| 探针台 |
2020-05-12 10:28 |
扫描电子显微镜SEM应用
扫描电子显微镜SEM应用范围： 5.VA1
1、材料表面形貌分析，微区形貌观察 pa+^5N
2、各种材料形状、大小、表面、断面、粒径分布分析 >g93Bj*
3、各种薄膜样品表面形貌观察、薄膜粗糙度及膜厚分析 H:9(
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扫描电子显微镜样品制备比透射电镜样品制备简单，不需要包埋和切片。 \s<iM2]Kl
样品要求： X/i 8$yqv
样品必须是固体；满足无毒，无放射性，无污染，无磁，无水，成分稳定要求。 6Om-[^
制备原则： ? b8NEVjw
表面受到污染的试样，要在不破坏试样表面结构的前提下进行适当清洗，然后烘干； Rl3KE)<
新断开的断口或断面，一般不需要进行处理，以免破坏断口或表面的结构状态； %DPtK)X1
要侵蚀的试样表面或断口应清洗干净并烘干； &r DOqj
磁性样品预先去磁； p//">l=Ps
试样大小要适合仪器专用样品座尺寸。 Z1\_[GA
常用方法： S~/iH Xm
块状样品 H E+VanY![
块状导电材料：无需制样，用导电胶把试样粘结在样品座上，直接观察。 *TE6p
块状非导电（或导电性能差）材料：先使用镀膜法处理样品，以避免电荷累积，影响图像质量。 FAE>N-brQ
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