首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题
光行天下 -> FRED,VirtualLab -> VirtualLab:分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

xunjigd 2019-11-25 17:04

VirtualLab:分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 h] (BTb#-  
fJ3*'(  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 sz'IGy%  
Q]Fm4  
[attachment=96956] 94umk*ib  
j7vp@l6`L  
建模任务 wsyG~^>  
f*VBSg[`  
[attachment=96957] 6O^'J~wiI  
概述 $ePBw~yu  
3%<Uq%pJ  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Xi]WDH \  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 B*+3A!{s  
l@8UL</W  
[attachment=96958] gxX0$\8o7  
@Fp-6J  
光线追迹仿真 Mt@P}4   
u; xl}  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 / -ebx~FX&  
•单击go! ?qeBgkL(B^  
•获得了3D光线追迹结果。 edh?I1/  
+UxhSFU  
[attachment=96959] 7a@%^G @!  
s6(iiB%d  
光线追迹仿真 [Yx)`e  
'1lr "}"Q+  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 D@V1}/$UoN  
•单击go! etX &o5A  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 =(f+geA"hm  
HSk gS  
[attachment=96960] x~Eg ax  
:/N/u5.]  
场追迹仿真 ]&za^%q0&  
4~Ptn/ g  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 *t{$GBP  
•单击go! qc}r.'p  
 =#N;ZG  
[attachment=96961] Ex'6 WN~kD  
\bze-|C  
场追迹仿真(相机探测器) Lw 7,[?,Z  
i<N[sO  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 `mro2A  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 m>C}T  
$]4>;gTL'  
[attachment=96962] 4J=6A4O5Z  
)$#]h]ac  
场追迹仿真(电磁场探测器) 'iM;e K  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 <#U9ih 2  
3PB#m.N<  
[attachment=96963] 3/P# 2&jt  
?dJ-g~  
场追迹仿真(电磁场探测器) {Mc^[}9  
9o<}*L   
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ~$1Zw&X  
NZ(c>r6  
[attachment=96964] ;b=3iT-2"  
2s{PE  
文件信息 nezdk=8J/  
G.2ij%Zz  
[attachment=96965] W+3ZuAP\n  
9Foo8e  
更多阅读 G3{t{XkV  
'J R2@W`]]  
-Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer ^qL2Q*  
-Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination -LF0%G  
Cx$M  
(来源:讯技光电)
l3x13999 2019-11-26 17:02
收藏一下
查看本帖完整版本: [-- VirtualLab:分析高数值孔径物镜的聚焦特性 --] [-- top --]

Copyright © 2005-2025 光行天下 蜀ICP备06003254号-1 网站统计