目前工艺介质膜厚精度能到多少？

ouyuu:你要的精度指的是光学膜厚精度还是物理膜厚精度？ }3L@J8:D"  
物理膜厚精度由水晶片的精度决定，光学膜厚精度由光控的精度决定。 (2020-03-20 16:40)  3F
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morningtech:晶控能应付常规 5%左右精度要求的膜系， 工艺好点，  2%~3%的也能应付。 9b*nLyYVz  
再提高，0.5%准确度比较难了。 o$Z6zmxO  
镀膜更重要的是重复性。 (2020-03-20 19:47)  KPj\-g'A  

alien21:谢谢！物理膜厚精度， (2020-03-21 09:56)  #odIEC/