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2019-11-25 17:04 |
VirtualLab:分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 NB.&J7v M^?=!!US^ 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 &Tn7 Y^ti;: [attachment=96956] B[{Ie
G' W<OO:B.ty 建模任务 A,f%0
eQR Yvxp( [attachment=96957] ghVxcK 概述 }<
m@82\ 1Jn:huV2 •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 zmpQ=%/H •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 yL%k5cO$N //H3{^{ [attachment=96958] ~glFB`?[ fH[:S9@ 光线追迹仿真 c69M
ko<VB#pOMr •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 d$*SVd: •单击go! liG3
•获得了3D光线追迹结果。 a&~]77) #Cz6c%yK [attachment=96959] -Drm4sTpDb (??|\
&DTi 光线追迹仿真 aShZdeC*f Mb[4G>-v= •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ICI8xP}a? •单击go! hR3Pa'/i •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 $[-{Mm tmf=1M [attachment=96960] 7LdNE|IP Zjh9jvsW 场追迹仿真 DozC> L7&| •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 )#n>))
•单击go! %D:5 S?{ >5!/&D.q [attachment=96961] Cb/?hT ofA6EmQ37 场追迹仿真(相机探测器) |~3$L\X .+cYzS]! •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 3((53@s98 •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 *>XY' -;2e ,Uv8[ci%9 [attachment=96962] pd{;`EW| TAu*lL(F 场追迹仿真(电磁场探测器) L5*,l`lET •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 WsCzC_'j. ,`JXBI~ [attachment=96963] t(:6S$6{e >MIp r 场追迹仿真(电磁场探测器) d#eHX|+ WxS=Aip' •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ~Zd n#z\ {l7@<xZ??M [attachment=96964] 8c'0"G@S &sx|sLw) 文件信息 ^Y:Q%?uB/ = *A_{u;E [attachment=96965] g loo].z =c8U:\0 更多阅读 uhLg2G^h 1% )M-io -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer 6]}Xi:I -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination Hvq< _&2 NB&u^8b
(来源:讯技光电)
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