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xunjigd 2019-11-25 17:04

VirtualLab:分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 LQ.0"6oj  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 <<[\ Rv  
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[attachment=96956] 8c0ugM  
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建模任务 WiCJhVF3  
l6k.`1.In  
[attachment=96957] W#lt_2!j  
概述 Jqgo\r%`  
b{hdEb  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 C{P:1ELYXH  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 $>!tpJw  
|aMeh;X t  
[attachment=96958] #JW~&;  
f,QBj{M,  
光线追迹仿真 cHk ?$  
[pYjH+<  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 mUjM5ceAXO  
•单击go! ipn 0WQG  
•获得了3D光线追迹结果。 vK,.P:n  
!=rJ~s F/{  
[attachment=96959] AG(Gtvw  
Q<d|OX  
光线追迹仿真 /eNDv(g)M  
"?#O*x  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 f~Q]"I8w  
•单击go! nZ8f}R!f:  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 UZb!tO2  
".Sa[A;~  
[attachment=96960] {2MS,Ua{  
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场追迹仿真 ?-D'xqc  
BhCOT+i;c  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 I2^ Eo5'  
•单击go! [3fmhc  
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[attachment=96961] Tg\wBhJr|  
wzz> N@|  
场追迹仿真(相机探测器) bbxo!K m"  
:zLeS-  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 tB==v{t  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 (YKkJ  
r0/o{Y|l6  
[attachment=96962] hz*H,E!>  
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场追迹仿真(电磁场探测器) yy#4DYht  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 w~l%xiC  
]iE) 8X  
[attachment=96963] p~NFiZ,  
0;avWa)Q  
场追迹仿真(电磁场探测器) L|N[.V9  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Ch,%xs.)G  
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[attachment=96964] b?deZ2"L#  
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文件信息 p{S#>JTr  
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(来源:讯技光电)
l3x13999 2019-11-26 17:02
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