目前工艺介质膜厚精度能到多少？-光学薄膜设计,工艺与设备-光行天下-最大的光电技术社区-光学,光电,光机技术及其软件运用交流社区!

首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题

光行天下 -> 光学薄膜设计,工艺与设备 -> 目前工艺介质膜厚精度能到多少？ [点此返回论坛查看本帖完整版本]

[打印本页]

alien21	2020-03-20 15:18
目前工艺介质膜厚精度能到多少？想咨询一下，以目前的镀膜工艺水平，蒸镀和溅射方法镀制介质膜，膜厚精度分别能到多少? 膜系总厚在100nm左右。 bus=LAJt=

alien21	2020-03-20 16:05
求教，有人吗

ouyuu	2020-03-20 16:40
你要的精度指的是光学膜厚精度还是物理膜厚精度？ {qWG^Db 物理膜厚精度由水晶片的精度决定，光学膜厚精度由光控的精度决定。

morningtech	2020-03-20 19:47
晶控能应付常规 5%左右精度要求的膜系，工艺好点， 2%~3%的也能应付。 @!a]qAt 再提高，0.5%准确度比较难了。 <SM&VOiaOz 镀膜更重要的是重复性。

alien21	2020-03-21 09:56
ouyuu:你要的精度指的是光学膜厚精度还是物理膜厚精度？ -90ZI1O` 物理膜厚精度由水晶片的精度决定，光学膜厚精度由光控的精度决定。 (2020-03-20 16:40) 3n84YX{ 3^A/`8R7K 谢谢！物理膜厚精度，

alien21	2020-03-21 09:56
morningtech:晶控能应付常规 5%左右精度要求的膜系，工艺好点， 2%~3%的也能应付。 0V>ESyae5 再提高，0.5%准确度比较难了。 ~`~%(DA= 镀膜更重要的是重复性。 (2020-03-20 19:47) u8<&F`7j PQU3s$ 明白了，谢谢！

ouyuu

2020-03-25 14:47

alien21:谢谢！物理膜厚精度， (2020-03-21 09:56) ^eTDD

物理膜厚由水晶控制，一般是5%左右。
水晶片的震荡频率会受温度影响，镀膜时候温度上升会干扰到水晶的精度。
所以有些高精度的镀膜机会用水冷来解决温升的问题。
但是水晶片温度低了和膜的结合力受影响，水晶片上沉积多了以后膜就会脱落。
水晶片的使用寿命会受影响

hhit_xiaomi	2024-10-24 10:15
6666666666

renlgj	2024-10-26 12:44
学习了解

查看本帖完整版本: [-- 目前工艺介质膜厚精度能到多少？ --] [-- top --]