| 小火龙果 |
2020-04-03 11:00 |
对测量的SAG数据进行非球面项拟合(CSAG)
SYNOPSYS可以将一组测量的表面sag值拟合到非球面上。这可以用来模拟被测表面,以便分析所建立的透镜的性能。假定面型是旋转对称的,程序将面型USS 21分配给表面。(也可以使用SFIT为非对称形状建模。) lMz<s 输入是: a@pz*e [attachment=99523] wfjc/u9W6R OGrBUP 透镜必须是当前的,并且要建模的表面指定为sn。要拟合的区域数必须介于3到50之间。 8v)_6p(<x8 输入是包括孔径(y)和每个点的测量凹陷(sag)的列表。必须对测量值进行归一化,使轴点具有零凹陷,但键入的输入数据以第一个非零Y坐标开始。 5eA8niq# 当读取所有数据时,程序提交一个优化运行,该过程将每个指定区域的sag目标定为测量值,随着要建模的点的变化,许多G项变量也发生变化,最多30个区域可用于此形状。 IjfxR mV 3<?XTv- =U.
b% uC 例子: S',9g4(5 测量了表面3的非球面形状,并给出了其测量结果。然后按照如下输入: zLD|/` [attachment=99524] >l+EJ3W sIl33kmv 程序找到了下列系数,评价函数下降到1.616E-12.这是一个非常好的拟合。 5`<eKwls [attachment=99522]
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