ouyuu:你要的精度指的是光学膜厚精度还是物理膜厚精度? lY?d*qED 物理膜厚精度由水晶片的精度决定,光学膜厚精度由光控的精度决定。 (2020-03-20 16:40) FJiP>S[]
morningtech:晶控能应付常规 5%左右精度要求的膜系, 工艺好点, 2%~3%的也能应付。 Rw%KEUDm 再提高,0.5%准确度比较难了。 |&Wo-;Ud 镀膜更重要的是重复性。 (2020-03-20 19:47) Xs_y!l
alien21:谢谢!物理膜厚精度, (2020-03-21 09:56) 7dZ!GX?\y
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