大口径大曲率半径光学元件的高精度检测

摘要：针对目前已有的光学检测设备无法实现大口径大曲率半径光学元件高精度检测的问题，提出利用长程轮廓仪（ LTP）来进行大口径大曲率半径（正、负）光学元件的精确测量，并通过实验证明了LTP检测大曲率半径光学元件的优势。分析计算LTP测量曲率半径的算法精度，设计了合理的机械结构进行旋转测量，得到了全口径的曲率半径分布。最后与球径仪、刀口仪的测量结果进行了对比。对R=37.108m和R=41.065m的球面镜测量结果显示， LTP的测量重复性在0.05%以内，与球径仪、刀口仪的测量值相差均在0.05%以内。研究结果表明，LTP可以用来解决目前几十米的大R曲率半径光学元件难以高精度测量的难题。

关键词：长程轮廓仪；曲率半径测量；算法精度；旋转测量

吴甜甜	2019-10-27 18:59
看看，学习

ggyy	2019-10-29 14:39
学习学习，谢谢分享。

szlsft	2019-12-03 18:51
学习了！感谢分享！

gchen0331	2020-11-05 01:57
感谢楼主分享，学习学习！

wjt2026388	2021-10-17 18:06
有光学透镜材料(牌号)判定的同仁没有，我这里可以无损检测透镜材料（折射率），准确度到小数点后3位或4位。也可以测透镜透过率（紫外可见近红外） 13683273427 武

jabil	2021-10-20 12:19
let me see the file

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