| xunjigd |
2019-11-25 17:04 |
VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 NB .&J7v
M^?=!!US^
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 &Tn7
Y^ ti;:
[attachment=96956] B[{Ie
G'
W<OO:B.ty
建模任务 A,f%0
eQR
Yvxp(
[attachment=96957] ghV xcK
概述 } <
m@82\
1Jn:huV2
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 zm p Q=%/H
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 yL%k5cO$N
//H 3{^{
[attachment=96958] ~glFB`?[
fH[:S9@
光线追迹仿真 c69M
ko<VB#pOMr
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 d$*SVd :
•单击go！ liG3
•获得了3D光线追迹结果。 a& ~]77)
#Cz6c%yK
[attachment=96959] -Drm4sTpDb
(??|\
&DTi
光线追迹仿真 aShZdeC*f
Mb[4G>-v=
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ICI8xP}a?
•单击go！ h R3Pa'/i
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 $ [-{Mm
tmf= 1M
[attachment=96960] 7LdNE|IP
Zjh9jvsW
场追迹仿真 DozC>
L7&|
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 )#n>))
•单击go！ %D:5 S?{
>5!/&D.q
[attachment=96961] Cb/?hT
ofA6EmQ37
场追迹仿真（相机探测器） |~3$L\ X
.+c YzS] !
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 3((53@s98
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 *>XY' -;2e
,Uv8[ci%9
[attachment=96962] pd{;`EW|
TAu*lL(F
场追迹仿真（电磁场探测器） L5*,l`lET
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 WsCzC_'j.
,`JXBI~
[attachment=96963] t(:6S$6{e
> M Ip r
场追迹仿真（电磁场探测器） d#eHX|+
WxS=Aip'
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ~Zd n#z \
{l7@<xZ??M
[attachment=96964] 8c' 0"G@S
&sx|s Lw)
文件信息 ^Y:Q%?uB/
= *A_{u;E
[attachment=96965] g loo] .z
=c8U:\0
更多阅读 uhLg2G^h
1% )M-io
-Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer 6]}Xi:I
-Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination Hvq< _&2
NB&u^8b
（来源：讯技光电）
|
|
