探针台 |
2020-01-17 11:11 |
失效分析中的静电
一,什么是静电 g&) XaF[! 当两种材料一起摩擦,一种材料丢失电子,另一种则收集电子,前者带正电,后者则带负电,如果两种摩擦的物体在分离的过程中电荷难以中和,电荷即会积累使物体带上静电。静电就是一种物体上的非移动的充电。 44b;]htv 二,静电放电 Ak^g#^c* 如果带静电的物体遇到合适的机会,它会将所带的电荷放掉,又回到中性,此过程即是静电放电ESD。 8 YsDE_ 三,静电对电子元件之影响 ;i@,TU 物体放电形式主要通过低电阻区域,放电电流I= Q/t,即静电电荷变化量与完成这些静电电荷变化所用的时间之比。当I足够大时,能影响P-N结热击穿接合点,导致氧气层击穿,引起即时的和不可逆转的损坏,但这种损坏只有10%可引起产品即时损坏,90%的产品可毫无觉察地通过测试,流到客户手里,但它的可靠性却大大地降低了,并且静电可吸附灰尘,降低基片净化度,使IC成品率下降。 k9xfv@v} 四,静电产生的宏观原因 Rra<MOR 环境如地面,装修隔间,温湿度。 d@JjqE[ 工具和材料 清洗机,吸管,镊子,物流车,周转箱,烘箱,纸片,工作机台等。 QGs\af 工作者及其活动 人的动作如脱衣,起立,被感应,接触带电,剥离,冲击,摩擦。 }$?xwcPU 五,静电的防护 S2'./!3yv qlNK } 1,静电防护原则: 少产生,不积累,快泄放。 s sUWr=mD 2,静电防护基本方法:泄漏,中和,屏蔽 :>c33X} 环境方面,铺设防静电地毯,地板,台垫,入口处工作处接地线等防静电消除器。控制温湿度,使用离子风机,静电环。 ZkSlztL)Tr 器材方面,防静电工作服,鞋,腕带,导电泡沫板,防静电文件盒,周转箱,物流车,包装袋,抗静电剂等。 :=C-P7
产品设计方面,将静电防护体现到元件和产品设计中,尽量使用对静电不敏感的元件,或者在器件内部设置静电防护元件,对使用的静电放电敏感器件提供适当的输入保护。 ,C1}gPQ6<
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