| xunjigd |
2019-11-25 17:04 |
VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 T7s+9CE
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 <L%HG
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建模任务 F *.
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概述 9M nem*
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 v$Dh.y
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 o KlF5I
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光线追迹仿真 a0)vvo=bz
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 [ (!Q- 8
•单击go！ Jfe~ ,cI
•获得了3D光线追迹结果。 PQQgDtiH
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光线追迹仿真 Fz{ o-4
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 7/ 4~>D&-b
•单击go！ XpOCQyFnM
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 YdPlN];[
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场追迹仿真 oUCS |
I M$ 'J
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 z/pDOP Ku
•单击go！ B>1M$3`E
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场追迹仿真（相机探测器） Z=0iPy,m>
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 :u,2" ]
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 cPx66Dh&
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场追迹仿真（电磁场探测器） k& n\
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 XA=|]5C
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场追迹仿真（电磁场探测器） JiG8jB7%}
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 3xc:Y>
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文件信息 avF&F
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（来源：讯技光电）
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