| 探针台 |
2020-02-10 14:49 |
双束FIB---Scios 2 DualBeam
= iF} 41a
使用 Sidewinder HT离子镜筒快速、简便地制备高质量、定位TEM 和原子探针样品 DY<Br;
Thermo Scientific NICol™ 电子镜筒可进行超高分辨率成像， 满足最广泛类型样品（包括磁性和不导电材料）的最佳成像需求 =23JE'^=
各类集成化镜筒内及极靴下探测器，采集优质、锐利、无荷电图像，提供最完整的样品信息 T"ors]eI
可选AS&V4软件，精确定位感兴趣区域，获取优质、多模态 内部和三维信息 s 2s}5b3
高度灵活的110 mm样品台和内置的Thermo Scientific Nav-Cam™相机实现精确样品导航 l;_zXN
专用的DCFI、漂移抑制技术和Thermo Scientific SmartScan™等模式实现无伪影成像和图形加工 H%2Y8}
灵活的 DualBeam 配置，优化解决方案满足特定应用需求 iF:`rIC
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通用型高性能双束系统 (9R;a np
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Scios 2 DualBeam 提供最佳的样品制备、内部及三维表征性能，可满足最广泛类型样品的应用需求。 5 7W4E{A
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Thermo Scientifc™ Scios™ 2 DualBeam™ 系统是一款超高分辨率分析系统，可为最广泛类型的样品（包括磁性和不导电材料） 提供出色的样品制备和三维表征性能。 Scios 2 DualBeam 系统创新性的功能设计，优化了其样品处理能力、分析精度和易用性， 是满足科学家和工程师在学术、政府和工业研究环境中进行高级研究和分析的理想解决方案。该系统于2013年推出市场，MTBF>1500hr，深受广大半导体用户爱戴。 0NKo)HT
(5AgI7I,
高质量 TEM 制样 <~ E'% 60;
科学家和工程师不断面临新的挑战，需要对具有更小特征的日益复杂的样品进行高度局部化表征。Scios 2 DualBeam 系统的最新技术创新，结合最易于使用、最全面的 Thermo Scientific &Xw{%Rg
AutoTEM™4软件（可选）和专业的应用知识，可快速轻松地定位制备各类材料的高分辨S/TEM样品。 为了获得高质量的结果， 需要使用低能离子进行精抛，以最大限度地减少样品的表面损伤。Thermo Scientific Sidewinder™HT聚焦离子束（FIB）镜筒不仅可以在高电压下提供高分辨率成像和刻蚀，而且具有良好的低电压性能，可以制备高质量的TEM薄片。 ,#;%ILF4%
`72 uf<YQ
高质量内部和三维信息 A'(v] w
内部或三维表征有助于更好地理解样品的结构和性质， Scios 2 Ji %6/zV
DualBeam 系统配备 Thermo Scientific Auto Slice＆View™4 -UgD
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（AS&V4）软件，可以高质量、全自动地采集多种三维信息，其中，三维 BSE 图像提供最佳材料衬度，三维 EDS 提供成分信息， 而三维 EBSD 提供显微结构和晶体学信息。结合Thermo Scientific Avizo™软件，Scios 2 DualBeam 系统可为纳米尺度的高分辨、先进三维表征和分析提供独特的工作流程解决方案。 I[b@U<\
D4jf%7X!Lu
超高分辨成像并获取最全面的样品信息 w
