| 探针台 |
2020-05-15 13:45 |
微纳米结构分析FIB介绍
微纳米结构分析FIB介绍： 3, I >.3
电子光学 eZ5}O0sfp
NICo非浸没式超高分辨率场发射扫描镜筒，配有: % W',c u
· 高稳定性肖特基场发射电子枪，用于提供稳定的高分辨率 分析电流 8:?Q(M7
· 60 度双物镜透镜，支持倾斜较大的样品 ." Ix#\|x
· 自动加热式光阑，可确保清洁和无接触式更换光阑孔 :*:fu n
· 连续电子束电流控制和优化的光阑角度 }lUpC }aq_
· 电子枪安装和维护简单 自动烘烤，自动启动，无需机械合轴 Ny,A#-?
· 两级扫描偏转 F%Umau* 1
· 双物镜透镜，结合电磁透镜和静电透镜 8t: &#h
· 快速电子束闸* oEoJa:h
· 用户向导和镜筒预设 ' oZn<c`
· 电子源寿命至少24个月 vLFaZ^(
电子束分辨率 S{i@=:
zui佳工作距离下 y<%.wM]-J
· 30keV 下 STEM 0.7nm |z.GSI_!)
· 1keV 下 1.4nm 15keV 下 1.2nm ) v5n "W
· 1keV下 电子束减速模式 0.99nm* 0$ 9;p zr
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电子束参数 fw v
T2G4
· 电子束流范围（数显，连续可调）：1pA 400nA *R\/#Y|
· 加速及着陆电压：20V-30KV(连续可调) *8X9lv.Z
· 放大倍数范围：40x-1200x @*O{*2
· zui大水平视场宽度：7mm工作距离下为3.0mm，60mm工作 距离下为7.0mm，样品台到束交叉点85mm )):22}I#
· 导航蒙太奇功能可额外增大视场宽度 *RbOQ86vP
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