| xunjigd |
2019-11-25 17:04 |
VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 +Kxe ymwr2
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 9Ilfv
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建模任务 z4 GN8:~x
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概述 rhlW
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 tI/mE[W
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 "`gf y
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光线追迹仿真 4d{ "S02h
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 8 :3oH!n
•单击go！ 4 ~]8N@Bii
•获得了3D光线追迹结果。 y9l#;<b
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光线追迹仿真 |!jYv'%
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 |k[ ' wqn"
•单击go！ +O.&64 (
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 7gZVg@
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场追迹仿真 4z-,M7iP
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 &2<&X( )
•单击go！ OI]K_ m3
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场追迹仿真（相机探测器） Nw3I
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ZB_16&2Ow
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 cc 2 oFn
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场追迹仿真（电磁场探测器） '7O{*=`oj
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 J?n)FgxS
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场追迹仿真（电磁场探测器） G|6 |;
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 jFPE>F7-M
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文件信息 5(MZ%-~l
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-Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination k.%W8C<Pa
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（来源：讯技光电）
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