| xunjigd |
2019-11-25 17:04 |
VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 @a3v[}c*
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ,B>b9,~3a
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建模任务 q9]L!V 9Rv
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[attachment=96957] Oj\mkg
概述 @x
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 J, >PLQAa
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 4u7>NQUDu
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[attachment=96958] K0a
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光线追迹仿真 h( up1(x
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 'm R+W{r
•单击go！ {Oszq(A
•获得了3D光线追迹结果。 ' "
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[attachment=96959] POs~xaZ`H
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光线追迹仿真 W}3vY]
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 6[7k}9`alz
•单击go！ >*CK@"o
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 {m GWMv
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场追迹仿真 4tWI)}+ak
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 f
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•单击go！ (DAJ( r~
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场追迹仿真（相机探测器） ?yK\L-ad
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 "
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•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 M+:wa@K l
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场追迹仿真（电磁场探测器） pT tX [CE
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 9f`Pi:*+/
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[attachment=96963] ]+P &Y:
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场追迹仿真（电磁场探测器） pM3BBF%
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 UtN>6$u
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-Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer #C^m>o~R
-Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination eHR<(8c'f
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（来源：讯技光电）
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