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2019-09-27 11:08 |
扫描电子显微镜
扫描电子显微镜,是自上世纪60年代作为商用电镜面世以来迅速发展起来的一种新型的电子光学仪器,被广泛地应用于化学、生物、医学、冶金、材料、半导体制造、微电路检查等各个研究领域和工业部门。如图1所示,是扫描电子显微镜的外观图。 8c%N+E] D7thLqA 特点 ?u{Mz9:?HT 制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大、保真度高、有真实的三维效应等,对于导电材料,可直接放入样品室进行分析,对于导电性差或绝缘的样品则需要喷镀导电层。 "K|':3n| {~\:4 基本结构 t >64^nS 从结构上看,如图2所示,扫描电镜主要由七大系统组成,即电子光学系统、信号探测处理和显示系统、图像记录系统、样品室、真空系统、冷却循环水系统、电源供给系统。 'wBOnGi6 IY}GU 2#
>)>~S_u B/~ubw #~|esr/wf 图2:扫描电子显微镜结构图(图片来源:西南石油大学能源材料实验教学中心) La7}zXx &d!ASa &=Y%4vq 其中最重要的三个系统是电子光学系统、信号探测处理和显示系统以及真空系统。 ja{x}n*5 -
ikq#L){ |`I9K#w3 1、电子光学系统 B.b sU 电子光学系统包括电子枪、电磁透镜、扫描线圈、样品室等,主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成象。 3c` op&j4R _39VL 电子枪:用于产生电子,主要分类如下: 6l"4F6 种类 (r<F@)J 原理 #7J3,EV 优点 &MONg=s3 缺点 +&1#ob"6lq 场致发射电子枪 zJ8 jJFL+Y 利用场致发射效应产生电子 4;IZ}9|G 具有至少1000小时以上的寿命,且不需要电磁透镜系统 q.ppYXJUXi 在十万美元以上,且需要小于10-10torr的极高真空 `RqV\ 6G+ 钨枪 eNFA.*p< 利用热发射效应产生电子 WL\*g] K4 价格便宜 r6:nYyF$)v 寿命在30~100小时之间,成象不如其他两种明亮 Bq,Pk5b 六硼化镧/六硼化铈枪 ?U*s H2F 寿命介于场致发射电子枪与钨枪之间为200~1500小时,价格约为钨枪的十倍,图像比钨枪明亮5~10倍,需要略高于钨枪的真空,一般在10-7torr以上 gp{Z]{io MLDAr dvK |;C;d"JC2 电磁透镜:热发射电子需要电磁透镜来成束,所以在用热发射电子枪的扫描电镜上,电磁透镜必不可少。通常会装配两组:汇聚透镜和物镜,汇聚透镜仅仅用于汇聚电子束,与成象会焦无关;物镜负责将电子束的焦点汇聚到样品表面。 c-?0~A R~dWblv RHt~:D3* 扫描线圈的作用是使电子束偏转,并在样品表面作有规则的扫动,电子束在样品上的扫描动作和显像管上的扫描动作保持严格同步,因为它们是由同一扫描发生器控制的。 $yFR{_] 0+rBGk bU4\Yu
样品室内除放置样品外,还安置信号探测器。 LA,G>#?H ^g+M=jq _ 'EU|w,GL} 2、信号探测处理和显示系统 w*4sT+
P 电子经过一系列电磁透镜成束后,打到样品上与样品相互作用,会产生二次电子、背散射电子、俄歇电子以及X射线等一系列信号。所以需要不同的探测器譬如二次电子探测器、X射线能谱分析仪等来区分这些信号以获得所需要的信息。虽然X射线信号不能用于成象,但习惯上,仍然将X射线分析系统划分到成象系统中。 ab_EH}j1\q !ZN"(0#qz AeW_W0j 有些探测器造价昂贵,比如Robinsons式背散射电子探测器,这时,可以使用二次电子探测器代替,但需要设定一个偏压电场以筛除二次电子。 R"71)ob4 $! UEpQ `~qVo4V6Z 3、真空系统 rAu@`H? 真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。 Hn?v/3 niCq`! wA%,_s/U 真空柱是一个密封的柱形容器。真空泵用来在真空柱内产生真空。有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类,机械泵加油扩散泵的组合可以满足配置钨灯丝枪的扫描电镜的真空要求,但对于装置了场致发射枪或六硼化镧及六硼化铈枪的扫描电镜,则需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成象系统和电子束系统均内置在真空柱中。真空柱底端即为右图所示的样品室,用于放置样品。 4e|(= W` )x&>Cf<, 8{-bG8L> 5 需要真空的原因包括:一是电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效,所以需要抽真空。二是为了增大电子的平均自由程,从而使得用于成象的电子更多。 RJOyPZ] $0;Dk, kx[h41|n 基本结构 wOl]N2< 扫描电子显微镜是利用材料表面微区的特征(如形貌、原子序数、化学成分、或晶体结构等)的差异,在电子束作用下通过试样不同区域产生不同的亮度差异,从而获得具有一定衬度的图像。成像信号是二次电子、背散射电子或吸收电子,其中二次电子是最主要的成像信号[2]。图3为其成像原理图,高能电子束轰击样品表面,激发出样品表面的各种物理信号,再利用不同的信号探测器接受物理信号转换成图像信息。 ur/:aI Zu^J X/um ].
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F r1xhplHH@ 图3:扫描电子显微镜成像原理图(图片来源:西南石油大学能源材料实验教学中心) |uln<nM9 >Co5_sCe Y/n],(t) (wEaw|Zx 扫描电镜除能检测二次电子图像以外,还能检测背散射电子、透射电子、特征x射线、阴极发光等信号图像。其成像原理与二次电子像相同。在进行扫描电镜观察前,要对样品作相应的处理。 Bf6\KI< | |