简述光刻机投影物镜的几种减振方案

摘要：振动是影响光刻机投影物镜动态稳定性的关键因素，决定了投影光刻机的主要性能。简述了消除或抑制投影物镜振动的两种方案，即一体式主动减振方案和采用压电陶瓷驱动的柔性支撑两级主动减振方案。通过在实际中应用表明，后一种减振方案可以实现亚微米甚至纳米级的定位精度及稳定性。

关键词：光刻机；投影物镜；压电陶瓷；主动减振

wmh1985	2020-05-22 11:12
机械减震吗

王教主	2023-03-14 13:50
机械减震吗

fangyongyong	2024-01-10 15:27
好东西

查看本帖完整版本: [-- 简述光刻机投影物镜的几种减振方案 --] [-- top --]