xunjigd |
2019-11-25 17:04 |
VirtualLab:分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 h] (BTb#- fJ3*'( 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 sz' IGy% Q]Fm4 [attachment=96956] 94umk*ib j7vp@l6`L 建模任务 wsyG~^> f*VBSg[` [attachment=96957] 6O^'J~wiI 概述 $ePBw~yu 3%<Uq%pJ •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Xi]WDH \ •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 B*+3A!{s l@8UL</W [attachment=96958] gxX0$\8o7 @Fp-6J 光线追迹仿真 Mt@P}4 u;xl} •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 /-ebx~FX& •单击go! ?qeBgkL(B^ •获得了3D光线追迹结果。 edh?I1/ +UxhSFU [attachment=96959] 7a@%^G @! s6(iiB%d 光线追迹仿真 [Yx)`e '1lr "}"Q+ •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 D@V1}/$UoN •单击go! etX&o5A •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 =(f+geA"hm HSk gS [attachment=96960] x~Egax :/N/u5.] 场追迹仿真 ]&za^%q0& 4~Ptn / g •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 *t{$GBP •单击go! qc}r.'p =#N;ZG [attachment=96961] Ex'6 WN~kD \bze-|C 场追迹仿真(相机探测器) Lw
7,[?,Z i<N[s O •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 `mro2A •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 m>C}T $]4>;gTL' [attachment=96962] 4J=6A4O5Z )$#]h]ac 场追迹仿真(电磁场探测器) 'iM;e K •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 <#U9ih
2 3PB#m.N< [attachment=96963] 3/P#2&jt ?dJ-g~ 场追迹仿真(电磁场探测器) {Mc^[}9 9o<}*L •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ~$1Zw&X NZ(c>r6 [attachment=96964] ;b=3iT-2" 2s{PE 文件信息 nezdk=8J/ G.2ij%Zz [attachment=96965] W+3ZuAP\n 9Foo8e 更多阅读 G3{t{XkV 'JR2@W`]] -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer ^qL2Q* -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination -LF0%G Cx $M
(来源:讯技光电)
|
|