| 探针台 |
2020-05-12 10:28 |
扫描电子显微镜SEM应用
扫描电子显微镜SEM应用范围： ~ilBw:L- 3
1、材料表面形貌分析，微区形貌观察 -#z 'A
2、各种材料形状、大小、表面、断面、粒径分布分析 #UnO~IE.m$
3、各种薄膜样品表面形貌观察、薄膜粗糙度及膜厚分析 0JL6EL>_
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扫描电子显微镜样品制备比透射电镜样品制备简单，不需要包埋和切片。 8}b[Q /h!
样品要求： Y `p&*O
样品必须是固体；满足无毒，无放射性，无污染，无磁，无水，成分稳定要求。 K]Cs2IpI
制备原则： %iF IY=W
表面受到污染的试样，要在不破坏试样表面结构的前提下进行适当清洗，然后烘干； wbKBwI5w
新断开的断口或断面，一般不需要进行处理，以免破坏断口或表面的结构状态； pY5HW2TsY|
要侵蚀的试样表面或断口应清洗干净并烘干； @MH]s [{o\
磁性样品预先去磁； &y wY?ox
试样大小要适合仪器专用样品座尺寸。 -^yc y Z
常用方法： p%tg->#L
块状样品 T:5%sN;#O
块状导电材料：无需制样，用导电胶把试样粘结在样品座上，直接观察。 [4yQbqe;
块状非导电（或导电性能差）材料：先使用镀膜法处理样品，以避免电荷累积，影响图像质量。 H LG y"P
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