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创新的NICol电子镜筒为Scios 2 DualBeam 系统的高分辨率成像和检测功能奠定了基础。无论是在STEM模式下以30 keV来获取结构信息，还是在较低的能量下从样品表面获取无荷电信息， 系统可在最广泛的工作条件下提供出色的纳米级细节。系统独特的镜头内Thermo Scientific Trinity™检测技术可同时采集角度和能量选择性SE和BSE图像。无论是将样品竖直或倾斜放置进行观察，亦或者是观察样品截面，都可快速获取最详细的纳米级信 息。可选配的透镜下探测器和电子束减速模式可确保快速、轻松 地同时采集所有信号，以显示材料表面或截面中的最小特征。依托独特的NICol镜筒设计和全自动合轴功能，用户可获得快速、准确且可重复的结果。 ai/VbV'|
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帮助所有用户提高生产力 6uWzv~!*D
Scios 2 DualBeam系统可帮助所有经验水平用户更快、更轻松 w783e
地获得高质量、可重复的结果。系统提供用户向导，使新手用户可以轻松、快速地提高工作效率。此外，诸如“撤消”和“重做”之类的功能鼓励用户开展更多类型的实验。 J UBihw4
真实环境条件的样品原位实验 hN%
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Scios 2 DualBeam系统专为材料科学中最具挑战性的材料微观 doJ\7c5uU
表征需求而设计，配备了全集成化、极快速MEMS 热台μHeater， Gp6|0:2,L~
可在更接近真实环境的工作条件下进行样品表征。110毫米样品 台可倾斜至90˚，优中心工作距离更大，确保了系统极佳的灵活性。系统可选配低真空模式，可轻松兼容各种样品类型和数据采 集。同时，系统结合了扩展的沉积和蚀刻功能、优化的样品灵活 性和控制能力，成为最通用的高性能FIB / SEM 系统，所有这些都由赛默飞的专业应用和服务支持。 b.Wf*I?
LeY! A#j
电子光学 9H ~{2Un
NICol 非浸没式超高分辨率场发射扫描镜筒，配有: \gd.Bl
· 高稳定性肖特基场发射电子枪，用于提供稳定的高分辨率 分析电流 8p3 pw=p
· 60 度双物镜透镜，支持倾斜较大的样品 3'( w6V
· 自动加热式光阑，可确保清洁和无接触式更换光阑孔 9r@T"$V#c
· 连续电子束电流控制和优化的光阑角度 X8U._/'N
· 电子枪安装和维护简单 自动烘烤，自动启动，无需机械合轴 _VIVZ2mU=
· 两级扫描偏转 JpuF 6mQ
· 双物镜透镜，结合电磁透镜和静电透镜 ,XmTKO c
· 快速电子束闸* mRI W9V
· 用户向导和镜筒预设 O/;$0`~hY
· 电子源寿命至少24个月 MguH)r` uT
电子束分辨率 Gx75EQ2
最佳工作距离下 Y)% CxaO `
· 30keV 下 STEM 0.7nm q#W7.8 Z@
· 1keV 下 1.4nm 15keV 下 1.2nm _SS6@`X
· 1keV下 电子束减速模式 0.99nm* Oh9jr"Gm=
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电子束参数 7.O1
~-
· 电子束流范围（数显，连续可调）：1pA 400nA r{~K8!=oU]
· 加速及着陆电压：20V-30KV(连续可调) 5x/q\p-{/
· 放大倍数范围：40x-1200x ]sz3:p=5
· 最大水平视场宽度：7mm工作距离下为3.0mm，60mm工作 距离下为7.0mm，样品台到束交叉点85mm @=jcdn!\M
· 导航蒙太奇功能可额外增大视场宽度 ebF},Q(48
离子光学 =d_@k[8<0
卓越的大束流Sidewinder离子镜筒 BS }uv3
· 加速电压范围：500 V - 30 kV a ^+b(&;k
· 离子束流范围：0.6pA 65nA（数值显示） 5S:&^ A<
· 15 孔光阑 0-dh Gh?.
· 标配不导电样品漂移抑制模式 l\l\T<wa,
· 离子源寿命至少1,300小时 kTQ`$V(>&
· 离子束分辨率：30 kV下 3.0 nm（采用选边统计平均值法） !" E&Tk}
探测器 h 9V9.'
