机台清机前后分光偏移过大-光学薄膜设计,工艺与设备-光行天下-最大的光电技术社区-光学,光电,光机技术及其软件运用交流社区!

首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题

光行天下 -> 光学薄膜设计,工艺与设备 -> 机台清机前后分光偏移过大 [点此返回论坛查看本帖完整版本]

[打印本页]

孔鑫鑫	2019-09-24 19:52
机台清机前后分光偏移过大机台清机后7层AR膜朝短波偏移50个纳米，机台是成都四盛的1350，晶控镀膜，温度280，3.0-3镀膜，涉谷的电子枪，清机周期为一个班10天，各位大神帮忙分析一下什么原因，谢谢啦

孔鑫鑫	2019-09-25 07:43

孔鑫鑫	2019-09-25 07:44
一图清机后，2图清机前，三图和一图重复

孔鑫鑫	2019-09-25 11:48
机台是一年多一点的新机台，蒸发速率H4、MGF2都是5Ã/S

淡小疼	2019-09-25 22:09
第一次出现这种情况还是每次清理完都有这种情况？

孔鑫鑫	2019-09-26 08:32
已经连续两次了，我也是刚到这边没多久

超级便当盒	2019-09-26 16:55
挡板位置有偏差？

sosjinyan	2019-09-26 17:04
我用的光驰机晶控。也有这个情况，特性无缘无故左移。 6年时间大概出现过4-5次左右吧 &LHS<Nv^: 用的AL2O3 H4 MGF2。看镀膜记录看不出来毛病，再试就OK了。

sosjinyan	2019-09-26 17:07
感觉光控机没有这个问题。但是光控机之前遇到个奇怪的问题。反射率曲线整体上移2% 左右具体给忘了。 a}'dIDj

孔鑫鑫	2019-09-26 18:23
超级便当盒:挡板位置有偏差？ (2019-09-26 16:55) ln_[@K[oX S#S&_#$`,X 挡板正常，机台均匀性正常

ouyuu	2019-09-27 01:13
应该是真空放气造成的。 yBfX4aH:` 清机后护板表面水气会比较多，会影响真空度。 #hXxrN 另外你清机时门打开时间过长，真空仓内又比较脏，也会吸收很多水气。 cueaOtD 8+8L'Yv; 建议把侧壁加热开到最大，抽个两小时，同时镀个几层膜。

孔鑫鑫	2019-09-28 10:43
淡小疼:第一次出现这种情况还是每次清理完都有这种情况？ (2019-09-25 22:09) 2Q;rSe._` @?bY, 这一次清机没有更换电子枪灯丝，分光偏移不大，可以接受，请问电子枪会影响这么多吗？

士官长	2019-09-28 17:27
工艺是否充氧？ Z:YgG.z"

ouyuu

2019-09-30 22:42

孔鑫鑫:这一次清机没有更换电子枪灯丝，分光偏移不大，可以接受，请问电子枪会影响这么多吗？ (2019-09-28 10:43) jwSPLq%

新灯丝配合旧的枪头是会有这种现象。
新灯丝表面比较光滑，旧枪头的卡槽间隙一般也会比较大。
卡槽卡不住灯丝，点着后由于热胀冷缩，位置就不稳定。
灯丝烧一段时间就好了。

这种情况下只有换灯丝夹

knight627

2019-10-05 10:08

大清机器一般会造成抽气速度快,介质折射率发生变化,成膜条件与定标条件不一直,又是晶控,介质膜往短波方向漂移,如果想保持一致性,建议每两炉换一块衬板,不要一次性换完,特别是用繁枫的扩散泵会有轻微返油,大清把油处理后,再加上所有清洗的衬板,头几炉建议多抽气烘烤几次,当然最好还是找到适合自己机器的清理方式,让每次镀膜机器内部环境接近一致

hl594566271	2019-10-07 11:29
孔鑫鑫:已经连续两次了，我也是刚到这边没多久 (2019-09-26 08:32) bh#6yvpMR Q<KF<K'0hg 晶控机清机完肯定会往短波偏的，清完机第一炉先试镀，你观察下每次偏移是否稳定有规律，如果是规律的每次补偿就是了，还有检查补正板、光斑、真空度这些是否前后一致

dede	2019-10-12 11:50
学习了，的确有此现象，但原因不明！

xitang007	2019-10-27 00:27
10天清一次机台没有对比性啊！

囊中蓄乾坤	2019-10-28 12:13
正常保养前后20NM偏移，你这个有些多了，多弄几次找准规律就行了。

dumoty	2019-11-21 13:59
是否是修正板升起的高度有变化了？

chenhui8080	2019-11-21 16:25
很多機臺清過之後都會有不同程度的往短波漂移，也就是找出機臺的規律，問題是不是每次都這樣 IZ87Px>zL

樱空释	2020-03-22 15:09
清机周期太长了

fanrongwei11	2020-05-20 10:21
保养前后的镀膜时真空度差异大不大？短移了一般是镀膜真空高了，实际镀膜厚度少了。

wflney	2020-05-20 23:22
最近也是遇到这种情况，我们这边是更换了H4磨料导致的波长偏短，换回原来的磨料就好了。

旋律

2020-11-17 16:51

你好，我觉得你可以尝试变更一下保养频率，机台大清机的时候晶控口子是否有清理，如果每次大清机才清洁晶控的话你这个现象应该比较常见，晶控口子周围因为镀膜时间长以后会沉积膜层，累积的膜层越厚就会挡更多的膜料，当你清洁以后，上去的膜料会变多，从而导致蒸镀到镜片的膜料反而更少，看你发的曲线，清机以后波长变短了，也就是实际蒸镀到镜片的膜料变少了，那么曲线波长变短是正常的····

希望能帮到你

查看本帖完整版本: [-- 机台清机前后分光偏移过大 --] [-- top --]