光学微结构的超精密加工技术

摘要：微结构光学元件在光电产品及光通讯产品中的应用日益广泛。采用多轴超精密机床加工光学微结构,可达到亚微米级形状精度和纳米级表面光洁度的高精度水平。详细介绍了光学自由曲面及光学微结构的超精密加工技术，并开发了适合超精加工微型槽和微透镜列阵的刀具轨迹自动生成软件。

关键词：超精密加工；微结构光学元件；刀具轨迹生成器

0307040004	2020-05-04 10:30
下载后解压时提示“它不是一个有效的RAR文件”，其他人有遇到这种情况吗？

344123974	2021-05-04 13:23
能用吗

如意	2021-07-23 13:56
谢谢楼主的分享！

cyqdesign	2021-11-05 10:11
0307040004:下载后解压时提示“它不是一个有效的RAR文件”，其他人有遇到这种情况吗？ (2020-05-04 10:30) x[Hx.G}5+ &vt)7[ 附件解压没问题，检查你的下载是否正确，是否得到的是一个“光学微结构的超精密加工技术.rar”文件。

伊一	2022-03-10 17:27
可以打开，PPt

l小飞	2022-04-22 08:36
学习一下

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