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2019-11-22 10:35 |
VirtualLab:高NA (数值孔径)物镜的分析
高NA(数值孔径)物镜常用于光学显微及光刻,并已广泛在其他应用中得以使用。众所周知,在高数值孔径物镜的使用中,电磁场矢量特性的影响是不可忽略的。一个众所周知的例子就是由高NA(数值孔径)物镜聚焦线性偏振圆光束时,焦斑的不对称性:焦斑不再是圆的,而是拉长的。我们通过具体的物镜实例来说明了这些效应,并演示了如何在VirtualLab Fusion中使用不同的探测器分析焦斑。 "CdL?( ^D(N_va<
高数值孔径物镜的聚焦分析 S
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[attachment=96860] 5-Vdq 高数值孔径(NA)物镜广泛用于光学光刻、显微系统等。在对焦斑的模拟中考虑光的矢量性质是非常重要的。 Y!LcS48X -X ~VXeg
高数值孔径(NA)物镜系统的先进点扩散函数计算 (~Pb,Q
[attachment=96861] /jQW4eW0 当线性偏振高斯光束经高数值孔径(NA)非球面透镜聚焦时,由于矢量效应,焦平面上的PSF呈现非对称性。 W6t"n_%?" Kb~s'cTxIO 有关更多信息,请发送邮件至: support@infotek.com.cn / support@infocrops.com @,D 3$P8} 网址: http://www.infotek.com.cn / http://www.honglun-seminary.com RLN>*X CPVR
(来源:讯技光电) GZ#6}/;b
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