| xunjigd |
2019-12-09 16:31 |
VirtualLab：全场光学相干扫描干涉仪
摘要 >y@w-,1he
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 & Gt9a-ne
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VirtualLab Fusion中的工作流程 '$VR_N\
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•设置输入场 ZjK~s)RC
−基本光源模型[教程视频] +1%6-g4 "
•使用导入的数据自定义表面轮廓 6M9rC[h\
•定义元件的位置和方向 { 1+H\ (v
− LPD II：位置和方向[教程视频] Mg$Z^v |}0
•正确设置通道以进行非序列追迹 A0ToX) |C
−非序列追迹的通道设置[用例] GwULtRa/
•使用参数运行检查影响/变化 4Ojw&ys@V
−参数运行文档的使用[用例] IY&a!
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（来源：讯技光电）
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