| xunjigd |
2019-11-25 17:04 |
VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 vkan+~H
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 e!}R 1
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建模任务 Y7) YJI
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概述 emb~l{K $
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 JMN1+:7i
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 8}m] XO
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光线追迹仿真 +ib72j%A
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 o
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•单击go！ Nzz" w_ #
•获得了3D光线追迹结果。 Bsw5A7,-
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光线追迹仿真 E]6C1 C&K
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 HS| &["
•单击go！ yB(^ t`)}N
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 >:5/V0;,
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场追迹仿真 |/zE(ePc{
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 M~;Ww-./
•单击go！ ?f[#O& #
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场追迹仿真（相机探测器） $I! vQbi
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 {[o=df/
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 o6K\z+.{
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场追迹仿真（电磁场探测器） Ab
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 draY /
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场追迹仿真（电磁场探测器） ?n> h /[/
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 pUZe.S> G
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文件信息 z#GZvB/z)
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（来源：讯技光电）
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