| 探针台 |
2020-02-10 14:49 |
双束FIB---Scios 2 DualBeam
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使用 Sidewinder HT离子镜筒快速、简便地制备高质量、定位TEM 和原子探针样品 |pqpF?h5|
Thermo Scientific NICol™ 电子镜筒可进行超高分辨率成像， 满足最广泛类型样品（包括磁性和不导电材料）的最佳成像需求 Idx To Mr
各类集成化镜筒内及极靴下探测器，采集优质、锐利、无荷电图像，提供最完整的样品信息 .F2nF8
可选AS&V4软件，精确定位感兴趣区域，获取优质、多模态 内部和三维信息 kA4ei
高度灵活的110 mm样品台和内置的Thermo Scientific Nav-Cam™相机实现精确样品导航 6iG<"{/U5
专用的DCFI、漂移抑制技术和Thermo Scientific SmartScan™等模式实现无伪影成像和图形加工
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灵活的 DualBeam 配置，优化解决方案满足特定应用需求 {*<C!Qg
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通用型高性能双束系统 Lf#G?]@
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Scios 2 DualBeam 提供最佳的样品制备、内部及三维表征性能，可满足最广泛类型样品的应用需求。 X{}#hyYk"
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Thermo Scientifc™ Scios™ 2 DualBeam™ 系统是一款超高分辨率分析系统，可为最广泛类型的样品（包括磁性和不导电材料） 提供出色的样品制备和三维表征性能。 Scios 2 DualBeam 系统创新性的功能设计，优化了其样品处理能力、分析精度和易用性， 是满足科学家和工程师在学术、政府和工业研究环境中进行高级研究和分析的理想解决方案。该系统于2013年推出市场，MTBF>1500hr，深受广大半导体用户爱戴。 %j">&U.[
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高质量 TEM 制样 I_G>W3
科学家和工程师不断面临新的挑战，需要对具有更小特征的日益复杂的样品进行高度局部化表征。Scios 2 DualBeam 系统的最新技术创新，结合最易于使用、最全面的 Thermo Scientific N E3wui1 V
AutoTEM™4软件（可选）和专业的应用知识，可快速轻松地定位制备各类材料的高分辨S/TEM样品。 为了获得高质量的结果， 需要使用低能离子进行精抛，以最大限度地减少样品的表面损伤。Thermo Scientific Sidewinder™HT聚焦离子束（FIB）镜筒不仅可以在高电压下提供高分辨率成像和刻蚀，而且具有良好的低电压性能，可以制备高质量的TEM薄片。 x\.i `ukx
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高质量内部和三维信息 _}@n_E
内部或三维表征有助于更好地理解样品的结构和性质， Scios 2 hPz
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DualBeam 系统配备 Thermo Scientific Auto Slice＆View™4 =h::VB}Lv
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（AS&V4）软件，可以高质量、全自动地采集多种三维信息，其中，三维 BSE 图像提供最佳材料衬度，三维 EDS 提供成分信息， 而三维 EBSD 提供显微结构和晶体学信息。结合Thermo Scientific Avizo™软件，Scios 2 DualBeam 系统可为纳米尺度的高分辨、先进三维表征和分析提供独特的工作流程解决方案。 "t:.mA<v
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超高分辨成像并获取最全面的样品信息 i*R:WTw#
