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飞跃小河 2020-04-26 17:38

全场光学相干扫描干涉仪

摘要 O dbXna  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 a&2UDl%K  
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建模任务 I7wR[&L885  
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仿真干涉条纹 "}"/d(  
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走进VirtualLab Fusion DaQ+XUH?  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 UEx13!iFo  
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•设置输入场 Q*Y-@lZ  
       −基本光源模型[教程视频] wfv\xHG  
       •使用导入的数据自定义表面轮廓 ?YMBZ   
       •定义元件的位置和方向 74ho=  
       − LPD II:位置和方向[教程视频]QQ1824712522
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•正确设置通道以进行非序列追迹 zYP6m3 n  
−非序列追迹的通道设置[用例] c`/VYgcTqB  
       •使用参数运行检查影响/变化 R7"7 Rx   
       −参数运行文档的使用[用例] -K lR":  
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VirtualLab Fusion技术 `#' j3,\6  
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文件信息 b*(K;`9)B  
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