| xunjigd |
2019-11-25 17:04 |
VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 |
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Zfyr& ]"
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建模任务 / [YH
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概述 7_ g}t!b`
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 S/CT;M@W
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 oXG,8NOdC
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光线追迹仿真 HVzG }r(J
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 nfck3h
•单击go！ '|n-w\
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•获得了3D光线追迹结果。 2ul!f7#E
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光线追迹仿真 c #+JG
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 e"^* ~'mJ
•单击go！ uUb[Dqn
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 AZ cW f8
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场追迹仿真 +^hFs7je)
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 a?%X9 +1A
•单击go！ H" f%\'
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场追迹仿真（相机探测器） E7^r3#s
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 X<J
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•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 |) QE+|?P
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场追迹仿真（电磁场探测器） 'VCF{0{H~
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 XPE{]4 g
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场追迹仿真（电磁场探测器） F n4i[|W42
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ,o\v umx
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文件信息 HjUs }#</
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（来源：讯技光电）
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