| xunjigd |
2019-11-25 17:04 |
VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 L* ScSxw
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 P76gJ@#m
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建模任务 *?VB/yO=0
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概述 -:~ z,F
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 J4s`U/F
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 *1T~ ruNqa
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[attachment=96958] J(A+mYr{:
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光线追迹仿真 FC
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 [&l+V e(
•单击go！ "ZA`Lp;%w
•获得了3D光线追迹结果。 j,Qb'|f5
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光线追迹仿真 *}_i[6_\E
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ;bL?uL
•单击go！ .4[M-@4+]
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ?}S!8;d
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场追迹仿真
OAE a+V
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ca,c+5
•单击go！ Hl*#iUq
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场追迹仿真（相机探测器） : qV|rih_Q
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Ih;D-^RQ
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 - s2Yhf
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场追迹仿真（电磁场探测器） iR8;^C.aT
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ;<%d^
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场追迹仿真（电磁场探测器） A5O; C
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 yA`,ns&n
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文件信息 O<X NI(@
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更多阅读 qSaCl6[Do
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-Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer U]ZI_[\'U
-Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination eO{2rV45O
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（来源：讯技光电）
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