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shsources 2019-11-06 17:44

高性能中档行程线性平移台

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a`f@&A`z  
S`FIb'J  
z,SI  
品牌:Newport hf2bM `d  
概述:ILS 系列是坚固耐用的亚微米分辨率线性平移台,采用轻巧、坚硬的铝制机身和可靠的组件,适用于高占空比的应用。 >,3uu}s  
优势特点: H7;, Kr  
无侧隙滚珠丝杠 ILS 平移台包含有预装的无侧隙滚珠丝杠,可实现具有较短步进时间和稳定时间的平滑且快速的运动。螺杆型材的设计在于减少热效应,从而延长平移台的使用寿命 ~;Y Tz  
Z^as ?k(iM  
循环滚珠轴承滑块 借助精确的线性轨迹,循环滚珠轴承滑轨可提供优异的有效载荷和更长的使用寿命。它可以缓解滚珠轴承罩移位的问题,该问题通常出现在线性滚珠轴承或交叉滚子轴承上。 Kn@#5MC rU  
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FEM - 优化的铝制机身 优化的铝制机身可实现极高的刚性,以及在不影响重量的情况下最小化双金属弯曲。坚固的机身减少了负载下的偏移。 +ls`;f  
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集成编码器 4000 pts/rev 的编码器直接安装在螺杆上,这样可防止出现螺杆/电机耦合误差,从而提高平移台运动精度。HA 版本具有 0.3 μm MIM 的集成线性标度。 $m*Gu:#xm&  
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技术参数: #(Gz?kGAH`  
行程范围 150 mm 0^u Ut-  
最大速度 100 mm/s Tjrb.+cua  
最小位移增量 1000 nm m26YAcip}  
中心负载 250 N @d 7V@F0d  
轴向负载 (+Cx) 40 N mS![J69(  
逆轴向负载 (-Cx) -40 N Ow4(1eE_  
精度,典型值 ±1.5 μm we^' R}d  
精度,保证值 ±2.5 μm L{8_6s(:  
单向重复精度,典型值 ±0.25 μm sHk>ek]2I  
单向重复精度,保证值 ±0.5 μm O]@#53)Tz  
双向重复精度,典型值 ±0.45 μm !Pnjr T  
双向重复精度,保证值 ±1.0 μm dr=Q9%  
俯仰,典型值 ±37 μrad >|kD(}Axf  
俯仰,保证值 ±75 μrad y||RK` H  
俯仰顺应性 10 μrad/Nm J-dB  
偏摆,典型值 ±20 μrad EUcD[Rv  
偏摆,保证值 ±65 μrad YJ"D"QD  
偏摆顺应性 10 μrad/Nm   *w*>\ZhOm  
滚转顺应性 15 μrad/Nm   JOt(r}gU  
驱动方式 DC Motor lbIPtu  
反馈 Rotary Encoder
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