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2019-11-06 17:44 |
高性能中档行程线性平移台
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品牌：Newport .qYQ3G'V
概述：ILS 系列是坚固耐用的亚微米分辨率线性平移台，采用轻巧、坚硬的铝制机身和可靠的组件，适用于高占空比的应用。 v,~f G>Y}
优势特点： l:/x &=w
无侧隙滚珠丝杠 ILS 平移台包含有预装的无侧隙滚珠丝杠，可实现具有较短步进时间和稳定时间的平滑且快速的运动。螺杆型材的设计在于减少热效应，从而延长平移台的使用寿命。 Ets6tM`
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循环滚珠轴承滑块 借助精确的线性轨迹，循环滚珠轴承滑轨可提供优异的有效载荷和更长的使用寿命。它可以缓解滚珠轴承罩移位的问题，该问题通常出现在线性滚珠轴承或交叉滚子轴承上。 s?9Y3]&+&M
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FEM - 优化的铝制机身 优化的铝制机身可实现极高的刚性，以及在不影响重量的情况下最小化双金属弯曲。坚固的机身减少了负载下的偏移。 R/ E6n &R
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集成编码器 4000 pts/rev 的编码器直接安装在螺杆上，这样可防止出现螺杆/电机耦合误差，从而提高平移台运动精度。HA 版本具有 0.3 μm MIM 的集成线性标度。 cAVdH{$"
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技术参数： _.]mE S|
行程范围 150 mm ^k^? >h
最大速度 100 mm/s yQ<h>J>
最小位移增量 1000 nm ;GOu'34j
中心负载 250 N "j8=%J{
轴向负载 (+Cx) 40 N \K%M.>]vq
逆轴向负载 (-Cx) -40 N !SnLvW89Z
精度，典型值 ±1.5 μm [Ne'2z
精度，保证值 ±2.5 μm (64es)B }"
单向重复精度，典型值 ±0.25 μm 6
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单向重复精度，保证值 ±0.5 μm 1Q9Hs(s
双向重复精度，典型值 ±0.45 μm V=1zk-XC
双向重复精度，保证值 ±1.0 μm W| 0))5a
俯仰，典型值 ±37 μrad 0u( 0*Xl
俯仰，保证值 ±75 μrad x 7 i<dg&
俯仰顺应性 10 μrad/Nm <|82)hO
偏摆，典型值 ±20 μrad R(P(G;#j
偏摆，保证值 ±65 μrad w?N>3`Jnf
偏摆顺应性 10 μrad/Nm C#)T$wl[E
滚转顺应性 15 μrad/Nm + IjBeQ?
驱动方式 DC Motor P-8QXDdr
反馈 Rotary Encoder
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