| 探针台 |
2020-04-26 15:00 |
FEI Scios 2 DualBeam应用介绍
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聚焦离子束显微镜FIB/SEM/EDX FEI Scios 2 DualBeam技术指标 Qs.g%
一、技术指标 _o-D},f*e
1、电子束电流范围：1 pA - 400 nA； , *A',
2、电子束电压：200eV-30 keV，具有减速模式 53cW`F
3、电子束分辨率：0.7 nm (30 keV)、1.4 nm(1 keV) R)?zL;,x
4、大束流Sidewinder离子镜筒； pC'GKk 8
5、离子束加速电压500V-30kV（分辨率：3.0 nm）；
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6、离子束束流1.5pA-65nA，15孔光阑。 #7~M1/eH=t
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二、配置情况 NuqWezJm&
1、GIS气体注入：Pt沉积 (S["
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2、ETD SE、T1（筒内低位）、T（高位）探头 vQpR0IEf]e
3、Nav-camTM：样品室内光学导航相机 =?/RaK/
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4、AutoTEM4、Autoslice、Map for3D自动拼图、NanoBuilder纳米加工软件。 aGY F\7
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三、适用样品 ?E ?dg#yk
半导体、金属、陶瓷材料微纳加工及观察分析，成分分析 a}+7MEUmZ/
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四、检测内容 &k+'TcWm
1、IC芯片电路修改 zi*2>5g
2、Cross-Section 截面分析 e)~7pXYV)
3、Probing Pad '<C I^5^
4、FIB微纳加工 'e4 ;,m
5、材料鉴定 '_~=C-g
6、EDX成分分析 8U07]=Bt<
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五、设备简介 {1y-*@yU(
FEI Scios 2 DualBeam系统在Scios系统的基础上进行了升级，更加适用于金属、复合材料和涂层，特点是适用磁性样品、借助漂移抑制对不导电的样品可以进行操作、Trinity检测套件可同步检测材料、形态和边缘对比对度，大大提高效率、软件可以实现三维数据立方体分析金属中夹杂物大小和分布、独有的工作流模式，可以设定程序，降低操作员的难度。在超大样品仓中集成了大尺寸的五轴电动样品台，XY轴具有110mm移动范围，Z方向具有85mm升降空间。 #Pz},!7
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