| 探针台 |
2020-02-19 14:44 |
扫描电镜发展简史
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扫描电镜发展简史 @Ido6Z7
1873 Abbe 和Helmholfz 分别提出解像力与照射光的波长成反比。奠定了显微镜的理论基础。 ~M >EB6
1897 J.J. Thmson 发现电子 W.B;Dy,Y
1924 Louis de Broglie (1929 年诺贝尔物理奖得主） 提出电子本身具有波动的物理特性， 进一步提供电子显微镜的理论基础。 st|;] q9?
1926 Busch 发现电子可像光线经过玻璃透镜偏折，一般由电磁场的改变而偏折。 `7f><p /q
1931 德国物理学家Knoll 及Ruska 首先发展出穿透式电子显微镜原型机。 mX4u#$xs:
1937 首部商业原型机制造成功（Metropolitan Vickers 牌）。 2;82*0Y%
1938 第一部扫描电子显微镜由Von Ardenne 发展成功。 ^rHG#^hA
1938～39 穿透式电子显微镜正式上市（西门子公司，50KV~100KV，解像力20~30Å；）。 ,wyfMOGLt
1940～41 RCA 公司推出美国第一部穿透式电子显微镜（解像力50 nm）。 }D/O cp~o
1941～63 解像力提升至2~3 Å （穿透式） 及100Å （扫描式） -uE2h[X|
1960 Everhart and Thornley 发明二次电子侦测器。 __F?iRrCM
1965 第一部商用SEM出现（Cambridge) N2 vA/
1966 JEOL 发表第一部商用SEM(JSM-1) aJQx"6 c?
1958年 中国科学院组织研制 ?0 ezr[`.
1959年第一台100KV电子显微镜 1975年第一台扫描电子显微镜DX3 在中国科学院科学仪器厂（现北京中科科仪技术发展有限责任公司）研发成功 K GVAP
1980年中科科仪引进美国技术，开发KYKY1000扫描电镜 ~v
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国家应用软件产品质量监督检验中心 lphELPh
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