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2019-11-06 17:44 |
高性能中档行程线性平移台
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品牌：Newport .
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概述：ILS 系列是坚固耐用的亚微米分辨率线性平移台，采用轻巧、坚硬的铝制机身和可靠的组件，适用于高占空比的应用。 /n(9&'H<
优势特点： 658\#x8|
无侧隙滚珠丝杠 ILS 平移台包含有预装的无侧隙滚珠丝杠，可实现具有较短步进时间和稳定时间的平滑且快速的运动。螺杆型材的设计在于减少热效应，从而延长平移台的使用寿命。 \F[n`C"Is
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循环滚珠轴承滑块 借助精确的线性轨迹，循环滚珠轴承滑轨可提供优异的有效载荷和更长的使用寿命。它可以缓解滚珠轴承罩移位的问题，该问题通常出现在线性滚珠轴承或交叉滚子轴承上。 &%6NQWW
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FEM - 优化的铝制机身 优化的铝制机身可实现极高的刚性，以及在不影响重量的情况下最小化双金属弯曲。坚固的机身减少了负载下的偏移。 3i6h"Wu`n
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集成编码器 4000 pts/rev 的编码器直接安装在螺杆上，这样可防止出现螺杆/电机耦合误差，从而提高平移台运动精度。HA 版本具有 0.3 μm MIM 的集成线性标度。 )qmFK
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技术参数： > <X $#
行程范围 150 mm )Xp V u
最大速度 100 mm/s aF!WIvir
最小位移增量 1000 nm ER_ 3'
中心负载 250 N RYH)AS4w'
轴向负载 (+Cx) 40 N [NL -!
逆轴向负载 (-Cx) -40 N >d97l&W
精度，典型值 ±1.5 μm s0 47"Q
精度，保证值 ±2.5 μm 0T mZ*?3!4
单向重复精度，典型值 ±0.25 μm '^DU q?E4
单向重复精度，保证值 ±0.5 μm 3+%nn+m
双向重复精度，典型值 ±0.45 μm 6(>WG R
双向重复精度，保证值 ±1.0 μm S_$nCyaH2
俯仰，典型值 ±37 μrad oJh"@6u 6K
俯仰，保证值 ±75 μrad :kt/$S^-
俯仰顺应性 10 μrad/Nm jccO sG9;_
偏摆，典型值 ±20 μrad xvB8YW"
偏摆，保证值 ±65 μrad zC#%6@P\
偏摆顺应性 10 μrad/Nm PV(4$I}
滚转顺应性 15 μrad/Nm h"r!q[MN o
驱动方式 DC Motor z>p ]/Sa
反馈 Rotary Encoder
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