| xunjigd |
2019-12-09 16:31 |
VirtualLab：全场光学相干扫描干涉仪
摘要 (VYY-%N`
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 AtRu)v6r
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建模任务 2|vArRKt
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仿真干涉条纹 W2 L:
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VirtualLab Fusion中的工作流程 =M"H~;f]
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•设置输入场 WVc3C-h,
−基本光源模型[教程视频] "(y",!U@
•使用导入的数据自定义表面轮廓 Mq-Q Wx"P
•定义元件的位置和方向 Qq;` 9-&j
− LPD II：位置和方向[教程视频]
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•正确设置通道以进行非序列追迹 0HUSN_3F
−非序列追迹的通道设置[用例] aC0[ OmbG
•使用参数运行检查影响/变化 >$=-0?.
−参数运行文档的使用[用例] -.A%c(|Q
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VirtualLab Fusion技术 Ov1$7 r@
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更多阅览 VuqN)CE^Uq
- Laser-Based Michelson Interferometer and Interference Fringe Exploration Xg:w;#r,
- Mach-Zehnder Interferometer "KQ3 EI/g
- Fizeau Interferometer for Optical Testing 8<(qN> R
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（来源：讯技光电）
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