| xunjigd |
2019-11-22 10:35 |
VirtualLab：高NA (数值孔径)物镜的分析
高NA(数值孔径)物镜常用于光学显微及光刻，并已广泛在其他应用中得以使用。众所周知，在高数值孔径物镜的使用中，电磁场矢量特性的影响是不可忽略的。一个众所周知的例子就是由高NA(数值孔径)物镜聚焦线性偏振圆光束时，焦斑的不对称性:焦斑不再是圆的，而是拉长的。我们通过具体的物镜实例来说明了这些效应，并演示了如何在VirtualLab Fusion中使用不同的探测器分析焦斑。 O}VI8O B(&
GWP;; x%
高数值孔径物镜的聚焦分析 Q 5R7se_
[attachment=96860] ,1>A Bz
高数值孔径(NA)物镜广泛用于光学光刻、显微系统等。在对焦斑的模拟中考虑光的矢量性质是非常重要的。 sA6Ku(9
sR% ,l
高数值孔径(NA)物镜系统的先进点扩散函数计算 ZUE?19GA
[attachment=96861] %\xwu(|kN
当线性偏振高斯光束经高数值孔径(NA)非球面透镜聚焦时，由于矢量效应，焦平面上的PSF呈现非对称性。 SVvR]T&_
zD8q(]: A
有关更多信息，请发送邮件至: support@infotek.com.cn / support@infocrops.com )dFTH?Mpo
网址: http://www.infotek.com.cn / http://www.honglun-seminary.com QC+oSb!!?
cZn B 2T?
（来源：讯技光电） r +X%0@K
|
|