首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题
光行天下 -> FRED,VirtualLab -> VirtualLab:分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

xunjigd 2019-11-25 17:04

VirtualLab:分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 AO|1m$xf  
jZ:/d!$S  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 %e3E}m>  
b{{ H@LTW  
[attachment=96956] /e^) *r  
:Ea|FAeK8  
建模任务 <r`;$K  
 ;Q4,I[?%  
[attachment=96957] pV;0Hcy  
概述 E)f9`][  
\ym^~ Q|  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ysl#Rwt/2  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 z@pa;_  
4[MTEBx  
[attachment=96958] o0S 8ki  
1 A0BM  
光线追迹仿真 /c 7z[|  
l^B4.1rT  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 vyB{35p$  
•单击go! "#-iD  
•获得了3D光线追迹结果。 )*{B_[  
+`>E_+Mp  
[attachment=96959] 96QY0  
b4bd^nrqV  
光线追迹仿真 GKSF(Tnj  
&}7R\co3  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 0GeL">v,:=  
•单击go! W*#5Sk  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 Ip=QtNW3\  
g,M-[o=Fk  
[attachment=96960] ^Jq('@  
@xa$two  
场追迹仿真 9p3~WA/M@  
R){O]<+  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ;in-)`UC!  
•单击go! GEh(pJ  
Z f<T`'_d  
[attachment=96961] $x]/|u/9  
"J2q|@.  
场追迹仿真(相机探测器) ]?wz.  
{=mGXd`x?l  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 GiEt;8  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 %O"Whe  
4;CI< &S  
[attachment=96962] t8h*SHD9  
C58o="L3S  
场追迹仿真(电磁场探测器) nXoDI1<[  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Zl3e=sg=  
qm:C1#<p   
[attachment=96963] X9]} UX  
Q1x&Zm1v  
场追迹仿真(电磁场探测器) 9X;*GC;d  
1E&S{.  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 PuGs%{$(h  
?Z?(ky!  
[attachment=96964] Og1vD5a  
5V =mj+X?  
文件信息 hCr,6ncC  
=RRv& "2r  
[attachment=96965] 2zh- ms  
,zHL8SiTX  
更多阅读 S2*sh2-&6  
y2s(]# 8  
-Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer k_wcol,W  
-Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination Xo~q}(ze^  
1 Ga3[ g  
(来源:讯技光电)
l3x13999 2019-11-26 17:02
收藏一下
查看本帖完整版本: [-- VirtualLab:分析高数值孔径物镜的聚焦特性 --] [-- top --]

Copyright © 2005-2025 光行天下 蜀ICP备06003254号-1 网站统计