| xunjigd |
2019-11-25 17:04 |
VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 hZ.Sj~> 7`
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 tn;e
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建模任务 nbw&+d cJ8
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概述 1^ R @X
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 OibW8A4Z1
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Oe^3YOR#j{
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光线追迹仿真 '+Dn~8Y+9
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 9">}@1k
•单击go！ [Ym?"YwVX
•获得了3D光线追迹结果。 UM o =bs
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光线追迹仿真 y)|Q~8r
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 8N!E`{W
•单击go！ -Duy: C6W
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ji o1 #&
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场追迹仿真 xqO'FQO%
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 3otia ;&B
•单击go！ #wNksh/J^
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场追迹仿真（相机探测器） ~o= Sxaf
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 N/TU cG|m\
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 @YMef `T:
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场追迹仿真（电磁场探测器） m gL~ $
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 *|Q'?ty(x
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场追迹仿真（电磁场探测器） nyi }~sB
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 a:Y6yg%1>
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文件信息 I(#Y\>DG
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-Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer sk\U[#ohH
-Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination >t)vQ&:;u
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（来源：讯技光电）
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