目前工艺介质膜厚精度能到多少？

ouyuu:你要的精度指的是光学膜厚精度还是物理膜厚精度？ a[xEN7L~4D  
物理膜厚精度由水晶片的精度决定，光学膜厚精度由光控的精度决定。 (2020-03-20 16:40)  v)d\ 5#7  

morningtech:晶控能应付常规 5%左右精度要求的膜系， 工艺好点，  2%~3%的也能应付。 6S2D\Bt,_  
再提高，0.5%准确度比较难了。 @Ej{sC!0T  
镀膜更重要的是重复性。 (2020-03-20 19:47)  <S6|$7{1  

alien21:谢谢！物理膜厚精度， (2020-03-21 09:56)  pyq~_
Bng