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独孤一生	2020-04-21 00:47
大半夜睡不着觉，因为太难了！最近刚接触ZYGO平面干涉仪,不太能理解其中的概念 `deYi2z 1. 如面型是PV值那么光圈本数是不是等于 PV值数值XXnm除以波长632.8nm*2倍,即等于光圈本数 2$0)?ZC?= 2.局部光圈又该怎么计算. A,XfD}+:Z 3.平片的平行度该如何测试. b9("DZW; 谁能帮我解开迷惑....

邢岩	2020-04-27 09:01
PV还有RMS之间可以有对比公式，但是PV与光圈，RMS与局部光圈没有特定的对比公式。我们经常说的一个波长两个圈是指的样板与镜片之间的光程差

cj6333

2020-06-13 21:11

楼主，这涉及到光学干涉中的等厚干涉问题。
1，面形PV，全称是Peak-Vally，也就是峰谷值，指的是一个表面上最高点和最低点之间的差。PV=0.25波长，也就是0.25*632.8=158nm，面形波长和光圈的关系是，1个波长=2个光圈。
2，局部光圈，看光圈的弯曲程度与条纹间距的关系。
3，平片的平行度，类似于楔形片。以干涉仪标准镜为参考面，测量楔角大小。

独孤一生

2020-06-29 02:06

cj6333:楼主，这涉及到光学干涉中的等厚干涉问题。 b)y<.pS\
1，面形PV，全称是Peak-Vally，也就是峰谷值，指的是一个表面上最高点和最低点之间的差。PV=0.25波长，也就是0.25*632.8=158nm，面形波长和光圈的关系是，1个波长=2个光圈。 WiwwCKjSa
2，局部光圈，看光圈的弯曲程度与条纹间距的关系。 =ZrjK=K
3，平片的 .. (2020-06-13 21:11) #PPsRKj3c

您的意思是当干涉仪测到PV值是158nm时,这是代表PV值是1/4 lamuda是吧.但他不是1/4波长.0.5个光圈吗.ZOYA干涉仪.能通过干涉条纹图形读出光圈数嘛.就类似于样板检光圈识别法.还是说ZOYA干涉仪只能能过干涉条纹识别局部光圈.即通过条纹的平滑度来对比.望指点

cj6333

2020-07-08 14:01

独孤一生:您的意思是当干涉仪测到PV值是158nm时,这是代表PV值是1/4 lamuda是吧.但他不是1/4波长.0.5个光圈吗.ZOYA干涉仪.能通过干涉条纹图形读出光圈数嘛.就类似于样板检光圈识别法.还是说ZOYA干涉仪只能能过干涉条纹识别局部光圈.即通过条纹的平滑度来对比.望指点 (2020-06-29 02:06) ~x76{.gT

1、PV值1/4波长，按照光源632.8nm，那么四分之一就是158nm。
2、Zygo的干涉仪一般是目视条纹图和通过软件计算直接得到数字化的面型，大多在检测室使用。你说的通过干涉条纹读光圈的方法，一般是在光学车间中使用。

我们可以提供光学样板和目视条纹读书干涉仪，也可以选配数字化软件（直接得到面型和数值）

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