| xunjigd |
2019-11-25 17:04 |
VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 w^ui%9
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 6^ wg'u]c
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建模任务 5dMIv<#T`
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概述 q5BJ sw
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 2K..
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•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 }[!;c+ke
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光线追迹仿真 `kwyF27v]
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 go]d+lhFB
•单击go！ +; C|5y
•获得了3D光线追迹结果。 Umv _{n`
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光线追迹仿真 Y5-X)f
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 u,PrEmy-
•单击go！ !H~!i.m'-
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 3 _f Laf A
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场追迹仿真 y@~.b^?_u
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 }.NR+:0
•单击go！ oFoG+H"&7\
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场追迹仿真（相机探测器） A!Ng@r
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 n-D r/c4
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 WN>.+qM~8
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场追迹仿真（电磁场探测器） 5 f/[HO)
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 OMJr.u
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场追迹仿真（电磁场探测器） 5c{=/} Y
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 @*is]d+ Ya
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文件信息 |1J "r.K
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-Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer 6XFO@c}d
-Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination J#Bz )WmR
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（来源：讯技光电）
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