光栅精密位移测量技术发展综述

摘要：精密测量是精密机械加工的基础，是制造行业中影响制造精度的决定性因素之一，在当代精密机械制造领域应用广泛。基于光栅的精密位移测量系统以其对环境要求小，测量分辨率高等优点，在精密位移测量领域占据重要位置。基于光栅的精密位移测量系统包括光学测量系统、信号接收、电子学细分及整体装调几部分。本文主要针对光学测量光路部分进行综述介绍。首先介绍了经典光栅干涉位移测量原理；其次，综述了基于光栅的精密位移测量系统的关键技术现状；再次，对比分析了几种最具有代表性的测量技术，总结其优缺点；最后，对基于光栅的精密位移测量技术进行展望，揭示其高精度、高分辨力、高鲁棒性、微型化、多维化、多技术融合的发展趋势。

关键词：位移测量；光栅；高精度测量；衍射干涉

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