| 探针台 |
2020-02-10 14:49 |
双束FIB---Scios 2 DualBeam
YMGy-]!o
使用 Sidewinder HT离子镜筒快速、简便地制备高质量、定位TEM 和原子探针样品 ; :e7Z^\/k
Thermo Scientific NICol™ 电子镜筒可进行超高分辨率成像， 满足最广泛类型样品（包括磁性和不导电材料）的最佳成像需求 |T#c q !
各类集成化镜筒内及极靴下探测器，采集优质、锐利、无荷电图像，提供最完整的样品信息 Fwm $0=BXL
可选AS&V4软件，精确定位感兴趣区域，获取优质、多模态 内部和三维信息 _K5<)( )
高度灵活的110 mm样品台和内置的Thermo Scientific Nav-Cam™相机实现精确样品导航 b3N IFKw
专用的DCFI、漂移抑制技术和Thermo Scientific SmartScan™等模式实现无伪影成像和图形加工 U#<d",I
灵活的 DualBeam 配置，优化解决方案满足特定应用需求 e8,_"_1 :F
}_Bo:*9B-o
通用型高性能双束系统 t@KTiJI
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Scios 2 DualBeam 提供最佳的样品制备、内部及三维表征性能，可满足最广泛类型样品的应用需求。 UlXm4\@
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Thermo Scientifc™ Scios™ 2 DualBeam™ 系统是一款超高分辨率分析系统，可为最广泛类型的样品（包括磁性和不导电材料） 提供出色的样品制备和三维表征性能。 Scios 2 DualBeam 系统创新性的功能设计，优化了其样品处理能力、分析精度和易用性， 是满足科学家和工程师在学术、政府和工业研究环境中进行高级研究和分析的理想解决方案。该系统于2013年推出市场，MTBF>1500hr，深受广大半导体用户爱戴。 $-_" SWG.
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高质量 TEM 制样 [d`Jw/4n
科学家和工程师不断面临新的挑战，需要对具有更小特征的日益复杂的样品进行高度局部化表征。Scios 2 DualBeam 系统的最新技术创新，结合最易于使用、最全面的 Thermo Scientific I=`? 4%
AutoTEM™4软件（可选）和专业的应用知识，可快速轻松地定位制备各类材料的高分辨S/TEM样品。 为了获得高质量的结果， 需要使用低能离子进行精抛，以最大限度地减少样品的表面损伤。Thermo Scientific Sidewinder™HT聚焦离子束（FIB）镜筒不仅可以在高电压下提供高分辨率成像和刻蚀，而且具有良好的低电压性能，可以制备高质量的TEM薄片。 (6%T~|a
~tUZQ 5"
高质量内部和三维信息 pj'gTQ),0
内部或三维表征有助于更好地理解样品的结构和性质， Scios 2 ,@Csa#
DualBeam 系统配备 Thermo Scientific Auto Slice＆View™4 !G%!zNA S
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（AS&V4）软件，可以高质量、全自动地采集多种三维信息，其中，三维 BSE 图像提供最佳材料衬度，三维 EDS 提供成分信息， 而三维 EBSD 提供显微结构和晶体学信息。结合Thermo Scientific Avizo™软件，Scios 2 DualBeam 系统可为纳米尺度的高分辨、先进三维表征和分析提供独特的工作流程解决方案。 'afW'w@
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超高分辨成像并获取最全面的样品信息 "|\hTRQ
创新的NICol电子镜筒为Scios 2 DualBeam 系统的高分辨率成像和检测功能奠定了基础。无论是在STEM模式下以30 keV来获取结构信息，还是在较低的能量下从样品表面获取无荷电信息， 系统可在最广泛的工作条件下提供出色的纳米级细节。系统独特的镜头内Thermo Scientific Trinity™检测技术可同时采集角度和能量选择性SE和BSE图像。无论是将样品竖直或倾斜放置进行观察，亦或者是观察样品截面，都可快速获取最详细的纳米级信 息。可选配的透镜下探测器和电子束减速模式可确保快速、轻松 地同时采集所有信号，以显示材料表面或截面中的最小特征。依托独特的NICol镜筒设计和全自动合轴功能，用户可获得快速、准确且可重复的结果。 .0Ud?v>=
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帮助所有用户提高生产力 92-Xz6Bo9
Scios 2 DualBeam系统可帮助所有经验水平用户更快、更轻松 b[vE!lJEq
地获得高质量、可重复的结果。系统提供用户向导，使新手用户可以轻松、快速地提高工作效率。此外，诸如“撤消”和“重做”之类的功能鼓励用户开展更多类型的实验。 ,>| t Q'
真实环境条件的样品原位实验 01Jav~WR
Scios 2 DualBeam系统专为材料科学中最具挑战性的材料微观 T!
