| 探针台 |
2020-02-19 14:45 |
酸开封在芯片去封装领域的应用
酸开封在芯片去封装领域的应用 b%VZPK A;
开封含义： N Zwi3
开封, 即开盖/开帽, 指去除ic封胶, 同时保持芯片功能的完整无损, 保持 die, bond pads, bond wires乃至lead-frame不受损伤, 为下一步芯片失效分析实验做准备. /6 y; fx
去封范围：* 普通封装* COB、BGA * 陶瓷、金属等其它特殊封装 e X0 [C0 #
芯片开封机介绍： kn&BGYt
美国RKD生产的RKD 酸开封机是一台自动混酸开封机，通过整合了***的特点使得它可以获得更高的产能。新开封机的设计通过将硝酸、***或混酸***分配到器件上，可以更加快速和容易的打开最精细的封装，而不会损伤样品。 Ffd;aZ4n
RKD Elite Etch 酸开封机内包含了众多工程创新。整体式刻蚀头组件是由高等级的碳化硅加工而成，可以非常***的用来抵抗酸腐蚀。再加上主动氮气监测和清洗系统，这一整体设计可以在刻蚀后降低残留在刻蚀头上酸的发烟—而对于其它没如此复杂的设计则是一种常见现象。我们这种整体碳化硅选够缩短加热时间。 4NI b_E0
器件压制组件（压杆芯头）是由手动***的，设计用于大量的运动。压杆芯头正常情况是缩回的，并且仅当安全盖完全关闭后才伸出。压杆芯头的垂直移动保证器件稳定在刻蚀头上，从而消除了无论是器件还是夹具的移动。 ~C?)-
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在每次开始和结束刻蚀程序后，安全盖由手动关闭和打开。关闭安全盖，开始已经编制好的刻蚀步骤的程序，打开安全盖将停止所有刻蚀步骤。所有连接到刻蚀盘的酸管路由快速对称压力节点制成，以消除麻烦的高温密封问题。 m*KI'~#$%
全能型系统配置 8Qkwg]X
掌上型键盘 操作简单不仅仅体现在RKD的软件设计上，即软件会持续检查和保护系统防止操作失误，而且体现在简单而直观的手持式键盘上。只需要简单的培训，凡是能够使用手机的任何人员都可以操作运行Elite Etch开封机。 gf/<sH2}
通风橱的空间永远都是非常珍贵的，所以我们已经设计了行业中***的占地面积，同时增强了每一个可能的安全特性。单独的热交换器的引入可以将废酸温度降低到90摄氏度以下，这允许进一步减小系统尺寸---我们仅仅使用一个废酸瓶。 jd}~#:FUr*
预见未来 软件消除了废酸瓶溢流的***，可以防止Elite Etch在废酸瓶没有足够的空间来完成编辑好的刻蚀程序时停止继续操作。 A
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RKD Engineering是***的集成了真正的双控制用于所有液体在瓶容器和开封机之间进行耦合的公司。内部连接是在特氟龙密封的管路内运行的，它可以由瓶子盒的任何一端来供给。瓶子容器装置内包含了液体传感器，当酸从任何一个瓶子中***后都会给操作员发出警告。Elite Etch开封机即能够使用500ml美标瓶子，也可以使用日本标准的瓶子。 /d$ kz&aIV
夹具和附件 5R1? jl m
RKD 酸开封机能够使用所有由B&G International (现在是Nisene Technology Group)提供的附件包、垫片和对准板。然而，为了显著降低成本，并且永远具有设计和切割适用于每一个和每一只器件类型的垫片和对准板的能力和优势，我们建议使用 RKD Engineering的μMill. 这台Mil的操作非常简单，不需要机械工人的***知识，就能够快速的使用防酸的AFLAS聚合物材料加工完成高质量各种垫片。 f v A167\
系统安全 jgfr_"@A
对于操作员来说，在任何开封机上更换酸瓶都具有一定的风险。我们已经设计装配了一个通用旋转铰链使得更换瓶子时没有任何麻烦。这一通用旋转铰链的详细结构显示如下。另外，瓶子通气系统可以防止酸气进入瓶子盒内。 _0Y?(}
芯片开封及系统规格参数： vOtILL6
基本规格尺寸 (w x d x h) N#X*
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开封机 7.5 x 12.5 x 12 inch 190 x 318 x 305 mm vJb/.)gh]
瓶子组件 10 x 5 x 11 inch 254 x 127 x 279 mm e
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重量 大约. 35 lbs.(16 Kg) jRW@ $ <mG
气体压力 55 - 70 psi. (N2) or CDA 0}g~69Z1=
电源 90 - 250 VAC D\Dw BZ>
酸温度范围 20℃- 250℃ U. N& ~S
酸温度设定值 1.0℃- 0.1℃ zN \C
刻蚀腔(可高达) 22 x 22 mm q$}gQ9'z'
软件操作规格 g$qM}#s0}
芯片开封机酸的选择 ： q3Gkfg Y
发烟***/***/混酸 C!Fi &~
注意: 所有混合比例都是在泵系统内部动态准备的。 !d95gq<=>
混酸比例 (硝酸到***比例)： 9:1, 5:1, 4:1, 3:1, 2:1, 1:1 B}N1}i+
刻蚀后冲洗选择：发烟***/***/混酸/无冲洗 ++=jh6
注意: 酸的冲洗温度设定是根据刻蚀温度自动校准的。 V&lx0Dy
刻蚀时间： 1 - 1,800 seconds ( 1秒的增加幅度) gMU%.%p2
注意: 刻蚀时间能够在刻蚀期间动态调整。 CH 5>u
刻蚀形式 - H9WXp&
(i) 脉冲刻蚀 *mW 2vJ/B
(ii) 往复刻蚀 – 酸脉动 Mh@n>+IR
刻蚀温度范围 9N6 \Ou~
20℃- 90℃ (硝酸) `9acR>00$
20 - 250℃(***) ( F4 c0
芯片开封实验室介绍，能够依据国际、国内和行业标准实施检测工作，开展从底层芯片到实际产品，从物理到逻辑全面的检测工作，提供芯片预处理、侧信道攻击、光攻击、侵入式攻击、环境、电压毛刺攻击、电磁注入、放射线注入、物理安全、逻辑安全、功能、兼容性和多点激光注入等安全检测服务，同时可开展模拟重现智能产品失效的现象，找出失效原因的失效分析检测服务，主要包括点针工作站（Probe Station）、反应离子刻蚀（RIE）、微漏电侦测系统（EMMI）、X-Ray检测，缺陷切割观察系统（FIB系统）等检测试验。实现对智能产品质量的评估及分析，为智能装备产品的芯片、嵌入式软件以及应用提供质量保证。 *\`<=,H6<
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国家应用软件产品质量监督检验中心 8,&Y\b`..
北京软件产品质量检测检验中心 fC$@m_-KD
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