创新的NICol电子镜筒为Scios 2 DualBeam 系统的高分辨率成像和检测功能奠定了基础。无论是在STEM模式下以30 keV来获取结构信息，还是在较低的能量下从样品表面获取无荷电信息， 系统可在最广泛的工作条件下提供出色的纳米级细节。系统独特的镜头内Thermo Scientific Trinity™检测技术可同时采集角度和能量选择性SE和BSE图像。无论是将样品竖直或倾斜放置进行观察，亦或者是观察样品截面，都可快速获取最详细的纳米级信 息。可选配的透镜下探测器和电子束减速模式可确保快速、轻松 地同时采集所有信号，以显示材料表面或截面中的最小特征。依托独特的NICol镜筒设计和全自动合轴功能，用户可获得快速、准确且可重复的结果。 _c 8.muQ<
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帮助所有用户提高生产力 9K46>_TyH
Scios 2 DualBeam系统可帮助所有经验水平用户更快、更轻松 C;q}3c*L
地获得高质量、可重复的结果。系统提供用户向导，使新手用户可以轻松、快速地提高工作效率。此外，诸如“撤消”和“重做”之类的功能鼓励用户开展更多类型的实验。 npcBp GL{
真实环境条件的样品原位实验 .k`*$1?73x
Scios 2 DualBeam系统专为材料科学中最具挑战性的材料微观 Kxc$wN<
表征需求而设计，配备了全集成化、极快速MEMS 热台μHeater， BhW]Oq&
可在更接近真实环境的工作条件下进行样品表征。110毫米样品 台可倾斜至90˚，优中心工作距离更大，确保了系统极佳的灵活性。系统可选配低真空模式，可轻松兼容各种样品类型和数据采 集。同时，系统结合了扩展的沉积和蚀刻功能、优化的样品灵活 性和控制能力，成为最通用的高性能FIB / SEM 系统，所有这些都由赛默飞的专业应用和服务支持。 s~Wu0%])Q
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电子光学 R}w wC[{
NICol 非浸没式超高分辨率场发射扫描镜筒，配有: v* ~%x
· 高稳定性肖特基场发射电子枪，用于提供稳定的高分辨率 分析电流 E#$_uZ4
· 60 度双物镜透镜，支持倾斜较大的样品 ~hz@9E]O
· 自动加热式光阑，可确保清洁和无接触式更换光阑孔 /;nO<X:XV
· 连续电子束电流控制和优化的光阑角度 A
Ok7G?Y
· 电子枪安装和维护简单 自动烘烤，自动启动，无需机械合轴 h2|vB+W-
· 两级扫描偏转 (
ssH=a
· 双物镜透镜，结合电磁透镜和静电透镜 @@/'b '
· 快速电子束闸* _jrA?pY
· 用户向导和镜筒预设 < ]Pix )
· 电子源寿命至少24个月 "aWX:WL&}s
电子束分辨率 [wio/w c
最佳工作距离下 + z(,A
· 30keV 下 STEM 0.7nm .l( r8qY#
· 1keV 下 1.4nm 15keV 下 1.2nm !|<f%UO
· 1keV下 电子束减速模式 0.99nm* Wqs. oh
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电子束参数 H"Fflm UO
· 电子束流范围（数显，连续可调）：1pA 400nA '5xuT _
· 加速及着陆电压：20V-30KV(连续可调) ccN &h
· 放大倍数范围：40x-1200x =!S@tuY
· 最大水平视场宽度：7mm工作距离下为3.0mm，60mm工作 距离下为7.0mm，样品台到束交叉点85mm oa& US_
· 导航蒙太奇功能可额外增大视场宽度 ;h-G3>Il
离子光学 U.pr} hq
卓越的大束流Sidewinder离子镜筒 &Qq/Xi,bZ
· 加速电压范围：500 V - 30 kV SEQO2`]e:
· 离子束流范围：0.6pA 65nA（数值显示） [Yx-l;78
· 15 孔光阑 W -C0 YU1
· 标配不导电样品漂移抑制模式
krr-ZiK
· 离子源寿命至少1,300小时 R5NRCI
· 离子束分辨率：30 kV下 3.0 nm（采用选边统计平均值法） |,a%z-l
探测器 S0.- >"L
· Trinity 探测系统（透镜内和镜筒内） EAC(^+15K
- T1 分割式透镜内低位探测器 GwMUIevO_
- T2 透镜内高位探测器 o^_W $4Fc
- T3可伸缩镜筒内探测器* nXM9Px!