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表征需求而设计，配备了全集成化、极快速MEMS 热台μHeater， z$<=8ox8e
可在更接近真实环境的工作条件下进行样品表征。110毫米样品 台可倾斜至90˚，优中心工作距离更大，确保了系统极佳的灵活性。系统可选配低真空模式，可轻松兼容各种样品类型和数据采 集。同时，系统结合了扩展的沉积和蚀刻功能、优化的样品灵活 性和控制能力，成为最通用的高性能FIB / SEM 系统，所有这些都由赛默飞的专业应用和服务支持。 H UJqB0D
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电子光学 81RuNs]
NICol 非浸没式超高分辨率场发射扫描镜筒，配有: 8~ y!X0Ov!
· 高稳定性肖特基场发射电子枪，用于提供稳定的高分辨率 分析电流 sbvP1|P8%
· 60 度双物镜透镜，支持倾斜较大的样品 >iyNZ]."\
· 自动加热式光阑，可确保清洁和无接触式更换光阑孔 /fQcrd7h
· 连续电子束电流控制和优化的光阑角度 ~|u;z,\
· 电子枪安装和维护简单 自动烘烤，自动启动，无需机械合轴 W83d$4\d
· 两级扫描偏转 DLwlA !z
· 双物镜透镜，结合电磁透镜和静电透镜 <XL%*
· 快速电子束闸* o sc8;B/
· 用户向导和镜筒预设 tmGh JZ2j
· 电子源寿命至少24个月 mtUiO
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电子束分辨率 & zn|),
最佳工作距离下 RqROl!6
· 30keV 下 STEM 0.7nm 4'faE="1)S
· 1keV 下 1.4nm 15keV 下 1.2nm Vy& X1lG:
· 1keV下 电子束减速模式 0.99nm* p 5In9s
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电子束参数 %+r(*Q+0$f
· 电子束流范围（数显，连续可调）：1pA 400nA $Go S?\G
· 加速及着陆电压：20V-30KV(连续可调) nS#F*)
· 放大倍数范围：40x-1200x \Y, P
· 最大水平视场宽度：7mm工作距离下为3.0mm，60mm工作 距离下为7.0mm，样品台到束交叉点85mm MpKXC
· 导航蒙太奇功能可额外增大视场宽度 HSud$(w
离子光学 $ #^3>u
卓越的大束流Sidewinder离子镜筒
Z%#e* O0
· 加速电压范围：500 V - 30 kV =K@LEZZ'/<
· 离子束流范围：0.6pA 65nA（数值显示） R/u0,
· 15 孔光阑 hn .(pI1
· 标配不导电样品漂移抑制模式 &4E|c[HN
· 离子源寿命至少1,300小时 ['QhC( {
· 离子束分辨率：30 kV下 3.0 nm（采用选边统计平均值法） Ioe.[&o6B
探测器 :M6|V_Yp
· Trinity 探测系统（透镜内和镜筒内） eg~
Dm>Es
- T1 分割式透镜内低位探测器 mI2Gs) SO
- T2 透镜内高位探测器 ZW M:Wj192
- T3可伸缩镜筒内探测器* hGFi|9/-u
- 可同步检测多达四种信号 U["<f`z4\
· ETD Everhart-Thornley 二次电子探测器 mq{Z
Q'
· ICE探测器 - 高性能离子转换和电子探测器，用于采集二次电子和二次离子* $7X;FmlG&
· DBS 可伸缩式低电压、高衬度、分割式固态背散射电子探测器* +sJ{9# 6
· STEM 3+ 可伸缩分割式探测器(BF、DF、HAADF) * xpZ@DK;
· 样品室红外 CCD 相机，用于样品台高度观察 (,"%fc7<i
· Nav-Cam™： 样品室内彩色光学相机，用于样品导航* xK8m\=#
· 电子束流测量* zGe =l;
样品台和样品 x~'_;>]r_
灵活五轴电动样品台： QAI=nrlp
· XY范围：110mm H2 8-;>'`
· Z范围：65mm !/`AM<`o
· 旋转：360 °（连续） \*PE#RB#6
· 倾斜范围：-15°到 +90° /XG7M=A$o
· XY重复精度：3μm j gV^{8qG
· 最大样品高度：与优中心点间隔85mm eDo4>k"5
· 最大样品质量（0°倾斜）：2kg（包括样品托） 6oKlr,.
