcaPd}nf
· 高稳定性肖特基场发射电子枪，用于提供稳定的高分辨率 分析电流 \p]B8hLW
· 60 度双物镜透镜，支持倾斜较大的样品
b # Llu$
· 自动加热式光阑，可确保清洁和无接触式更换光阑孔 Qd>\{$N
· 连续电子束电流控制和优化的光阑角度 U *go}dt"5
· 电子枪安装和维护简单 自动烘烤，自动启动，无需机械合轴 m1xR uj]
· 两级扫描偏转 o7eWL/1
· 双物镜透镜，结合电磁透镜和静电透镜 oY7jj=z#T
· 快速电子束闸* Iv*u #]{t
· 用户向导和镜筒预设 v2="j
· 电子源寿命至少24个月 mU.c!|Y
电子束分辨率 Iyb_5 UmpF
zui佳工作距离下 rZE+B25T~
· 30keV 下 STEM 0.7nm x0) WrDb
· 1keV 下 1.4nm 15keV 下 1.2nm > 2X-98,
· 1keV下 电子束减速模式 0.99nm* l k yK
9}H]4"f7
电子束参数 cH+ ~|3
· 电子束流范围（数显，连续可调）：1pA 400nA *d PbV.HCl
· 加速及着陆电压：20V-30KV(连续可调) }]JHY P\
· 放大倍数范围：40x-1200x Kx?8 HA[5
· zui大水平视场宽度：7mm工作距离下为3.0mm，60mm工作 距离下为7.0mm，样品台到束交叉点85mm HV * ;Yt
· 导航蒙太奇功能可额外增大视场宽度 yT~x7,
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