| 探针台 |
2020-04-13 11:53 |
聚焦离子束显微镜FIB/SEM/EDX技术指标
聚焦离子束显微镜FIB/SEM/EDX FEI Scios 2 DualBeam技术指标 K 5qCPt`'
一、技术指标 wtek5C^
1、电子束电流范围：1 pA - 400 nA； V O: 4wC"7
2、电子束电压：200eV-30 keV，具有减速模式 ZRxOXt&;
3、电子束分辨率：0.7 nm (30 keV)、1.4 nm(1 keV) 0 #8
4、大束流Sidewinder离子镜筒； " #iJ/ vy
5、离子束加速电压500V-30kV（分辨率：3.0 nm）； '(5GR I<
6、离子束束流1.5pA-65nA，15孔光阑。 m=01V5_
/Sj~l Hh
二、配置情况 G]>yk_#/\U
1、GIS气体注入：Pt沉积 \C3I6Qx
2、ETD SE、T1（筒内低位）、T（高位）探头 G\gjCp?!
3、Nav-camTM：样品室内光学导航相机 r !Aj5
4、AutoTEM4、Autoslice、Map for3D自动拼图、NanoBuilder纳米加工软件。 `DY
yK?R
qi4P(s-i
三、适用样品 Dx-P]j)4x
半导体、金属、陶瓷材料微纳加工及观察分析，成分分析 wD9K\%jIr!
_= v4Iz0
四、检测内容 }/a%-07R
1、IC芯片电路修改 '|IcL1c=I
2、Cross-Section 截面分析 >B{NxL3->
3、Probing Pad BD
C DQ
4、FIB微纳加工 !rUP&DA
5、材料鉴定 jA{5 )-g
6、EDX成分分析 L 0wT :x*
&!8 WRJ
五、设备简介 J9mK9{#q
FEI Scios 2 DualBeam系统在Scios系统的基础上进行了升级，更加适用于金属、复合材料和涂层，特点是适用磁性样品、借助漂移抑制对不导电的样品可以进行操作、Trinity检测套件可同步检测材料、形态和边缘对比对度，大大提高效率、软件可以实现三维数据立方体分析金属中夹杂物大小和分布、独有的工作流模式，可以设定程序，降低操作员的难度。在超大样品仓中集成了大尺寸的五轴电动样品台，XY轴具有110mm移动范围，Z方向具有85mm升降空间。
|
|