| xunjigd |
2019-11-07 15:31 |
VirtualLab：倾斜光栅的参数优化与容差分析
摘要 51B lM%
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对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 Vz=a uM1xZ
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设计任务 fbvbz3N
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结果-容差分析 {a(&J6$VE
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VirtualLab Fusion一瞥 Vr[czfROz'
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VirtualLab Fusion中的工作流程 yifY%! @Xu
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构建光栅结构 wI B`%V
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] `o]g~AKX
−倾斜光栅高级设定[用例] %V9ZyQg%*
•光栅衍射效率分析 RwI[R)k
−光栅阶序分析器[用例] C)'q
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•使用参数优化进行光栅参数优化 :r #)z4d5
•使用参数运行的容差分析 B.r4$:+jb2
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VirtualLab Fusion技术 %p^.|Me7
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（来源：讯技光电）
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