| 探针台 |
2019-09-17 14:15 |
Dual-beam FIB
a=xT(G0Re
双束聚焦离子束(Dual-beam FIB)：双束聚焦离子束,北京双束聚焦离子束,检测 IN7<@OS7
Dual-beam FIB机台能在以离子束切割样品时，同时用电子束对断面进行观察。所建置的业界相当高阶机台，具备超高分辨率的离子束及电子束。能针对样品中的微细结构进行奈米尺度的定位及观察，大幅提升失效分析及TEM样品制备的成功率与影像质量。 #.5 vC5
双束型聚焦离子束显微镜的应用，主要以下列所述为主： aV`&L,Q)7E
半导体组件故障分析(能力可达20nm高阶制程) p O~c<d}b
半导体生产线制程异常分析 L{ho* ^b
磊晶与薄膜结构分析 E2AW7f(/
电位对比测试 DjCx~@
纳米级结构加工
|
|