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gmss1111	2020-04-27 00:17
镀膜材料校准因子如何算？小弟刚入门镀膜行业，请教下如何计算镀膜材料的tooling，比如说校准sio材料，在锗基片上镀膜，镀了350nm，膜系软件在1800nm和3400nm出现两个峰，到底选哪个，怎么计算啊。 HP,sNiw

morningtech

2020-04-27 08:53

为修正产品与监控片厚度差异而设定的一个参数，用光控时老师把它叫作比例系数，
晶控上写作Tooling Factor，有人简称它tooling，有人直译为工具因子，膜林晶控仪上写作比例因子(最初听到工具因子时不知所云，虽慢慢耳熟，仍要改)。
理想情况下，有了正确的tooling值，晶控仪上设定的膜层厚度和蒸镀上样品的膜层厚度就统一为设计厚度了。

定义上，晶控Tooling Factor = 样品(镀膜产品)上实测膜层物理厚度/晶振片上膜层物理厚度 × 100%
假定工艺不变情况下，第一次镀膜时的Tooling值T1不够准确，样品实测厚度与设计厚度有偏差，需要修正。
修正值 T2 = T1 * 样品实测厚度/设计厚度

先思考一下，把你问题中的参数看怎么对应到上面式子里。

雨天带着伞	2020-04-27 10:11
+1------

17873333033	2020-04-27 10:21
2楼讲解的很详细，谢谢大师，我这里有高纯度SIO2便宜处理，由于今年订单减少，大量高优质材料亏本出售。请给实体行业一点支撑。17873333033

ouyuu

2020-04-30 10:29

自己用TFC拟合吧，先把sio2膜厚设定到350nm，然后慢慢减少，到和你实际的图像重合。
如果一个峰重合一个峰不重合，那就一点点的修折射率，（sio2折射率很稳定，一般不用修）
这是最直观的笨办法。
一般如果水晶放在最中央的话，水晶片上的膜厚会大于基片上的膜厚（一个是位置，另外一个有修正板挡住部分膜料）。所以基片上的膜厚只会小于350nm，不会大于350nm。

xitang007	2020-05-20 21:24
很好！

wflney	2020-05-20 23:20
谢谢分享!!

sosjinyan	2020-05-21 09:41
水晶片上的厚度，有的时候会小于镜片上的厚度。按实际测量的走就行了。

运气不差	2020-06-23 21:49
谢谢分享

tony肖	2021-06-24 21:38
谢谢分享。。

cwl563590	2024-09-09 19:03
学习到了，感谢大佬分享经验 8G )O,F7z

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