- 可同步检测多达四种信号 g`)/ x\
· ETD Everhart-Thornley 二次电子探测器 KtfkE\KP
· ICE探测器 - 高性能离子转换和电子探测器，用于采集二次电子和二次离子* c;b[u:>~-
· DBS 可伸缩式低电压、高衬度、分割式固态背散射电子探测器* vbWJhj K0h
· STEM 3+ 可伸缩分割式探测器(BF、DF、HAADF) * 'TK$ndy;7}
· 样品室红外 CCD 相机，用于样品台高度观察 %|`:5s-T%
· Nav-Cam™： 样品室内彩色光学相机，用于样品导航* KMpDlit
· 电子束流测量* &v3D" J
样品台和样品 c<+g|@A#
灵活五轴电动样品台： }P&1s,S8J#
· XY范围：110mm GFQG(7G9
· Z范围：65mm de=5=>P7
· 旋转：360 °（连续） K4?t' dd]
· 倾斜范围：-15°到 +90° uGP[l`f|FQ
· XY重复精度：3μm K'iS#i7
· 最大样品高度：与优中心点间隔85mm \]f5
· 最大样品质量（0°倾斜）：2kg（包括样品托） Ersr\ZB
· 最大样品尺寸：可沿X、Y轴完全旋转时直径为110mm（若样 品超出此限值，则样品台行程和旋转会受限） 8"?Vcw &
· 同心旋转和倾斜 YoV^xl6g
真空系统 ?b*/ddIs
· 完全无油的真空系统 c]%;^)
· 样品仓真空（高真空）：< 5.9 x 10 -6 mbar（24小时抽气后） oN&rq6eN
· 抽气时间：208秒 fXF=F,!t
· 可选空压机和冷却循环水系统，分别用于冷却SEM镜筒及其它部件 r6 oX6.c
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样品仓 ?;:9
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· 电子束和离子束夹角：52°，集成等离子清洗功能 mc0s db,c$
· 端口：21个 (1kn):
· 内径宽度：379mm 4hsPbUx9
样品托 .\ ;l -U
· 标准多功能样品托，以独特方式直接安装到样品台上，可容纳18个标准样品托架（φ12mm）、3个预倾斜样品托、 f H#F"^ A
2个垂直和2个预倾斜侧排托架*（38°和90°），样品安装 无需工具 OQytgXED
· 每个可选的侧排托架可容纳6个S/TEM铜网 c]s (u+i
· 各种晶片和定制化样品托可按要求提供* t5ny"k!
系统控制 +X* F<6mZ
· 64位GUI（s 7）、键盘、光学鼠标 vCy.CN$
· 可同时激活多达4个视图，分别显示不同束图像和/或信号， 真彩信号混合 $n=W2WJ6f
· 本地语言支持：请与当地Thermo Fisher销售代表联系确认可用语言包 ]/aRc=Gn
· 24英寸宽屏显示器 1920 x 1200（第二台显示器可选配） VL_)]LR*)
· Joystick 操纵杆* aJK-O"0/
· 多功能控制板* WX%h4)z*
· 远程控制和成像* ; H7EB`
图像处理器 i63`B+L{
· 驻留时间范围：25纳秒 25 毫秒/像素 ]Wy^Vcq X
· 最高 6144 × 4096 像素 K:>N GGY8r
· 文件类型：TIFF (8 位、16 位、24 位)、BMP或JPEG 标配 _qC+'RE3
· SmartSCAN™ (256 帧平均或积分、线积分和平均法、跨行扫描) W; 3
R;
· DCFI (漂移补偿帧积分) p/ziFpU
支持软件 6T^N!3p_
· “Beam per view”图形用户界面，可同步激活多达4个视图 pTa'.m
· Thermo Scientific SPI™ （同步FIB加工和SEM成像）、iSPI™ （间歇式SEM成像和FIB加工）、 iRTM™（集成化实施监测）和 FIB 浸入模式，用于高级、实时SEM和FIB 过程监测和端点测量 {Ior.(D>Y
· 支持的图形：矩形、直线、圆形、清洁截面、常规截面、 多边形、位图、流文件、排除区、阵列 zVp[YOS&c
· 直接导入BMP文件或流文件进行三维刻蚀和沉积 ~I8v5 H
· 材料文件支持“最短循环时间”、束调谐和独立重叠 [5]R?bQ0q{
· 图像配准支持导入图像进行样品导航 &%| xc {i
· 光学图像上的样品导航 w$D G=!
