超光滑表面及其制造技术的发展

摘要：超光滑表面制造技术是超精密加工技术的一个重要分支。通过介绍超光滑表面的特征、应用及其制造技术的发展，希望给出超光滑表面技术的整体轮廓。在介绍超光滑表面的概念及其主要特征的基础上，通过典型例证指出了超光滑表面在软X射线光学、激光陀螺等科技领域的重要应用。回顾了超光滑表面制造技术的发展过程，对各种超光滑表面加工原理与方法进行了简单描述与评价，最后提出了对超光滑表面制造技术的发展趋势的观点。

关键词：超精密加工；超光滑表面；抛光；粗糙度

大博归来	2019-12-24 20:17
算是超光滑表面加工的综述，但有种感觉，像是文章里缺点什么

cmy0522	2020-09-07 16:37
谢谢分享！

jabil	2020-09-14 12:14
let me use the article

jabil	2020-10-08 12:22
good article thanks

l小飞	2022-04-25 13:15
谢谢分享

那小子	2022-05-05 16:00
谢谢分享

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