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2020-01-03 11:26 |
VirtualLab：用于光学测量的菲索干涉仪
摘要 d-Sm<XHu.
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斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备，它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹，我们构建了一个菲索干涉仪，并利用它测试了不同的光学表面，例如圆柱形和球形。 可以看出，产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 *ce h
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倾斜平面下的观测条纹 ? xy~N?N
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圆柱面下的观测条纹 5[0n'uH
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球面下的观测条纹 Pd>hd0!.%
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VirtualLab Fusion 流程 Oq[t gmf
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VirtualLab Fusion 技术 k{uc%6s
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（来源：讯技光电）
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