| 探针台 |
2020-05-15 13:45 |
微纳米结构分析FIB介绍
微纳米结构分析FIB介绍： 1 ?3+>
电子光学 a/H5Y,b>
NICo非浸没式超高分辨率场发射扫描镜筒，配有: -o~n 06p
· 高稳定性肖特基场发射电子枪，用于提供稳定的高分辨率 分析电流 !q$>6P
· 60 度双物镜透镜，支持倾斜较大的样品 !'IZr{Y>
· 自动加热式光阑，可确保清洁和无接触式更换光阑孔 Uovna:"
· 连续电子束电流控制和优化的光阑角度 UH;bg}=8
· 电子枪安装和维护简单 自动烘烤，自动启动，无需机械合轴 L{l}G,j<
· 两级扫描偏转 \2#K {
· 双物镜透镜，结合电磁透镜和静电透镜 ;]=@;? 9
· 快速电子束闸* [eBt Dc*w
· 用户向导和镜筒预设 |9Yx`_DF
· 电子源寿命至少24个月 2PUB@B'
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电子束分辨率 m=v.< +>
zui佳工作距离下 Pth4_]US
· 30keV 下 STEM 0.7nm +Z GH
· 1keV 下 1.4nm 15keV 下 1.2nm mA_EvzXk\
· 1keV下 电子束减速模式 0.99nm* /v| b]Ji
;=E}Pb Zt2
电子束参数 5|t-CY{?b
· 电子束流范围（数显，连续可调）：1pA 400nA * C Az_s<
· 加速及着陆电压：20V-30KV(连续可调) R/Sm
· 放大倍数范围：40x-1200x wV{j CQ
· zui大水平视场宽度：7mm工作距离下为3.0mm，60mm工作 距离下为7.0mm，样品台到束交叉点85mm p]?eIovi
· 导航蒙太奇功能可额外增大视场宽度 gp~-n7'~O
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