| xunjigd |
2019-11-25 17:04 |
VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 P) GBuW
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 oD~VK,.
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建模任务 O1rnF3 Be
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[attachment=96957] oACuI|b
概述 K.b-8NIUW
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 SvDVxK
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 <E$5LP;:
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光线追迹仿真 R}>Gk
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 h_x"/z&
•单击go！ V0ulIKck
•获得了3D光线追迹结果。 }|{yd03 +
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光线追迹仿真 QZt/Rm>W0
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Qighvei
•单击go！ c,X\1yLy
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ]%ikr&78u
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场追迹仿真 ]0V~ |<0c
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 'hf-)\Ylf
•单击go！ /|`;|0/2
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场追迹仿真（相机探测器） uTBls8
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 E3_EXz9 h
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 o24` 5Jdh
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场追迹仿真（电磁场探测器） - :*PXu
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 QYyF6ht=!
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场追迹仿真（电磁场探测器） LL#7oBJdM
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 c ^Rz?2x
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-Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer rm1R^ n
-Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination 0 r_8/|N#
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（来源：讯技光电）
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