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2019-11-25 17:04 |
VirtualLab:分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 AO|1m$xf jZ:/d!$S 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 %e3E}m> b{{ H@LTW [attachment=96956] /e^) *r :Ea|FAeK8 建模任务 <r`;$K
;Q4,I[?% [attachment=96957] pV;0Hcy 概述 E)f9`][ \ym^~ Q| •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ysl#Rwt/2 •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 z@pa;_ 4[MTEBx [attachment=96958] o0S8ki 1
A0BM 光线追迹仿真 /c 7z[| l^B4.1rT •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 vyB{35p$ •单击go! "#-iD •获得了3D光线追迹结果。 )*{B_[ +`>E_+Mp [attachment=96959] 96QY0
b4bd^nrqV 光线追迹仿真 GKSF(Tnj &}7R\co3 •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 0GeL">v,:= •单击go! W*#5Sk •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 Ip=QtNW3\ g,M-[o=Fk [attachment=96960] ^Jq('@ @xa$two 场追迹仿真 9p3~WA/M@ R){O]<+ •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ;in-)`UC! •单击go! GEh( pJ Zf<T`'_d [attachment=96961] $x]/|u/9 "J2q|@. 场追迹仿真(相机探测器) ]?wz. {=mGXd`x?l •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 GiEt;8 •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 %O" Whe 4;CI<&S [attachment=96962] t8h*SHD9 C58o="L3S 场追迹仿真(电磁场探测器) nXoDI1<[ •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Zl3e=sg= qm:C1#<p
[attachment=96963] X9]} UX Q1x&Zm1v 场追迹仿真(电磁场探测器) 9X;*GC;d 1E&S{. •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 PuGs%{$(h ?Z?(ky! [attachment=96964] Og1vD5a 5V =mj+X? 文件信息 hCr,6nc C =RRv&
"2r [attachment=96965] 2zh-ms ,zHL8SiTX 更多阅读 S2*sh2-&6 y2s(]#8 -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer k_wcol,W -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination Xo~q}(ze^ 1 Ga3[g
(来源:讯技光电)
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