| 小火龙果 |
2020-04-03 11:00 |
对测量的SAG数据进行非球面项拟合（CSAG）
SYNOPSYS可以将一组测量的表面sag值拟合到非球面上。这可以用来模拟被测表面，以便分析所建立的透镜的性能。假定面型是旋转对称的，程序将面型USS 21分配给表面。（也可以使用SFIT为非对称形状建模。） v0C;j (2zb
输入是： PDt<lJU+X
[attachment=99523] eky(;%Sz
5eOj, [?
透镜必须是当前的，并且要建模的表面指定为sn。要拟合的区域数必须介于3到50之间。 |jk-@ Z*
输入是包括孔径（y）和每个点的测量凹陷（sag）的列表。必须对测量值进行归一化，使轴点具有零凹陷，但键入的输入数据以第一个非零Y坐标开始。 A6N~UV*_
当读取所有数据时，程序提交一个优化运行，该过程将每个指定区域的sag目标定为测量值，随着要建模的点的变化，许多G项变量也发生变化，最多30个区域可用于此形状。 (.,'}+1
Q+d.%qhc
8pPC 9ew\=
例子： X&(ERY,h
测量了表面3的非球面形状，并给出了其测量结果。然后按照如下输入： z]c,} Q
[attachment=99524] o8'Mks
ojx'g8yO
程序找到了下列系数，评价函数下降到1.616E-12.这是一个非常好的拟合。 2 {e dW+
[attachment=99522] {OO*iZ.O
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