| xunjigd |
2019-11-25 17:04 |
VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 m <gdyY
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 1[egCC\Mo_
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建模任务 579Q&|L.
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概述 %['NPs%B
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 )]>t (
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 m#+0m!
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[attachment=96958] c &c
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光线追迹仿真 +)c<s3OCE
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 \' O/3Y7?X
•单击go！ =ejcP&- V/
•获得了3D光线追迹结果。 H I9/
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[attachment=96959] +w0Wg.4 V
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光线追迹仿真 2 a@X-Di
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 b: (+d"S
•单击go！ 7w73,r/D8A
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 J.iz%8
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场追迹仿真 \>$zxC_
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ?>7\L'n=5I
•单击go！ nOC\ =<Nsg
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场追迹仿真（相机探测器） ;(K/O?nrJ
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 $NCvF'
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 #19O5
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场追迹仿真（电磁场探测器） Rd8mn'A
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 gV)/lDEM5
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场追迹仿真（电磁场探测器） .*NPoW4Kv
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 A^lm 0[3q
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文件信息 %lbvK^
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更多阅读 @o[Z J4>*
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-Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer Ft;x@!h %
-Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination mBIksts5 h
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（来源：讯技光电）
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