| xunjigd |
2019-11-25 17:04 |
VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 wy,p &g)>
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。
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建模任务 0? 0J z
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概述 b)# Oc,
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 \qh *E#j
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 5W? v'"
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光线追迹仿真 HQP}w%8x
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 I5 m][~6.?
•单击go！ . T JEUK
•获得了3D光线追迹结果。 m Lk(y*
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光线追迹仿真 kgdT7
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。
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•单击go！ 81LNkE ,
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 v
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场追迹仿真 Kf tgOG
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 }Z-Z| G)#
•单击go！ wI B`%V
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场追迹仿真（相机探测器） C)'q
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 9^Fz iM
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ZK;z m
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场追迹仿真（电磁场探测器） xL|;VyD
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Q\ /uKQ
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场追迹仿真（电磁场探测器） >_OYhgs 1w
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 g_5Q A)4x
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（来源：讯技光电）
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