| 探针台 |
2020-05-15 13:45 |
微纳米结构分析FIB介绍
微纳米结构分析FIB介绍： 4 Dd7 I
电子光学 Mn=5yU
NICo非浸没式超高分辨率场发射扫描镜筒，配有: n_Ka+Y<
· 高稳定性肖特基场发射电子枪，用于提供稳定的高分辨率 分析电流 BOQeP/>
· 60 度双物镜透镜，支持倾斜较大的样品 GK/Q]}Q8pZ
· 自动加热式光阑，可确保清洁和无接触式更换光阑孔 r4D 6I,
· 连续电子束电流控制和优化的光阑角度 +L$,jZqS
· 电子枪安装和维护简单 自动烘烤，自动启动，无需机械合轴 8uO@S*)0
· 两级扫描偏转 *I(g~p
· 双物镜透镜，结合电磁透镜和静电透镜 6!3Jr
· 快速电子束闸* M K<VjpP0(
· 用户向导和镜筒预设 dTV:/QM
· 电子源寿命至少24个月 iC{~~W6
电子束分辨率 XT|!XC!|
zui佳工作距离下 ]%y~cq
· 30keV 下 STEM 0.7nm <9s=K\-
· 1keV 下 1.4nm 15keV 下 1.2nm @M V%&y*z.
· 1keV下 电子束减速模式 0.99nm* 7 (<49bb.V
]/ +qM)F
电子束参数 $VrKoL\ScA
· 电子束流范围（数显，连续可调）：1pA 400nA Vd{h|=J
· 加速及着陆电压：20V-30KV(连续可调) /I' n]
· 放大倍数范围：40x-1200x m7 XJe[O
· zui大水平视场宽度：7mm工作距离下为3.0mm，60mm工作 距离下为7.0mm，样品台到束交叉点85mm Qw$"W/&X
· 导航蒙太奇功能可额外增大视场宽度 ~Lc>~!!t
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