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2019-11-25 17:04 |
VirtualLab:分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 LQ.0"6oj <+)B8I^ 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 <<[\
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5 [attachment=96956] 8c0ugM -q}I;
cH 建模任务 WiCJhVF3 l6k.`1.In [attachment=96957] W#lt_2!j 概述 Jqgo\r%` b{hdEb •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 C{P:1ELYXH •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 $>!tpJw |aMeh;X t [attachment=96958] #JW~ &; f,QBj{M, 光线追迹仿真 cHk ?$ [pYjH+< •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 mUjM5ceAXO •单击go! ipn0WQG •获得了3D光线追迹结果。 vK,.P:n !=rJ~s
F/{ [attachment=96959] AG(Gtvw Q<d|OX 光线追迹仿真 /eNDv(g)M "?#O*x •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 f~Q]"I8w •单击go! nZ8f}R!f: •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 UZb!tO2 ".Sa[A;~ [attachment=96960] {2MS,Ua{ _omz74 场追迹仿真 ?-D'xqc BhCOT+i;c •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 I2^Eo5' •单击go! [3fmhc 9 7Mi{Zz [attachment=96961] Tg\wBhJr| wzz>N@| 场追迹仿真(相机探测器) bbxo!K
m" :zLeS- •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 tB==v{t •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 (YKkJ r0/o{Y|l6 [attachment=96962] hz*H,E!> $61j_;WF` 场追迹仿真(电磁场探测器) yy#4DYht •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 w~l%xiC ]iE)8X [attachment=96963] p~NFiZ, 0;avWa)Q 场追迹仿真(电磁场探测器) L|N[.V9 /j:fc?yv •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Ch,%xs.)G UhVJ! NrT [attachment=96964] b?deZ2"L# r"\g6<RP 文件信息 p{S#>JTr qF57T>v| [attachment=96965] B[B(=4EzMP do&0m[x% 更多阅读 %"g; K fNaboNj[ -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer f5dctDHP -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination WpPI6bd ! j-JMa?
(来源:讯技光电)
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