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xunjigd 2019-11-25 17:04

VirtualLab:分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 NB .&J7v  
M^?=!!US^  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 &Tn7  
Y^ ti;:  
[attachment=96956] B[{Ie G'  
W<OO:B.ty  
建模任务 A,f%0 eQR  
Yvxp(  
[attachment=96957] ghVxcK  
概述 }< m@82\  
1Jn:huV2  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 zmp Q=%/H  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 yL%k5cO$N  
//H3{^{  
[attachment=96958] ~glFB`?[  
fH[:S9@  
光线追迹仿真 c69M   
ko<VB#pOMr  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 d$*SVd:  
•单击go! liG3   
•获得了3D光线追迹结果。 a&~]77)  
#Cz6c%yK  
[attachment=96959] -Drm4sTpDb  
(??|\ &DTi  
光线追迹仿真 aShZdeC*f  
Mb[4G>-v=  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ICI8xP}a?  
•单击go! hR3Pa'/i  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 $[-{Mm  
tmf= 1M  
[attachment=96960] 7LdNE|IP  
Zjh9jvsW  
场追迹仿真 DozC>  
L7&|  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 )#n>))   
•单击go! %D:5 S?{  
>5!/&D.q  
[attachment=96961] Cb/?hT  
ofA6EmQ37  
场追迹仿真(相机探测器) |~3$L\X  
.+c YzS] !  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 3((53@s98  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 *>XY' -;2e  
,Uv8[ci%9  
[attachment=96962] pd{;`EW|  
TAu*lL(F  
场追迹仿真(电磁场探测器) L5*,l`lET  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 WsCzC_'j.  
,`JXBI~  
[attachment=96963] t(:6S$6{e  
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场追迹仿真(电磁场探测器) d#eHX|+  
WxS=Aip'  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ~Zd n#z\  
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文件信息 ^Y:Q%?uB/  
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更多阅读 uhLg2G^h  
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-Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer 6]}Xi:I  
-Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination Hvq< _&2  
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(来源:讯技光电)
l3x13999 2019-11-26 17:02
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