· 最大样品尺寸：可沿X、Y轴完全旋转时直径为110mm（若样 品超出此限值，则样品台行程和旋转会受限） 4FneP i~i
· 同心旋转和倾斜 vkLt#yj~
真空系统 0gyvRM@ x[
· 完全无油的真空系统 ,! SbH
· 样品仓真空（高真空）：< 5.9 x 10 -6 mbar（24小时抽气后） 6n:X
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· 抽气时间：208秒 Z=hn }QY.(
· 可选空压机和冷却循环水系统，分别用于冷却SEM镜筒及其它部件 "-fy X!
y 2k's
样品仓 3 {H!B&sb
· 电子束和离子束夹角：52°，集成等离子清洗功能 K[SzE{5=P
· 端口：21个 R||$Wi[$
· 内径宽度：379mm MPp:EH
样品托 yR F+
· 标准多功能样品托，以独特方式直接安装到样品台上，可容纳18个标准样品托架（φ12mm）、3个预倾斜样品托、 @#"K 6
2个垂直和2个预倾斜侧排托架*（38°和90°），样品安装 无需工具 2+|r*2_glo
· 每个可选的侧排托架可容纳6个S/TEM铜网 yyPj!<.MGP
· 各种晶片和定制化样品托可按要求提供* <)cmI .J3
系统控制 m Gz'%?zj
· 64位GUI（s 7）、键盘、光学鼠标
-vT$UP
· 可同时激活多达4个视图，分别显示不同束图像和/或信号， 真彩信号混合 lY S4Q`z$
· 本地语言支持：请与当地Thermo Fisher销售代表联系确认可用语言包 bq7()ocA
· 24英寸宽屏显示器 1920 x 1200（第二台显示器可选配） GNG.N)q#C
· Joystick 操纵杆* Vg (p_k45`
· 多功能控制板* hAi'|;g
· 远程控制和成像* 9<Zm}PE32
图像处理器 U ;4;>
· 驻留时间范围：25纳秒 25 毫秒/像素 "{{@N4^
· 最高 6144 × 4096 像素 N9c#N%cu
· 文件类型：TIFF (8 位、16 位、24 位)、BMP或JPEG 标配 1 ^Q!EV
· SmartSCAN™ (256 帧平均或积分、线积分和平均法、跨行扫描) PH sM)V+
· DCFI (漂移补偿帧积分) 11J:>A5zt
支持软件 DL_M#c`<
· “Beam per view”图形用户界面，可同步激活多达4个视图 EY1L5 Ba.
· Thermo Scientific SPI™ （同步FIB加工和SEM成像）、iSPI™ （间歇式SEM成像和FIB加工）、 iRTM™（集成化实施监测）和 FIB 浸入模式，用于高级、实时SEM和FIB 过程监测和端点测量 6{Bvl[mhI
· 支持的图形：矩形、直线、圆形、清洁截面、常规截面、 多边形、位图、流文件、排除区、阵列 */]1?M@P )
· 直接导入BMP文件或流文件进行三维刻蚀和沉积 (yu0iXZY
· 材料文件支持“最短循环时间”、束调谐和独立重叠 ^J?2[(
· 图像配准支持导入图像进行样品导航 8W.-Y|[5?
