cyqdesign |
2020-04-07 14:22 |
VirtualLab:光栅阶次分析器
摘要 rOJ>lPs qt8Y3:=8l 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 i<uU_g'M u~uzKG [attachment=99572] >* -IIo 'Ru(`"
1| 光栅详细说明 Wf~^,]9N 8}QM~&&. [attachment=99573] (,Y[2_Zv !0{SVsc) •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 U:7h>Z0W •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 &;PxDlY5 /}:{(Go 光栅阶次分析器设置 *D]:{#C* 7oZ:/6_> •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 EP>u% ]# •可以指定各种输出选项。 k+QGvgP[4@ •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 SmXoNiM"y Y\
[|k-6
[attachment=99574] HE}0_x. *C*J1JYp+ 常规设置 WK%cbFq( x'|ty[87 [attachment=99575] !BQt+4G7 v({O*OR •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 j >k
;Zj •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 Tmg C {_ oO2DPcK 单个阶次设置 o "z()w~ v93b8/1 [attachment=99576] YidcV lOsO 0]d;)_`@ •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 ?:R ]p2 ID •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 V,r~%p E ,i^rA m 单个阶次设置 rto?*^N? wNa5qp
0 [attachment=99577] 54$^ldD k+J3Kl09hM [attachment=99578] %.bDK} J/]%zwDwS 探测器标签页中的输出 r8:r}Qj2w[ yP"2.9\erH [attachment=99579] !W}sOK7# AG(6. •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。 {B$CqsvJ •这些值在参数运行和参数优化中也可用。 OVLVsNg eWH0zswG 极坐标图中的输出 '#Wx@ TXImmkC [attachment=99580] *Y> w0k 6uE20O<z] •光栅阶次分析器的极坐标图输出绘制了反射阶和透射阶的效率与x-z平面中角度的关系。 @eYpARF •它还提供了一个表格,显示了阶次的所有角度和效率。 &8IBf8 _S9)<RVI+ 极坐标图设置 Tm"H9 !5,C"r [attachment=99581] J2O,wb)U qda 2 •可以使用鼠标滚轮、属性窗口和功能区来放大极坐标图。 :9& | |