| xunjigd |
2019-11-07 15:31 |
VirtualLab：倾斜光栅的参数优化与容差分析
摘要 L5""
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对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 blph&[`}I
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VirtualLab Fusion一瞥 )6iY9[@tN
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VirtualLab Fusion中的工作流程
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构建光栅结构 2 ]5dSXD
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] rA&|!1q"B
−倾斜光栅高级设定[用例] {M U >5\
•光栅衍射效率分析 Ji4c8*&Jpc
−光栅阶序分析器[用例] 5i7,s
•使用参数优化进行光栅参数优化 6Lz{/l8
•使用参数运行的容差分析 `o
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VirtualLab Fusion技术 U|6 ME%xm
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（来源：讯技光电）
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