| xunjigd |
2019-11-25 17:04 |
VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 LQ.0"6oj
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 <<[\
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建模任务 WiC JhVF3
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概述 Jqgo\r%`
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 C{P:1ELYXH
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 $>!t pJw
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光线追迹仿真 cHk ?$
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 mUjM5ceAXO
•单击go！ ipn 0WQ G
•获得了3D光线追迹结果。 vK,.P:n
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光线追迹仿真 /eNDv(g)M
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 f~Q]"I8w
•单击go！ nZ8f}R!f:
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 UZb!tO2
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场追迹仿真 ?-D'xqc
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 I2^ Eo5'
•单击go！ [3fmhc
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场追迹仿真（相机探测器） bbxo !K
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 tB==v{t
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 (YKkJ
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场追迹仿真（电磁场探测器） yy#4DYht
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 w~l%x iC
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场追迹仿真（电磁场探测器） L|N[.V 9
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Ch,%xs.)G
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文件信息 p{S #>JTr
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（来源：讯技光电）
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