· 光学图像上的样品导航 fQU_A
· 撤销（Undo）/重做（Redo）功能 d[(%5pw~zL
· DualBeam系统基本操作及应用用户指南 wS2N,X/Y
· 智能扫描功能Smart Scan Qe<c@i"
· 漂移补偿帧积分功能DCFI oRn 5blj
· 蒙太奇导航功能 wRWKem=
· 具备束流测量装置 YkV-]%c
· 实时观察离子束加工的监控功能 {.,y v>%
lVb;,C %K
Thermoscitific原装配件* 4_eF c$^
· GIS气体注入: 最多四台设备，每种气体配备独立的气体注入器，防止不同气体交叉污染，以提高蚀刻或沉积效果 (其他配件可能会限制可用的GIS数量) ，可选气体化学选项超过10种: v2 #qs*sW8
- 铂沉积 ku5g`h o
- 钨沉积 3~0X e
- 碳沉积 j%0 g *YI
- 绝缘体沉积II ?y{"OuRf.
- 金沉积 b~G|Bhx a
- 增强刻蚀（碘、专利） 8j %lM/ v
- 绝缘体增强刻蚀(XeF2) ; UjP0z
- Delineation EtchTM（专利） !91<K{#A{
- 二氧化硅增强刻蚀 %hzNkyD)Y
- 空坩埚，用于经批准的用户提供的材料 wa9{Q}wSa
- 更多束化学选项可按要求提供 `=foB-(zt
· Thermo Scientific EasyLiftTM 系统用于精确原位样品操纵 20uR? /|@
· 用于制备好透射电镜样品后提出，与主机集成一体化控制 7W#9ki1
· 漂移：49 nm/min I."4u~[
· 步长精度：49nm jd DcmR
· FIB荷电中和器 HY k*;mD
· μHeater：高真空兼容，超快加热台，温度高达1200 ℃ Yc'7F7.<6
· 分析：EDS、EBSD、WDS、CL (aH_K07
· Thermo Scientific QuickLoaderTM ：快速真空进样器 2|^bDg;W+u
· DualBeam 系统冷冻解决方案： 8<ri "m,
- 独有的CryoMAT 用于材料科学冷冻应用 DU4Prjb'
- 第三方供应商提供的解决方案 cXokq
· 隔音罩 4~r=[|(aY
· Thermo Scientific CyroCleanerTM 系 统 KK*"s^ L
· 集成等离子清洗 )%OV|\5#
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软件选项 A&0sD}I\K
· AutoTEM 4 软件：用于最快速、最简单的高度自动化 C>7k|;BvF
STEM 样品制备 mY1$N}8fm
· AS&V4 软件：自动化连续刻蚀和观察，采集连续切片图 xH8nn3U
像、EDS或EBSD 图像进行三维重建
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· Avizo 三维重建及分析软件 }F R yG%
· Thermo Scientific MAPS™ 软件：用于大区域的自动图像 Hv>Hz*s_I
采集、拼接和关联 Om2
)$(
· Thermo Scientific NanoBuilder™ 软件：先进的基于 "|"bo5M:
CAD（GDSII）的专有解决方案，用于复杂结构FIB 和束沉积优化的纳米原型制备 @le2 3+q
· iFast软件：适用于DualBeam系统的高级自动化套件 0)qLW&
w
· 基于Web的数据库软件 \*w*Q(&3
· 高级图像分析软件 f;% 4O'
保修和培训 i_&&7.
· 1年保修 uEuK1f`
· 可选维修保养合同 Z)(C7,Xu
· 可选操作/应用培训合同 -OuMC&
文档和支持 2S8/
lsB
· 在线用户向导 1 8!0H l>
· 操作手册 %P9Zx!i>
· RAPID™ 支持文件（远程诊断支持）
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