大口径非球面系统的共基准加工与检验

摘要：针对大口径离轴非球面系统加工与装调的难点，提出了非球面光学系统共基准加工与检测的方法，对该方法的基本原理和实现过程进行了分析和研究。当光学系统的主镜和第三镜面形的RMS值优于λ/10（λ=632.8 nm）时，对主镜和第三镜进行共基准装调和测试，并进行背板一体化装嵌，然后利用离子束对其进行一体化共基准加工。结合工程实例，对一大口径非球面系统口径为724 mm×247 mm的非球面主镜和口径为632mm×205 mm的第三镜进行了共基准加工与检测，最终利用离子束共基准一体化精抛光得到主镜和第三镜面形的RMS值分别为0.019λ和0.017λ，满足光学成像。

关键词：光学加工；光学检测；非球面；三镜消像散系统；共基准；离子束加工

田济源	2020-05-07 16:08
学到了

想法突出94	2020-05-07 20:19
谢谢分享，很好的资料 !d##q)D f?

rige	2020-05-30 15:19
谢谢分享。。。

huangyang	2020-06-02 15:17
下载下来学习一下

huangyang	2020-07-10 10:19
很好，谢谢

奇迹的魔术师	2021-01-11 01:40
很好，谢谢

guangxing001	2022-01-13 15:27
优秀！！！！

帅锅1990	2022-03-02 16:07
谢谢分享，很好的资料

jabil	2022-03-03 16:46
Thanks for sharing, great info

l小飞	2022-04-22 15:48
感谢分享

谭健	2022-07-31 11:08
谢谢分享。。。

查看本帖完整版本: [-- 大口径非球面系统的共基准加工与检验 --] [-- top --]