· Trinity 探测系统（透镜内和镜筒内） ^0 t81,`
- T1 分割式透镜内低位探测器 1KxtHLLU
- T2 透镜内高位探测器 h~$Q\WCm#
- T3可伸缩镜筒内探测器* )F; [
- 可同步检测多达四种信号 o5+N_5OE}E
· ETD Everhart-Thornley 二次电子探测器 U4*5o~! =S
· ICE探测器 - 高性能离子转换和电子探测器，用于采集二次电子和二次离子* ZgO7W]Z4
· DBS 可伸缩式低电压、高衬度、分割式固态背散射电子探测器* '{EBK
· STEM 3+ 可伸缩分割式探测器(BF、DF、HAADF) * ["N>Po
· 样品室红外 CCD 相机，用于样品台高度观察 g M|X": j
· Nav-Cam™： 样品室内彩色光学相机，用于样品导航* x9PEYhL?
· 电子束流测量* AR\1w'
样品台和样品 CORNN8=k
灵活五轴电动样品台：
/A|cO
· XY范围：110mm _:om(gL
· Z范围：65mm 2S^xqvh
· 旋转：360 °（连续） {] -nYHGL
· 倾斜范围：-15°到 +90° Xmy(pV!PF
· XY重复精度：3μm (mHFyEG
· 最大样品高度：与优中心点间隔85mm B\bIMjXV
· 最大样品质量（0°倾斜）：2kg（包括样品托） D@ H'8C\
· 最大样品尺寸：可沿X、Y轴完全旋转时直径为110mm（若样 品超出此限值，则样品台行程和旋转会受限） DSix(bs9
· 同心旋转和倾斜 ->vfQwBFd
真空系统 'w.:I
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· 完全无油的真空系统 w&;\}IS
· 样品仓真空（高真空）：< 5.9 x 10 -6 mbar（24小时抽气后） =Fea vyx
· 抽气时间：208秒 Jg|3Wjq5
· 可选空压机和冷却循环水系统，分别用于冷却SEM镜筒及其它部件 nZQZ!Vfj
D00rO4~6D%
样品仓 9a)D 8
· 电子束和离子束夹角：52°，集成等离子清洗功能
3 Yl[J;i
· 端口：21个 NVFAmX.Z:
· 内径宽度：379mm #v-)Ie\F?
样品托 a(Z" }m
· 标准多功能样品托，以独特方式直接安装到样品台上，可容纳18个标准样品托架（φ12mm）、3个预倾斜样品托、 4BuS?
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2个垂直和2个预倾斜侧排托架*（38°和90°），样品安装 无需工具 M:?eK
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· 每个可选的侧排托架可容纳6个S/TEM铜网 451C2 %y
· 各种晶片和定制化样品托可按要求提供* fE)+9 !
系统控制 B7t #H?
· 64位GUI（s 7）、键盘、光学鼠标 n*D)RiW
· 可同时激活多达4个视图，分别显示不同束图像和/或信号， 真彩信号混合 T4Z("
· 本地语言支持：请与当地Thermo Fisher销售代表联系确认可用语言包 Fg4eIE-/M
· 24英寸宽屏显示器 1920 x 1200（第二台显示器可选配） ^f!d8
V
· Joystick 操纵杆* # eE:hiu<v
· 多功能控制板* 4$.UVW\
· 远程控制和成像* A@'):V8_%C
图像处理器 @tjC{?5Y
· 驻留时间范围：25纳秒 25 毫秒/像素 @]*z!>1
· 最高 6144 × 4096 像素 nC`#Hm.V%
· 文件类型：TIFF (8 位、16 位、24 位)、BMP或JPEG 标配 *goi^ Xp
· SmartSCAN™ (256 帧平均或积分、线积分和平均法、跨行扫描) iG! MIt*
· DCFI (漂移补偿帧积分) sut j
G`m
支持软件 $Ry
NM2YI
· “Beam per view”图形用户界面，可同步激活多达4个视图 !l6B_[!@
· Thermo Scientific SPI™ （同步FIB加工和SEM成像）、iSPI™ （间歇式SEM成像和FIB加工）、 iRTM™（集成化实施监测）和 FIB 浸入模式，用于高级、实时SEM和FIB 过程监测和端点测量 |#5JI #,vX
