| xunjigd |
2019-11-25 17:04 |
VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 h] (BTb#-
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 sz' IGy%
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建模任务 wsyG~^>
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概述 $ePBw~yu
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Xi]WDH \
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 B*+3A! {s
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[attachment=96958] gxX0$\8o7
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光线追迹仿真 Mt@P}4
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 / -ebx~FX&
•单击go！ ?qeBgkL(B^
•获得了3D光线追迹结果。 edh?I1/
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光线追迹仿真 [Yx)`e
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 D@V1}/$UoN
•单击go！ etX &o5A
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 =(f+geA"hm
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场追迹仿真 ]&za^%q0&
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 *t{$GBP
•单击go！ qc}r.'p
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[attachment=96961] Ex'6 WN~kD
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场追迹仿真（相机探测器） Lw
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 `mro2A
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 m>C}T
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[attachment=96962] 4J=6A4O5Z
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场追迹仿真（电磁场探测器） 'iM;e K
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 <#U9ih
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场追迹仿真（电磁场探测器） {Mc^[}9
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ~$1Zw&X
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文件信息 nezdk=8 J/
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更多阅读 G3{t{XkV
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-Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer ^qL2Q*
-Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination -LF0% G
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（来源：讯技光电）
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