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2019-11-06 17:44 |
高性能中档行程线性平移台
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品牌：Newport F{;#\Ob
概述：ILS 系列是坚固耐用的亚微米分辨率线性平移台，采用轻巧、坚硬的铝制机身和可靠的组件，适用于高占空比的应用。 R;!@
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优势特点： 0uIY6e0E
无侧隙滚珠丝杠 ILS 平移台包含有预装的无侧隙滚珠丝杠，可实现具有较短步进时间和稳定时间的平滑且快速的运动。螺杆型材的设计在于减少热效应，从而延长平移台的使用寿命。 bS;_xDXd
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循环滚珠轴承滑块 借助精确的线性轨迹，循环滚珠轴承滑轨可提供优异的有效载荷和更长的使用寿命。它可以缓解滚珠轴承罩移位的问题，该问题通常出现在线性滚珠轴承或交叉滚子轴承上。 { j 9Tz R
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FEM - 优化的铝制机身 优化的铝制机身可实现极高的刚性，以及在不影响重量的情况下最小化双金属弯曲。坚固的机身减少了负载下的偏移。 r@}`Sw]@
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集成编码器 4000 pts/rev 的编码器直接安装在螺杆上，这样可防止出现螺杆/电机耦合误差，从而提高平移台运动精度。HA 版本具有 0.3 μm MIM 的集成线性标度。 'x{oAtCP9
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技术参数： d_d&su
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行程范围 150 mm u&#>)h
最大速度 100 mm/s & n;*'M
最小位移增量 1000 nm ,\J 8(,%L
中心负载 250 N :Bmn<2[Y;
轴向负载 (+Cx) 40 N 3 nG.ah
逆轴向负载 (-Cx) -40 N BW7AjtxQ&
精度，典型值 ±1.5 μm $/s"It
精度，保证值 ±2.5 μm $*942. =Q
单向重复精度，典型值 ±0.25 μm ~w3u(X$m"
单向重复精度，保证值 ±0.5 μm pe
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双向重复精度，典型值 ±0.45 μm o3dqsQE%
双向重复精度，保证值 ±1.0 μm !h4T3sO
俯仰，典型值 ±37 μrad y
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俯仰，保证值 ±75 μrad -$W1wb9z
俯仰顺应性 10 μrad/Nm ":$4 /b6
偏摆，典型值 ±20 μrad V. &F%(L
偏摆，保证值 ±65 μrad 9^W7i]-Z
偏摆顺应性 10 μrad/Nm 9 Gd 6/2
滚转顺应性 15 μrad/Nm
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驱动方式 DC Motor {lWV H
反馈 Rotary Encoder
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