· 支持的图形：矩形、直线、圆形、清洁截面、常规截面、 多边形、位图、流文件、排除区、阵列 oB9Fas!N
· 直接导入BMP文件或流文件进行三维刻蚀和沉积 0; V{yh
· 材料文件支持“最短循环时间”、束调谐和独立重叠 ~`tc|Zu
· 图像配准支持导入图像进行样品导航 5
+(YcV("
· 光学图像上的样品导航 nEOhN
· 撤销（Undo）/重做（Redo）功能 oF
V9t{~j
· DualBeam系统基本操作及应用用户指南 `-EN Kr]
· 智能扫描功能Smart Scan R52q6y:<x
· 漂移补偿帧积分功能DCFI Xg!Mc<wA [
· 蒙太奇导航功能 tvRa .3
· 具备束流测量装置 0]>p|m9K^<
· 实时观察离子束加工的监控功能 ; p\rgam
m/Yi;>I(
Thermoscitific原装配件* L ?KEe>;r
· GIS气体注入: 最多四台设备，每种气体配备独立的气体注入器，防止不同气体交叉污染，以提高蚀刻或沉积效果 (其他配件可能会限制可用的GIS数量) ，可选气体化学选项超过10种: o}WbW }&
- 铂沉积 "c\T
- 钨沉积 l`$f@'k
- 碳沉积 Hg (\EEe
- 绝缘体沉积II Mz K&Jh
- 金沉积 +~FH 'DsT
- 增强刻蚀（碘、专利） wK#UFOp
- 绝缘体增强刻蚀(XeF2) Mm.!$uR
- Delineation EtchTM（专利） (:T~*7/"
- 二氧化硅增强刻蚀 o ]Vx6
- 空坩埚，用于经批准的用户提供的材料 Y, E:?
- 更多束化学选项可按要求提供 )J #@L*
· Thermo Scientific EasyLiftTM 系统用于精确原位样品操纵 fXL >L
· 用于制备好透射电镜样品后提出，与主机集成一体化控制 bk4% lYJ"
· 漂移：49 nm/min ,u]kZ ]
· 步长精度：49nm fngZ0k!
· FIB荷电中和器 $ a5K
· μHeater：高真空兼容，超快加热台，温度高达1200 ℃ ~q|^z[7
· 分析：EDS、EBSD、WDS、CL
8CEy#%7]}
· Thermo Scientific QuickLoaderTM ：快速真空进样器 +oQ@E<)H
· DualBeam 系统冷冻解决方案： 3'&]v6|
- 独有的CryoMAT 用于材料科学冷冻应用 }P}l4k1W
- 第三方供应商提供的解决方案 X#eVw|
· 隔音罩 yY_]YeeR
· Thermo Scientific CyroCleanerTM 系 统 c1 n? @L
· 集成等离子清洗 kt;X|`V{5z
m5d;lrk@&/
软件选项 I /^Lr_\
· AutoTEM 4 软件：用于最快速、最简单的高度自动化 SxT:k ,ji
STEM 样品制备 pbm4C0W}
· AS&V4 软件：自动化连续刻蚀和观察，采集连续切片图 T,?^J-h^
像、EDS或EBSD 图像进行三维重建 A H#e>kU^
· Avizo 三维重建及分析软件 ,hOJe=u46
· Thermo Scientific MAPS™ 软件：用于大区域的自动图像 ]U xx_1$,
采集、拼接和关联 54 }s:[O
· Thermo Scientific NanoBuilder™ 软件：先进的基于
2E E#60
CAD（GDSII）的专有解决方案，用于复杂结构FIB 和束沉积优化的纳米原型制备 .2 Rh_ful
· iFast软件：适用于DualBeam系统的高级自动化套件 ]i$CE|~
· 基于Web的数据库软件 !4z"a@$
· 高级图像分析软件 kc "U )>
保修和培训 ?=4J
· 1年保修 *2@ q=R-1
· 可选维修保养合同 BwBv 'p+n
· 可选操作/应用培训合同 H9jj**W ;$
文档和支持 bt
j\v[D
· 在线用户向导 }:h dAZ+z
· 操作手册 +JQN=nTA
· RAPID™ 支持文件（远程诊断支持）
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