· 撤销（Undo）/重做（Redo）功能 cOzg/~\1
· DualBeam系统基本操作及应用用户指南 L"""\5Bn(
· 智能扫描功能Smart Scan Ux_EpC
· 漂移补偿帧积分功能DCFI X)FL[RO%q
· 蒙太奇导航功能 HO 266M
· 具备束流测量装置 U -Af7qO
· 实时观察离子束加工的监控功能 w"fCI 13
3 q'K5}
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Thermoscitific原装配件* $x;tSJ)m~
· GIS气体注入: 最多四台设备，每种气体配备独立的气体注入器，防止不同气体交叉污染，以提高蚀刻或沉积效果 (其他配件可能会限制可用的GIS数量) ，可选气体化学选项超过10种: 2^ zg0!z
- 铂沉积 EH H|4;P6
- 钨沉积 #rhVzN-?)W
- 碳沉积 2. StG(Y!
- 绝缘体沉积II #D!$~ h&i
- 金沉积 QDIsC
- 增强刻蚀（碘、专利） #[no~&E
- 绝缘体增强刻蚀(XeF2) O"@?U
- Delineation EtchTM（专利） I x ( 6
- 二氧化硅增强刻蚀 f2uZK!:m
- 空坩埚，用于经批准的用户提供的材料 i0ILb/LS
- 更多束化学选项可按要求提供 PfVE v *
· Thermo Scientific EasyLiftTM 系统用于精确原位样品操纵 w0#% A K
· 用于制备好透射电镜样品后提出，与主机集成一体化控制 ot-(4Y
· 漂移：49 nm/min |C~Sr#6)7
· 步长精度：49nm /DLr(
· FIB荷电中和器 |!$ Q<-]f
· μHeater：高真空兼容，超快加热台，温度高达1200 ℃ a^@ + %?X
· 分析：EDS、EBSD、WDS、CL c eqFQ
· Thermo Scientific QuickLoaderTM ：快速真空进样器 cge-'/8w%
· DualBeam 系统冷冻解决方案： =ft9T&ciD
- 独有的CryoMAT 用于材料科学冷冻应用 ;
qO@A1 Hq
- 第三方供应商提供的解决方案 $`E4m8fX
· 隔音罩 Z$Z`@&U=
· Thermo Scientific CyroCleanerTM 系 统 {;U} :Dx
· 集成等离子清洗 !?yxh/>lM
5fU!'ajaN7
软件选项 Jm?l59bv
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· AutoTEM 4 软件：用于最快速、最简单的高度自动化 eT;AAGql
STEM 样品制备 cB{% u
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· AS&V4 软件：自动化连续刻蚀和观察，采集连续切片图 wU bmzP.
像、EDS或EBSD 图像进行三维重建 D 5=C^`$2
· Avizo 三维重建及分析软件 %(fL?
· Thermo Scientific MAPS™ 软件：用于大区域的自动图像 rU],J!LF
采集、拼接和关联 1Pu
, :Jt
· Thermo Scientific NanoBuilder™ 软件：先进的基于 5 5LgBD
CAD（GDSII）的专有解决方案，用于复杂结构FIB 和束沉积优化的纳米原型制备 AzZi{Q ?
· iFast软件：适用于DualBeam系统的高级自动化套件 ;9K[ ~
· 基于Web的数据库软件 mG
X\wta
· 高级图像分析软件 C=8H)Ef,l
保修和培训 `hzd|GmX
· 1年保修 H1Q''$}Z.
· 可选维修保养合同 o\d |CE;>
· 可选操作/应用培训合同 c qv .dC
文档和支持 ldP3n:7FS
· 在线用户向导 t / A:k
· 操作手册 AmZ uo_
· RAPID™ 支持文件（远程诊断支持）
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